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3D NAND闪存中TiN与氧化表面F吸附作用的第一性原理研究

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物理学报 2024年第12期73卷 385-392页

作者：方语萱杨益夏志良霍宗亮中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院大学北京101408 长江存储科技有限责任公司武汉430071 长江先进存储产业创新中心有限责任公司武汉430014

随着3D NAND技术的发展,存储阵列工艺的堆叠层数越来越高,后栅工艺中金属钨(W)栅字线(WL)层填充的工艺也面临越来越严峻的挑战.钨栅沉积工艺中的主要挑战在于氟攻击问题,钨栅填充时产生的空洞导致了含氟(F)副产物的积聚,并在后续高温制... 详细信息

随着3D NAND技术的发展,存储阵列工艺的堆叠层数越来越高,后栅工艺中金属钨(W)栅字线(WL)层填充的工艺也面临越来越严峻的挑战.钨栅沉积工艺中的主要挑战在于氟攻击问题,钨栅填充时产生的空洞导致了含氟(F)副产物的积聚,并在后续高温制程的激发下,扩散侵蚀其周边氧化物层,致使字线漏电,严重影响器件的良率及可靠性.为改善氟攻击问题,通常在钨栅沉积之前再沉积一层薄的氮化钛作为阻挡层.然而在对栅极叠层组分分析中发现,F元素聚集在TiN薄膜表面,并且难以通过退火排出.本文采用第一性原理计算,研究了TiN薄膜表面吸附含F物种的情况,提出TiN的表面氧化能加剧对含F物种的吸附作用,仿真结果指导了栅极工艺过程的优化方向.基于第一性原理计算结果,提出氨气吹扫表面处理方法,有效改善了3D NAND中的氟攻击问题,将字线漏电率降低25%,晶圆翘曲度降低43%.

关键词： 3D NAND闪存氟攻击问题第一性原理

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飞轮储能装置在轨道交通中的应用研究

储能科学与技术 2024年

作者：李玉光刘翔梁艳召刘双振盾石磁能科技有限责任公司

城市轨道交通中列车频繁启动制动，制动能量大，网压波动大，有些线路存在钢轨电位严重的问题。飞轮储能装置具有功率大、响应速度快、寿命长等特点，可以对再生制动能量在直流侧进行即收即用，节能效果好，能稳定网压波动。由于飞轮储... 详细信息

城市轨道交通中列车频繁启动制动，制动能量大，网压波动大，有些线路存在钢轨电位严重的问题。飞轮储能装置具有功率大、响应速度快、寿命长等特点，可以对再生制动能量在直流侧进行即收即用，节能效果好，能稳定网压波动。由于飞轮储能装置的接入可以实现多点回流、缩短电流回流路径，故对钢轨电位也有改善效果。文章分别就既有线路和新建线路，考虑牵引所空间限制、储能装置平均功率峰值、节能效果等因素，说明了飞轮储能装置的容量配置方法并针对实际案例进行容量配置说明。为使飞轮储能装置的控制策略灵活应对地铁线路的复杂工况，设置节能、稳压、网压支撑、钢轨电位治理、应急电源五种工作模式。通过飞轮储能装置在实际工程的应用案例验证了飞轮储能装置具有良好的稳压效果，平均节能率为11.36%-17.28%，全功率响应频次为31次/h，且经试验验证飞轮储能装置具有应急电源功能。

关键词：城市轨道交通飞轮储能装置容量配置控制策略

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基于主控因素的潜山裂缝储层多尺度地震预测

石油地球物理勘探 2024年第3期59卷 598-607页

作者：杜昕范廷恩马淑芳樊鹏军张显文中海油研究总院有限责任公司北京100028

现有潜山裂缝性储层预测方法多用于描述单一尺度的裂缝带发育特征。为综合反映渤海湾盆地M气田太古界潜山裂缝储层多尺度特征,提出基于主控因素的潜山裂缝储层多尺度预测技术:(1)针对沟—脊微地貌控风化有利区,利用曲率属性刻画潜山顶... 详细信息

现有潜山裂缝性储层预测方法多用于描述单一尺度的裂缝带发育特征。为综合反映渤海湾盆地M气田太古界潜山裂缝储层多尺度特征,提出基于主控因素的潜山裂缝储层多尺度预测技术:(1)针对沟—脊微地貌控风化有利区,利用曲率属性刻画潜山顶面沟—脊形态,预测宏观尺度风化成因裂缝富集条带;(2)针对燕山—喜山期发育的近东西向高陡断缝体控潜山构造缝,基于Radon变换技术预测大尺度高陡断缝体的分布;(3)以区域断裂发育方向和倾角为约束,利用蚂蚁体属性预测中、小尺度微断裂带;(4)基于Contourlet变换依次分解得到曲率属性、Radon变换属性、蚂蚁体属性的低频端和高频端信息,分别设计低频端、高频端融合规则,实现三种尺度裂缝带预测结果的有效融合。融合属性预测结果与FMI成像测井裂缝密度以及生产测试认识吻合,综合反映了潜山多尺度裂缝带发育特征,指导了M气田开发井设计与优化,同时证明所提方法具有实用性。

