铝钪合金靶材的制备及退火工艺研究
Study on Preparation and Annealing Process of Aluminum-Scandium Alloy Target Material作者机构:湖南稀土金属材料研究院湖南长沙410126 稀土功能材料湖南省重点实验室湖南长沙410126
出 版 物:《稀有金属与硬质合金》 (Rare Metals and Cemented Carbides)
年 卷 期:2020年第48卷第6期
页 面:73-76页
学科分类:08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学]
基 金:湖南省战略性新兴产业科技攻关与重大科技成果转化专项(2018GK4001) 湖南省科技创新计划项目(2017TP1031)。
主 题:铝钪合金 Al-20%Sc 靶材 退火 微观组织 显微硬度 温度 时间
摘 要:制备了铝钪合金(Al-20%Sc)靶材,并研究不同退火工艺对合金靶材微观组织和显微硬度的影响。结果表明:退火后,靶材样品晶粒形状发生变化,由棱角分明变得圆润,晶粒尺寸变大,晶界光滑;样品退火前硬度为70.37 HV0.1,随着退火温度的升高和时间的延长,合金硬度先明显降低后趋于稳定,最佳退火工艺为620℃×60min,此时靶材样品硬度降至55.03HV0.1,但其塑性提高,有利于后续机加工。