纳米结构的制备及其应用
Fabrication of the Nano-Structure and Its Applications作者机构：西安理工大学电子工程系陕西西安710048 西安理工大学应用物理系陕西西安710048
出 版 物：《微电子学》 (Microelectronics)
年 卷 期：2002年第32卷第6期
页 面：416-418页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要： 介绍了用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线、量子点的工艺方法;采用这种工艺在P型SIMOX(separationbyimplantedoxygen)硅片上成功地制造出一种单电子晶体管。
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