关键词：裂缝预测多尺度主控因素属性融合 Contourlet变换

虎跳峡河段梯级对下游梯级电站水资源利用效益的补偿作用研究

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长江科学院院报 2024年

作者：傅巧萍张佳梅曹辉中国长江电力股份有限公司长江勘测规划设计研究有限责任公司

为了给虎跳峡河段梯级开发方案和工程规模的决策提供参考，促进工程早开工、早见效，本文基于考虑控制性水库调蓄、已建在建跨流域引调水工程和河道外新增耗水量的边界条件下，建立了长江上游控制性水库联合调度模型，计算分析了虎跳峡... 详细信息

为了给虎跳峡河段梯级开发方案和工程规模的决策提供参考，促进工程早开工、早见效，本文基于考虑控制性水库调蓄、已建在建跨流域引调水工程和河道外新增耗水量的边界条件下，建立了长江上游控制性水库联合调度模型，计算分析了虎跳峡河段梯级不同调节库容方案时水库自身库容的利用情况，以发电指标为代表分析了对下游梯级电站水资源利用效益的补偿作用。通过分析论证认为：结合汛期需要预留58.6亿m3防洪库容的要求，虎跳峡河段设置60亿～120亿m3调节库容，即可在充分利用本河段水力资源的同时，增加下游梯级电站多年平均年发电量56.2亿～119.4亿kW·h，多年平均平枯水期发电量161.5亿～294.0亿kW·h，继续增加调节库容，虽然对下游梯级电站的补偿效益更为显著，但库容利用率较低，边际效应递减较快。

关键词：虎跳峡河段调节库容控制性水库联合调度下游梯级电站补偿作用

三峡库区农村生活污水一体化处理设施效果评价

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人民长江 2024年第2期55卷 238-244页

作者：马志刚芦秀青王静沈思彤长江生态(湖北)科技发展有限责任公司湖北武汉430015

为科学评价水处理设施运行效果,从经济、技术、管理、环境4个角度建立了包含12个指标的一体化水处理设施运行效果评价指标体系,结合熵权法和层次分析法,确定指标的权重,并利用模糊综合评价模型对三峡库区农村移民安置区一体化污水处理... 详细信息

为科学评价水处理设施运行效果,从经济、技术、管理、环境4个角度建立了包含12个指标的一体化水处理设施运行效果评价指标体系,结合熵权法和层次分析法,确定指标的权重,并利用模糊综合评价模型对三峡库区农村移民安置区一体化污水处理设施运行效果开展综合评价。结果表明:从设施工艺角度评价,活性污泥法在经济方面优势明显,生物膜法在管理方面优势较大;从运维管理方角度评价,第三方运维单位在经济、技术、管理方面优势显著。运行成本、水质达标稳定性、单位投资这几个二级指标对运行效果评价的影响较大,建议一体化污水处理设施在设计和管理中对这些方面做出积极响应。研究成果可为三峡库区水污染治理和农村人居环境提升提供重要支撑。

关键词：一体化污水处理设施运行效果评价熵权法层次分析法农村移民安置区三峡库区

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高混凝土面板堆石坝接缝止水设计综述

人民长江 2024年

作者：殷鸣胡清义熊泽斌陈兴长江勘测规划设计研究有限责任公司

接缝止水是高混凝土面板堆石坝设计的关键技术问题之一，主要包括止水变形控制标准与止水结构设计两大方面。对国内外高混凝土面板堆石坝接缝止水设计研究进展进行了简述，介绍了目前我国接缝止水结构设计的基本思路及工程实践，研究认... 详细信息

接缝止水是高混凝土面板堆石坝设计的关键技术问题之一，主要包括止水变形控制标准与止水结构设计两大方面。对国内外高混凝土面板堆石坝接缝止水设计研究进展进行了简述，介绍了目前我国接缝止水结构设计的基本思路及工程实践，研究认为采用数值计算结合工程经验确定接缝止水变形控制标准是合适的，目前的创新成果集中在表层填料止水及其保护盖板、垂直缝柔性嵌缝材料等方面。混凝土面板堆石坝接缝止水后续设计研究中的重点为表层止水结构创新、止水结构简化设计、防挤压破坏措施、止水耐久性提高方法和修复技术。

关键词：水工结构混凝土面板堆石坝接缝止水变形控制标准止水结构设计

水利专业模型标准化元数据建模技术研究与应用

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人民长江 2024年

作者：冯快乐季振宇唐海华黄瓅瑶丁小玲长江勘测规划设计研究有限责任公司

水利专业模型的建模技术是数字孪生平台的主要研究内容之一，是构建水文预报、洪旱预警、调度预演、预案决策等业务应用的基础。然而，由于不同业务类型的水利专业模型在水利工程对象类型、模型静态参数、动态边界条件等输入侧存在差异... 详细信息

