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  • 1 篇 focused ion beam...
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机构

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作者

  • 2 篇 刘波
  • 2 篇 chenbomy
  • 1 篇 封松林
  • 1 篇 宋志棠

语言

  • 2 篇 英文
检索条件"机构=ResearchCentreofFunctionalSemiconductorFilmEngineeringandTechnology"
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排序:
Reversible Phase Change for C-RAM Nano-Cell-Element Fabricated by Focused Ion Beam Method
收藏 引用
Chinese Physics Letters 2005年 第3期22卷 758-761页
作者: 刘波 CHENBomy researchcentreoffunctionalsemiconductorfilmengineeringandtechnology StateKeyLaboratoryofFunctionalMaterialsforInformaticsShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationTechnologyChineseAcademyofSciences SiliconStorageTechnology Inc.1171SonoraCourtSunnyvaleCA94086USA
A single nano-cell-element of chalcogenide-random access memory was fabricated by using the focused ion beam method. The minimum contact size between the Ge2Sb2Te5 phase change film and the top electrode film for the ... 详细信息
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Single Cell Element of Chalcogenide Randoul Access Memory Fabricated with the Focused Ion Beam Method
收藏 引用
Chinese Physics Letters 2004年 第10期21卷 2054-2056页
作者: 刘波 宋志棠 封松林 CHENBomy researchcentreoffunctionalsemiconductorfilmengineeringandtechnology.StateKeyLaboratoryofFunctionalMaterialsforInformatics ShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationTechnologyChineseAcademyofSciences200050 SiliconStorageTechnology Inc1171SonoraCourtSunnyvaleCA94086USA
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论