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Fabrication of Meander and Spiral Type Micro Inductors

Journal of Materials Science & Technology 2000年第2期16卷 236-237页

作者： T.S. Yoont, W.S. Cio and C. O.Kim (Division of Material Eng., Chungnam Nail. Unly., Taejon 305-764, Korea) H. w. hag (Dept. of Electronic Communication, Juseong College, Chungbuk 363-794, Korea) Y.H.Kim (Dept. of Electrical Eng., Pukyong Nail. Unly., pusan, 608-737, Korea) Division of Material Eng. Chungnam Natl. Univ. Taejon 305-764 South Korea Dept. of Electronic Communication Juseong College Chungbuk 363-794 South Korea Dept. of Electrical Eng. Pukyong Natl. Univ. Pusan 608-737 South Korea

To obtain microstructure of magnetic devices, the thin film inductors were fabricated by the process such as thin film manufacturing, photolithography and wet etching. The frequency characteristics of these devices are measured at high frequency range. When the inductor sizes of the spiral and the meander type are same, the inductance and the quality factor of the spiral type inductor are larger than those of the meander type inductor, but the driving frequency of the spiral type inductor is lower than that of the meander type inductor.

关键词： In Fabrication of Meander and Spiral Type Micro Inductors

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