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一种高精度的RC振荡器电路

半导体技术 2025年第1期50卷 71-76页

作者：张亮王静冯玉明广东齐芯半导体有限公司广东珠海519000

为了给微处理器芯片提供高精度的内部时钟,基于110 nm CMOS工艺设计了一种高精度电阻电容(RC)振荡器电路。通过在振荡器结构中引入充放电电流粗调电路、参考电压细调电路、温度系数调节电路,实现了对振荡器电路的工艺偏差、电压敏感度... 详细信息

为了给微处理器芯片提供高精度的内部时钟,基于110 nm CMOS工艺设计了一种高精度电阻电容(RC)振荡器电路。通过在振荡器结构中引入充放电电流粗调电路、参考电压细调电路、温度系数调节电路,实现了对振荡器电路的工艺偏差、电压敏感度、温度敏感度的有效补偿。细调电路提取与电压、工艺及温度都无关的比例系数作为频率调节因子;温度系数调节电路通过合理匹配使得常温下电阻不受档位变化的影响,改善温度系数的同时提高了档位调节过程中的频率稳定性。芯片实测结果显示,经过粗调、细调和温度系数调节三重校正后,振荡器典型输出频率为8 MHz,在-40~150℃的全温度范围内频率变化小于±0.5%,实现了对RC振荡器电路工艺偏差、电压敏感度、温度敏感度的补偿。

关键词：高精度电阻电容(RC)振荡器电压系数修调温度补偿 CMOS工艺

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沟槽栅IGBT制备中的翘曲控制

半导体技术 2025年

作者：夏碧波蔡乐张鸿鑫魏宏杰彭新华谭灿健株洲中车时代半导体有限公司

沟槽栅IGBT是提高功率器件功率密度和性能的主流发展方向。但随着芯片精细化程度的提升，制备过程产生的晶圆翘曲更大，更容易影响其工艺过程和工艺效果，因此芯片制备过程中的翘曲控制成为了新的关注点。系统分析了沟槽栅IGBT制备流程... 详细信息

沟槽栅IGBT是提高功率器件功率密度和性能的主流发展方向。但随着芯片精细化程度的提升，制备过程产生的晶圆翘曲更大，更容易影响其工艺过程和工艺效果，因此芯片制备过程中的翘曲控制成为了新的关注点。系统分析了沟槽栅IGBT制备流程中翘曲的产生原因，从单项工艺制备条件、新型多晶硅/氧化层厚度的沟槽结构和背面膜层的去除站点流程三个方面提出了优化方案。通过整合各种优化方法，IGBT晶圆的翘曲从±120 μm降低至±70 μm以内，大幅度优化了晶圆翘曲并减少了流片过程中的异常。

关键词： IGBT 翘曲控制工艺优化多晶硅铝金属

电网用5 500 A/8 000 V逆阻型IGCT研制

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半导体技术 2025年

作者：陈芳林方佳仪陈勇民曹强邹平孙永伟操国宏株洲中车时代半导体有限公司

针对现有电网换相换流阀（LCC）技术中的换相失败问题，提出了基于逆阻型集成门极换流晶闸管（IGCT）主动关断能力的混合换相换流阀（HCC）技术，其中高容量的逆阻型IGCT至关重要。为提升器件的耐压、关断和通流能力，采用独立终端结构... 详细信息

针对现有电网换相换流阀（LCC）技术中的换相失败问题，提出了基于逆阻型集成门极换流晶闸管（IGCT）主动关断能力的混合换相换流阀（HCC）技术，其中高容量的逆阻型IGCT至关重要。为提升器件的耐压、关断和通流能力，采用独立终端结构和有源区p+基区掺杂，创新边缘门极结构，研制出了5 500 A/8 000 V逆阻型IGCT。该器件具备8 000 V的额定电压和5 500 A的额定电流关断能力，通态平均电流最高可达3 290 A，已通过型式试验和混合换相换流阀运行验证。该器件将应用于高压直流（HVDC）输电换流阀，致力于解决换相失败问题，提升智能电网的稳定性和可靠性。

