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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 2 篇 电子文献
  • 0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 2 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 1 篇 抗反射涂层
  • 1 篇 衬底反射
  • 1 篇 滤光片
  • 1 篇 光学光刻
  • 1 篇 底部抗反射涂层
  • 1 篇 关键尺寸控制
  • 1 篇 平面显示器
  • 1 篇 滤光材料
  • 1 篇 湿法显影
  • 1 篇 注入

机构

  • 1 篇 integrateddevice...
  • 1 篇 美国布鲁科技公司
  • 1 篇 brewerscience in...

作者

  • 1 篇 yiminggu
  • 1 篇 xieshao
  • 1 篇 陈义文
  • 1 篇 aliceguerrero

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"机构=BrewerScience"
共 2 条 记 录，以下是1-10 订阅
用于注入层用途的湿法显影有机抗反射涂层(英文)
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引用
电子工业专用设备 2004年 第11期33卷 29-36页
作者： XieShao AliceGuerrero YimingGu brewerscience Inc.2401BrewerDriveRollaMO65401USA IntegratedDeviceTechnologyInc. HillsboroOR97124USA
底部抗反射涂层(BARCs)和光刻胶已被广泛地用于半导体制造中的光刻加工工艺中。BARCs在光刻中的主要好处就是聚焦?曝光宽容度的改善,提高了关键尺寸的控制,消除了反射凹口,防止远紫外抗蚀剂由基底毒化。过去,BARCs主要被用于关键图层,... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
滤光片的研制与发展简介
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引用
现代显示 1994年 第2期 36-44,63页
作者： 陈义文 美国布鲁科技(brewerscience)公司
本文介绍滤光材料与滤光片在平面显示器中的地位和种类，并简述 其特性、制造及选择方法。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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