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8英寸SiC晶圆制备与外延应用

人工晶体学报 2024年第10期 1712-1719页

作者：韩景瑞李锡光李咏梅王垚浩张清纯李达施建新闫鸿磊韩跃斌丁雄杰广东天域半导体股份有限公司广州南砂晶圆半导体技术有限公司清纯半导体(宁波)有限公司芯三代半导体科技(苏州)股份有限公司

碳化硅是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料之一，近20年来，随着碳化硅材料加工技术的不断提升，其应用领域不断扩大。目前碳化硅芯片制备仍然以6英寸（1英寸=25.4 mm）晶圆为主，但是行业龙头企业已经开始开发基于8英寸... 详细信息

碳化硅是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料之一，近20年来，随着碳化硅材料加工技术的不断提升，其应用领域不断扩大。目前碳化硅芯片制备仍然以6英寸（1英寸=25.4 mm）晶圆为主，但是行业龙头企业已经开始开发基于8英寸晶圆的下一代器件和芯片。本项目联合国内碳化硅产业链上、下游龙头企业，推进8英寸碳化硅芯片国产开发，尤其是关键的晶圆制备和外延应用环节。本文采用扩径生长制备了8英寸4H-SiC衬底，其平均BPD密度低至251 cm-2，平均TSD密度小于1 cm-2，实现了近“零TSD”和低BPD密度的8英寸衬底，可以满足生产需要。采用国产8英寸外延设备和开发的工艺包，实现了速率为68.66 μm/h的快速外延生长，厚度不均匀性为0.89%，掺杂不均匀性为2.05%，这两个指标已经达到了6英寸外延膜的优良水平，完全可以满足生产需要。与国外已发布的8英寸结果对比，厚度和掺杂均匀性均优于国外数据，而缺陷密度只有国外数据的1/4。设计和实施了多片的重复性试验，验证了其稳定性。

关键词：碳化硅 8英寸晶圆外延缺陷密度掺杂均匀性

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基于新型光纤滤线栅的CT图像散射校正研究

激光与光电子学进展 2024年

作者：张兵强马西响任宏宇王三昭陈龙李明张月刘启蒙郑晗石攀中建材光芯科技有限公司深圳市安健科技股份有限公司

本研究旨在深入探讨新型光纤滤线栅对成像质量的影响，并评估其在医学成像领域中的潜在应用价值。采用实验分析和综合评估的方法，系统研究了源相距、管电流乘时间、管电压以及滤线栅阵列面积对光纤滤线栅在成像过程中的性能影响。我们... 详细信息

本研究旨在深入探讨新型光纤滤线栅对成像质量的影响，并评估其在医学成像领域中的潜在应用价值。采用实验分析和综合评估的方法，系统研究了源相距、管电流乘时间、管电压以及滤线栅阵列面积对光纤滤线栅在成像过程中的性能影响。我们通过测量一次辐射透过率、散射辐射透过率、总辐射透过率及图像质量，对光纤滤线栅的表现进行全面分析。结果显示，在60kV、40mAs、80kV、40m As和120kV、20mAs的曝光条件下，80μm、100μm和120μm的光纤滤线栅均显示出良好的散射抑制效果，从而提高X射线成像的质量和清晰度。100μm的光纤滤线栅在平衡总辐射透过率和散射辐射透过率方面具有较好的性能，优于80μm和120μm的光纤滤线栅。基于实验分析，光纤滤线栅具备显著降低散射辐射、提升图像质量和对比度的巨大潜力。这为精准医疗领域的诊断与治疗提供了新的可能性。

关键词： X射线成像防散射滤线栅 X射线光学光纤成像医学和生物成像

面向居民家庭智慧用能的随器量测模块设计与应用

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现代电子技术 2024年第13期47卷 180-186页

作者：陈贺娜郝伟琦曹波康守信王丙休王贤辉北京智芯微电子科技有限公司北京102200 北京智芯半导体科技有限公司北京102299

针对低压居民用户用能负荷感知、测量、采集和调控需求,文中研究了面向居民家庭智慧用能的随器量测模块设计与应用技术。首先,分析了居民家庭智慧用能双向互动的业务场景;接着,进行了随器量测模块的硬件和软件设计,通过搭载高精度计量... 详细信息

针对低压居民用户用能负荷感知、测量、采集和调控需求,文中研究了面向居民家庭智慧用能的随器量测模块设计与应用技术。首先,分析了居民家庭智慧用能双向互动的业务场景;接着,进行了随器量测模块的硬件和软件设计,通过搭载高精度计量芯片、HPLC+HRF双模通信芯片和内嵌随器量测软件协议栈,实现了用电设备的嵌入式计量、通信、控制等主要功能。所研制随器量测模块经第三方机构检测,计量精度达到1级,采样频率优于20 kHz,满足用电设备高效双向通信需求。该技术在河北开展了智慧用能示范应用,实现了居民负荷电器级深度感知和精准调节,得到工程实践的验证。