关键词：集成门极换流晶闸管(IGCT) 逆阻型终端结构设计混合换相换流阀(HCC)

n^(+)/n^(-)型硅衬底扩散片X_(jn+)理论分析与测试方法优化

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半导体技术 2025年第1期50卷 39-45页

作者：张现磊李立谦周涛张志林洛阳鸿泰半导体有限公司河南洛阳471000

n型衬底扩散片扩散深度(X_(jn+))是n^(+)/n^(-)型硅衬底扩散片最重要的参数之一,X_(jn+)的理论计算对磷扩散生产和X_(jn+)测试具有重要的指导意义。但现有扩散理论计算结果与实验数据差异较大,需更精准的计算方法。通过实验对X_(jn+)的... 详细信息

n型衬底扩散片扩散深度(X_(jn+))是n^(+)/n^(-)型硅衬底扩散片最重要的参数之一,X_(jn+)的理论计算对磷扩散生产和X_(jn+)测试具有重要的指导意义。但现有扩散理论计算结果与实验数据差异较大,需更精准的计算方法。通过实验对X_(jn+)的测试与理论计算结果进行对比分析,引入了修正系数k_(n)与k_(p),得到理论计算与测试结果吻合的X_(jn+)计算方法。并根据修正后的计算方法对染色法测试X_(jn+)进行了优化。新的X_(jn+)计算方法得到的结果与测试结果差异小于2%,可用于指导生产,且优化后的X_(jn+)测试方法更加便捷。

关键词：衬底扩散片扩散系数修正协同扩散 n型衬底扩散片扩散深度(X_(jn+))计算 X_(jn+)测试方法优化

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某MEMS垂直探针在针测行程作用下的屈曲力学行为研究

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电子与封装 2025年

作者：秦林肖强一半导体(苏州)股份有限公司

探针卡作为一种测试接口，是连接芯片和测试机之间的中间媒介，而其中晶圆测试中所用的探针是测试机与晶圆上被测芯片之间进行通信的重要功能部件。基于我司研制的某规格MEMS垂直探针，采用有限元分析软件，对比分析5根与所配合装配的P... 详细信息

探针卡作为一种测试接口，是连接芯片和测试机之间的中间媒介，而其中晶圆测试中所用的探针是测试机与晶圆上被测芯片之间进行通信的重要功能部件。基于我司研制的某规格MEMS垂直探针，采用有限元分析软件，对比分析5根与所配合装配的PH上下盖板的初始接触状态不同的探针在同样的针测行程作用下各个探针的关键力学性。并基于屈曲理论，采用拟合方法推导探针接触力BCF与所加载针测行程OD之间的函数关系式。

关键词：探针卡 MEMS垂直探针有限元分析针测行程接触力BCF

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考虑被动区桩效应的滨海深基坑稳定性研究

铁道科学与工程学报 2025年

作者：门小雄姚康冷伍明任辉苏辉杨俊芳徐方梅志强廖文江中南大学土木工程学院珠海市轨道交通有限公司上海勘察设计研究院(集团)股份有限公司广州轨道交通建设监理有限公司

为阐释滨海软土深基坑被动区工程桩对基坑开挖稳定性的影响效应，基于珠海隧道车架段深基坑工程和监测数据建立基坑开挖的三维有限元仿真模型，详细分析不同坑底被动区工程桩桩径、桩长和桩间距下，基坑稳定性的演变规律，并提出基于被... 详细信息

为阐释滨海软土深基坑被动区工程桩对基坑开挖稳定性的影响效应，基于珠海隧道车架段深基坑工程和监测数据建立基坑开挖的三维有限元仿真模型，详细分析不同坑底被动区工程桩桩径、桩长和桩间距下，基坑稳定性的演变规律，并提出基于被动区工程桩作用效应的滨海软土基坑抗隆起稳定性分析方法。结果表明：采用结构单元和实体单元模拟工程桩所需的整体模型单元数量存在一定差异，进而引起仿真所得基坑的开挖变形略有不同，但二者均能较好反映基坑的开挖变形特性；坑底被动区抽条加固与地下连续墙间存在的间隙（即未得到有效加固的软土）会导致基坑的开挖变形有较为明显的增加，施工中宜采取注浆等措施，减小此类间隙的不利影响；基坑表现为典型的潜在隆起失稳型态，其抗隆起稳定安全系数随被动区工程桩直径的增加和桩间距的减小分别呈近似线性和非线性的规律增大，而随桩长增加，安全系数则呈“三折线”型规律增大，且桩长超过基坑开挖深度的2倍时，安全系数增长效应明显减小，呈现典型的边际效应；提出的基坑抗隆起稳定性分析方法，综合考量了桩体抗拉强度和有效长度的作用效应，计算所得安全系数与仿真分析结果吻合良好，论证了该方法的适用性。研究结果可为同类型软土基坑工程的稳定性分析和设计提供参考。