水利专业模型的建模技术是数字孪生平台的主要研究内容之一，是构建水文预报、洪旱预警、调度预演、预案决策等业务应用的基础。然而，由于不同业务类型的水利专业模型在水利工程对象类型、模型静态参数、动态边界条件等输入侧存在差异，无法采用统一的构建模式进行通用化处理，极大影响模型的可复用性，降低了数字孪生平台的通用化水平。本文提出了一种水利专业模型的建模技术，通过提取多类型专业模型在输入侧的类型、组织和格式特征，利用元数据的信息描述特性，建立针对水利专业模型建模过程的标准化元数据集，并基于元数据集设计和实现了通用化的建模过程接口，支撑水利专业模型的建模。本文提出的标准化元数据建模技术，成功应用到了数字孪生岳城水库的预报、调度专业模型建模过程中，通过元数据屏蔽了模型各类输入数据的差异，提升了建模的效率和模型的可复用性。

关键词：水利专业模型元数据标准化数字孪生平台

基于3DE的混凝土坝施工进度仿真动态可视化

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人民长江 2024年

作者：周子培张族炎简兴昌谢伟曾路长江勘测规划设计研究有限责任公司

混凝土坝施工进度研究常采用计算机仿真技术进行模拟和方案比选，以大坝三维模型作为可视化表达载体，设计和施工仿真阶段模型颗粒度要求不同，模型数据和仿真结果交互不便，施工进度仿真可视化交互性不强。为实现不同阶段混凝土坝模型... 详细信息

混凝土坝施工进度研究常采用计算机仿真技术进行模拟和方案比选，以大坝三维模型作为可视化表达载体，设计和施工仿真阶段模型颗粒度要求不同，模型数据和仿真结果交互不便，施工进度仿真可视化交互性不强。为实现不同阶段混凝土坝模型快速构建、模型属性和仿真数据关联应用、进度仿真可视化展示的集成度和交互性增强，本文设计了一种基于3DE的混凝土坝施工进度仿真动态可视化方法，研发了混凝土坝模型快速分割、属性批量计算提取与数据交互以及进度仿真动态展示等工具，以某混凝土拱坝为例进行实际应用并取得了良好的效果，结果表明本文方法具有操作简单、数据无损复用和可视化效果好的优势，为混凝土坝施工仿真进度动态可视化研究提供了新思路。

关键词：混凝土坝 3DE 施工进度仿真动态可视化

鄂尔多斯盆地东缘韩城区块煤层气高产井地质主控因素

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天然气工业 2024年第3期44卷 64-71页

作者：熊先钺季亮张正朝闫霞伊伟杨宏涛邢雪杰刘清中石油煤层气有限责任公司中联煤层气国家工程研究中心有限责任公司

鄂尔多斯盆地东缘韩城区块煤层气资源丰富,受构造地质条件影响,不同构造分区的煤层气单井产能差异较大。为明确该区块煤层气高产井地质主控因素,基于构造、煤储层特征及煤层气富集控制因素,结合气田生产数据,对煤层气高产井的地质主控... 详细信息

鄂尔多斯盆地东缘韩城区块煤层气资源丰富,受构造地质条件影响,不同构造分区的煤层气单井产能差异较大。为明确该区块煤层气高产井地质主控因素,基于构造、煤储层特征及煤层气富集控制因素,结合气田生产数据,对煤层气高产井的地质主控因素进行了剖析。研究结果表明:(1)煤层气井产能受“构造条件、水动力条件、煤体结构”三大因素控制,其中构造条件控制煤层气富集成藏,水动力条件影响煤层气保存,煤体结构影响煤储层渗透率;(2)区块内的煤层气高产井主要分布于次级构造发育区,地层水矿化度介于(2~11)×10^(3)mg/L,原生—碎裂煤平均厚度为4.4m,单井日产气量大于1000m^(3);(3)小断层或者微构造改善了煤储层的渗透性,尤其是次级构造高部位产生的裂隙,有利于煤层气解吸渗流,有利于煤层气高产;(4)在构造活动较剧烈的条件下,大断层附近易于形成煤层气逸散通道,不利于煤层气的保存。结论认为,鄂尔多斯盆地东缘韩城区块构造运动不但造就了各种构造形态,而且使煤体结构发生了变化,不同构造形态下的水动力条件也不同,因此构造运动对韩城区块煤层气井高产起到了极为重要的控制作用;该研究成果对韩城区块的煤层气开发调整具有一定的指导意义,对地质条件类似的煤层气区块具有借鉴意义。

关键词：鄂尔多斯盆地韩城区块煤层气高产井构造条件富集规律地质主控因素