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Formation Mechanism of PPS as Antireflection Coating

Semiconductor Photonics and Technology 2005年第1期11卷 32-36,39页

作者： WANGHai-yan SUNXiao-feng ZHANGYu-xiang LIWei-qiang LUJing-xiao keylab.ofmater.phys. InstituteofPhys.Eng.ZhengzhouUniversityZhengzhou450052CHN

The whole chemical etching process on a P-type polycrystalline silicon substrate with resistivity 1-2Ω·cm is described. The formation mechanism of porous polycrystalline silicon（PPS） microstructure was investigated. Those how the initial pits were formed and an uniform morphology of PPS was obtained are explained. Two types of etching mechanism were characterized as defect control reaction and diffusion control reaction. The morphology formed after the isotropic acidic solution etching with different etching time and HF/HNO3 concentration was compared with the effect of the same etching process after anisotropic alkaline etching. The study showed that the thickness of porous polycrystalline silicon layer with chemical acidic etching entirely depended on the existence of various types of defects.

关键词： Diffusion control Defect control Point defect Line defect

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TiO_2 Thin Film UV Detectors Deposited by DC Reactive Magnetron Sputtering

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Semiconductor Photonics and Technology 2004年第4期10卷 245-247页

作者： ZHANGLi-wei YAONing ZHANGBing-lin FANZhi-qin YANGShi-e LUZhan-ling keylab.ofmater.phys. Dept.ofPhys.ZhengzhouUniversityZhengzhou450052CHN

Crystalline TiO2 thin films were prepared by DC reactive magnetron sputtering on indium-tin oxide（ITO） thin film deposited on quartz substrate, the photoconductive UV detector on TiO2 thin films was based on a sandwich structure of C/ TiO2/ITO. The measurement of the I-V characteristics for these devices shows good ohmic contact. The photoresponse of TiO2 thin films was analyzed at different bias voltage. The detector shows a good photoresponse with a rise time of 2 s and a fall time of 40 s, the photocurrent is linearly increased with the bias voltage.

关键词： TiO_(2) thin films Sputtering Photoconductive UV detector Photoresponse

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