用于软X光反射镜的Ni/C、Mo/Si多层膜的制备
PREPARATION OF Ni/C、Mo/Si MULTILAYERS USED FOR SOFT X-RAY MIRRORS作者机构：复旦大学物理系 上海光学精密机械研究所
出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1990年第21卷第4期
页 面：269-274页
学科分类：08[工学]
主 题：透射电子显微镜 光反射 Mo/Si Ni/C 石英晶体 膜系 小角 衍射谱 周期结构 调制周期
摘 要：本文介绍了用石英晶体振荡膜厚速率监控法,制备用于软X光反射镜的Ni/C、Mo/Si多层膜的工艺过程。制备了一系列周期厚度45—75(?),层数多至50层的多层膜样品,并利用X光小角衍射(Cu kα线:1.54(?))、俄歇电子能谱(AES)、透射电子显微镜(TEM),测试和分析它们的周期结构、界面状况、膜层内各元素包括杂质的成分分布,最后对所设计的Mo/Si膜系做了软X光反射特性的理论模拟计算。
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