关键词：智慧用能随器量测用电设备负荷调节 HPLC+HRF双模通信芯片深度感知

大管径Y型过滤器流动阻力特性数值模拟及实验研究

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天津大学学报（自然科学与工程技术版） 2024年第5期57卷 462-472页

作者：朱春光王朝晖田喆许健旷金国胡优彬天津大学环境科学与工程学院天津300072 深圳市前海能源科技发展有限公司深圳518066 深圳市前海建设投资控股集团有限公司深圳518066

大管径Y型过滤器是区域供冷和供热领域常用的过滤装置,设计师在选型时往往仅关注滤网目数,而忽略对过滤器阻力损失的关注.为了探究大管径Y型过滤器阻力损失的影响因素,首先,采用数值仿真计算的方法,分别建立不同特征尺寸的三维Y型过滤... 详细信息

大管径Y型过滤器是区域供冷和供热领域常用的过滤装置,设计师在选型时往往仅关注滤网目数,而忽略对过滤器阻力损失的关注.为了探究大管径Y型过滤器阻力损失的影响因素,首先,采用数值仿真计算的方法,分别建立不同特征尺寸的三维Y型过滤器模型,并利用深圳市前海区域供冷系统中的过滤器实验平台验证模拟的准确性;其次,研究了不同特征尺寸对于改善大管径Y型过滤器阻力损失的影响情况,并针对特征尺寸进行灰关联度排序,结果表明,影响程度由大到小依次为:腔体出口尺寸>滤网透过率>腔体入口尺寸>腔体与管道轴线夹角>腔体中心筒径>腔体长度;最后,根据灰关联度排序,通过将过滤腔体筒径扩大至管道直径的1.25倍,将过滤腔体的长度延长至管道直径的1.20倍,将腔体出口尺寸扩大至管道直径的1.125倍,将腔体与管道轴线夹角扩大至55°,滤网透过率提高至43.83%,新设计了流动阻力特性更优的大管径Y型过滤器,CFD计算结果显示,新设计的过滤器与原过滤器相比,阻力损失下降了73.23%,可大幅降低流体输配能耗.针对CFD优化设计方法,利用尺寸相近的Y型过滤器开展了阻力特性对比实验验证.本研究为大管径Y型过滤器的优化设计及技术改造提供了理论依据.

关键词：大管径Y型过滤器数值模拟对比实验阻力特性影响因素灰关联度

精细化工艺生产管理与中国半导体行业的发展研究

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中国战略新兴产业 2024年第23期 152-154页

作者：陈立伟深圳市盛元半导体有限公司

本文探讨了中国半导体行业中精细化工艺生产管理的复杂性，考察了半导体行业的历史演变和当前状态，强调了里程碑、成就和现存挑战。研究深入分析了影响生产管理的关键因素，包括技术进步、经济考量和监管框架。通过对最佳实践、提高效... 详细信息

本文探讨了中国半导体行业中精细化工艺生产管理的复杂性，考察了半导体行业的历史演变和当前状态，强调了里程碑、成就和现存挑战。研究深入分析了影响生产管理的关键因素，包括技术进步、经济考量和监管框架。通过对最佳实践、提高效率的策略和生产过程创新的分析，文章强调了对持续研究和创新的重要性，以满足行业不断变化的需求和挑战。文章最后提出了未来研究的建议，强调需要进一步探索新兴技术和纵向研究，以增进对半导体行业的理解，推动其可持续增长和竞争力。

关键词：精细化工艺生产管理半导体行业发展研究

基于衍生化3-氨基-2-恶唑烷酮的夹心酶联免疫分析

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食品科学 2024年第6期45卷 271-276页

作者：张世伟吴会玲周迎春王炳志杨星星杜业刚汤璐冯荣虎郭继平深圳市计量质量检测研究院广东深圳518000 深圳市易瑞生物技术股份有限公司广东深圳518000

建立一种3-氨基-2-恶唑烷酮(3-amino-2-oxazolidinone,AOZ)夹心免疫检测方法。通过1,6-己二醇连接2-硝基-4-羧基苯甲醛和生物素合成针对AOZ的新型衍生试剂。在样品前处理时加入衍生试剂可对AOZ进行衍生,衍生产率为89%。在酶标板上包被抗... 详细信息

建立一种3-氨基-2-恶唑烷酮(3-amino-2-oxazolidinone,AOZ)夹心免疫检测方法。通过1,6-己二醇连接2-硝基-4-羧基苯甲醛和生物素合成针对AOZ的新型衍生试剂。在样品前处理时加入衍生试剂可对AOZ进行衍生,衍生产率为89%。在酶标板上包被抗AOZ单克隆抗体并以辣根过氧化物酶标记的亲和素或抗生物素抗体作为第二结合物可实现AOZ的夹心酶联免疫吸附检测(enzyme-linked immunosorbnent assay,ELISA)。从实际应用的角度,得到双抗夹心和抗体-亲和素夹心模式下两个表位的极限距离,分别为12Å和13Å,理想距离分别为16Å和17Å。在双抗夹心和抗体-亲和素夹心模式下的检出限分别达到1.8 pg/mL和0.8 pg/mL(以AOZ质量浓度计),相对于竞争ELISA,其灵敏度最高提高了25倍。平均回收率为73%~85%,平均相对标准偏差为9.0%。

