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作者

  • 1 篇 kolja haberland
  • 1 篇 vivian cao

语言

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在线监控MOCVD长晶过程中晶片翘曲度
在线监控MOCVD长晶过程中晶片翘曲度
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第十二届全国MOCVD学术会议
作者： Vivian Cao Kolja Haberland Challenge Technology Corp laytec AG.
在MOCVD长晶工艺开发和过程控制中,原位光学探测技术至关重要,尤其是对于Ⅲ族氮化物LED的生长。集合了多波长反射率测量,辐射率经过修正的高温温度测量和晶片翘曲度的测量的原位探测技术,现在被广泛地应用于全面实时监控生长所有的关键...
来源： cnki会议 评论
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