硒化氢的制备和提纯技术
Preparation and Purification Technology of Hydrogen Selenide作者机构：北京有色金属研究总院有研国晶辉新材料有限公司河北廊坊065200
出 版 物：《化工技术与开发》 (Technology & Development of Chemical Industry)
年 卷 期：2021年第50卷第3期
页 面：40-43页
学科分类：081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术]
摘 要：硒化氢是一种制备红外光感材料硒化锌的重要原料,也是用于集成电路的外延、掺杂和蚀刻等工艺的重要电子特气。本文对硒化氢的制备和提纯技术进行了综述。
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