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Microfabrication and Performance of Annealed NiTi Shape Memory Thin Films by Sputtering for Microdevice Applications
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材料热处理学报 2004年 第5B期25卷 921-922页
作者： GONGFeng-fei. physicsdept. EastChinaNormalUniversityShanghai200062China
The microfabrication and performance NiTi shape memory thin films for microdevice applications were studied by microfabrication processes, which were compatible with those of microelectronics fabrication processes. Th... 详细信息
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