关键词：基坑工程桩稳定性影响效应分析方法

面向国土空间规划的建筑物实体建库与应用研究

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工程勘察 2025年第1期53卷 64-68,73页

作者：陈举平李进禄谢思梅珠海市测绘院广东珠海519000 广州市城市规划勘测设计研究院有限公司广州510060

为满足国土空间规划对建筑物时空信息服务的需求,提出以院落和建筑物为实体对象汇聚、关联各类信息的数据模型和数据规范,深入研究建筑物实体数据采集、建库的关键技术,研发了国土空间规划建筑物实体时空专题数据库展示系统,实现多源数... 详细信息

为满足国土空间规划对建筑物时空信息服务的需求,提出以院落和建筑物为实体对象汇聚、关联各类信息的数据模型和数据规范,深入研究建筑物实体数据采集、建库的关键技术,研发了国土空间规划建筑物实体时空专题数据库展示系统,实现多源数据汇聚融合与地理实体的定制化组装,为国土空间规划提供多维度、多层次的时空信息支撑。

关键词：国土空间规划地理实体建筑物普查建筑物时空信息数据库

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低密度奇偶校验码中陷阱集的特性与研究进展

微电子学与计算机 2025年

作者：崔子浩刘奇浩曾昭贵石鹏马林钟戟山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司山东华芯半导体有限公司

低密度奇偶校验(Low-density parity-check， LDPC)码由于其理论性能逼近香农限的优点成为了目前流行的向前纠错方案。然而，对于大部分迭代解码算法，LDPC码在高信噪比的区域内会出现错误平层(Error floor)现象。对于加性高斯白噪声(Ad... 详细信息

低密度奇偶校验(Low-density parity-check， LDPC)码由于其理论性能逼近香农限的优点成为了目前流行的向前纠错方案。然而，对于大部分迭代解码算法，LDPC码在高信噪比的区域内会出现错误平层(Error floor)现象。对于加性高斯白噪声(Additive White Gaussian Noise， AWGN)信道而言，LDPC码的错误平层主要源于其对应Tanner图中会导致译码失败的特殊拓扑结构，这种特殊的结构被称为陷阱集(Trapping set)。陷阱集的存在使得当陷阱集中包含的节点发生数据错误时，译码器很难检测出错误的发生，大大增加了译码的失败概率。这一缺点限制了LDPC码在要求低目标错误率应用中的使用。因此，对陷阱集进行深入的了解和研究，对于改善错误平层现象，提高LDPC码的纠错性能和应用范围有着很大的意义。本文综述了近年来与LDPC码中与陷阱集有关的研究，对相关的陷阱集的基本定义、影响方式、检索方法以及消除手段等进行了系统的介绍，最后对目前改善陷阱集和错误平层研究中尚未解决的问题、面临的挑战和未来的发展前景进行了进一步展望。

关键词：低密度奇偶校验码校验矩阵错误平层陷阱集算法

用于高场非对称离子迁移谱的高压射频方波电源研究

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质谱学报 2025年

作者：朱辰霄李鹏李灵锋张允晶周文苏州大学电子信息学院苏州微木智能系统有限公司中国兵器装备集团自动化研究所有限公司

高压射频脉冲电源是高场非对称离子迁移谱（FAIMS）的核心部件，为充分发挥FAIMS利用交替的高低电场下离子不同运动特性的分离机制，本文基于半桥拓扑电路，采用新一代的高压超级结-金属-氧化物半导体场效应晶体管（SJ MOS）作为电源核... 详细信息

高压射频脉冲电源是高场非对称离子迁移谱（FAIMS）的核心部件，为充分发挥FAIMS利用交替的高低电场下离子不同运动特性的分离机制，本文基于半桥拓扑电路，采用新一代的高压超级结-金属-氧化物半导体场效应晶体管（SJ MOS）作为电源核心器件，设计了一款高压射频方波电源。实验测试结果表明，该电源输出波形接近理想方波，峰-峰值达506 V，频率达1 MHz，功耗仅29 W。将该电源与实验室自建的FAIMS核心系统结合，对样品气体丙酮、水杨酸甲酯进行检测，研究FAIMS谱图特点与分离电压幅值、电源频率、载气流量的关系。结果表明，提升分离电压幅值能明显改善FAIMS分辨率，但会损失较大的灵敏度；通过增大电源频率能够在轻微损失分辨率的情况下有效提升FAIMS灵敏度。此外，增加载气流量也能改善灵敏度。本文设计的FAIMS分离电源具有高压高频输出、波形质量好、功耗低的特点，能稳定支持FAIMS进行离子筛选与分辨，对FAIMS小型化发展有实用价值。

关键词：高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS) 高场射频电源分辨率灵敏度