关键词： 3-氨基-2-恶唑烷酮夹心酶联免疫分析表位间隔距离辣根过氧化物酶标记亲和素

界面工程调控石墨烯/氮化镓紫外光电探测性能研究（特邀）

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激光与光电子学进展 2024年第3期 21-26页

作者：高芳亮陈坤刘青王幸福杨纪锐徐明俊贺宇浩石宇豪许腾文阳志超李述体华南师范大学半导体科学与技术学院东莞南方半导体科技有限公司

界面工程是提高光电探测器性能的有效方法之一。报道了基于界面工程调控的石墨烯(Gr,2D)/GaN(3D)范德瓦耳斯异质结紫外光电探测器。GaN吸收光子产生电子空穴对，并在内建电场作用下发生分离。其中，光生空穴利用隧穿效应向Gr一侧迁移，... 详细信息

界面工程是提高光电探测器性能的有效方法之一。报道了基于界面工程调控的石墨烯(Gr,2D)/GaN(3D)范德瓦耳斯异质结紫外光电探测器。GaN吸收光子产生电子空穴对，并在内建电场作用下发生分离。其中，光生空穴利用隧穿效应向Gr一侧迁移，而光生电子向GaN一侧迁移。在较高的电场驱动下，载流子将发生碰撞，造成光电流倍增，使得器件的光吸收效率与光电转化效率有明显提升。因此，器件在-2 V偏压条件和5μW/cm2紫外光照射下，展示出较高的响应度(395.2 A/W)和较大的探测率(4.425×1015Jones)值。该研究丰富了界面工程技术在Gr基紫外光电探测器的应用，为制备高性能紫外探测器提供了可能。

关键词：氮化镓二维/三维金属有机化学气相沉积紫外探测器

超细晶挤压态FGH4113A高温合金等温锻造过程中的本构特性及组织演变

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稀有金属材料与工程 2024年第8期53卷 2275-2284页

作者：李远何英杰马向东杨金龙肖磊郭建政冯干江深圳市万泽中南研究院有限公司深圳市万泽航空科技有限责任公司中南大学粉末冶金研究院

锻造是先进航空发动机粉末涡轮盘制备的关键成型工艺。合金的化学成分和挤压工艺很大程度上决定了挤压态合金的组织。新型镍基粉末高温合金FGH4113A（WZ-A3）热挤压之后晶粒度达到13级以上，挤压态合金呈现γ+γ'双相组织。细小均匀的... 详细信息

锻造是先进航空发动机粉末涡轮盘制备的关键成型工艺。合金的化学成分和挤压工艺很大程度上决定了挤压态合金的组织。新型镍基粉末高温合金FGH4113A（WZ-A3）热挤压之后晶粒度达到13级以上，挤压态合金呈现γ+γ'双相组织。细小均匀的双相组织为更为广阔的等温锻造工艺窗口提供可能。本研究采用超细晶挤压态合金FGH4113A进行温度分别为1000、1040、1080和1120℃，应变速率为0.001、0.01和0.1 s-1的Gleeble热压缩试验，压缩量为60%。结果表明合金试样在所有压缩条件下均未发生开裂，体现超细晶挤压态合金FGH4113A有广阔的等温锻造工艺窗口。合金的平均激活能仅为515.375 kJ/mol。低应变速率下(0.001 s-1)，试样真应力-真应变曲线呈现出稳态流变特性；高应变速率下(0.1 s-1)，试样的真应力-真应变曲线呈现出加工硬化到再结晶软化的变化。γ'相对变形温度敏感，高的变形温度会引发γ'相的溶解而导致再结晶晶粒的长大。此外，超细晶挤压态合金FGH4113A在等温锻造过程中主要再结晶方式为不连续动态再结晶。本研究为超细晶挤压态合金FGH4113A的锻造工艺制定提供了实验依据。

关键词：超细晶热挤压 FGH4113A 高温锻造组织演变

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基于残差的分布式光伏发电功率组合预测方法

深圳大学学报（理工版） 2024年第3期41卷 293-302页

作者：吴明朗庞振江洪海敏占兆武靳飞唐远洋叶璇深圳市国电科技通信有限公司广东深圳518109 深圳智芯微电子科技有限公司广东深圳518048 人工智能与数字经济广东省实验室(深圳) 广东深圳518107

分布式光伏发电功率预测在保障电网运行安全和就近消纳方面发挥着重要作用,为提升分布式光伏发电功率预测精度,提出一种基于多元气象的特征提取方法和基于残差连接的多模型融合的光伏发电功率预测模型.在特征提取时,引入统计、交叉、周... 详细信息

分布式光伏发电功率预测在保障电网运行安全和就近消纳方面发挥着重要作用,为提升分布式光伏发电功率预测精度,提出一种基于多元气象的特征提取方法和基于残差连接的多模型融合的光伏发电功率预测模型.在特征提取时,引入统计、交叉、周期信息、近似熵和光伏板温度等特征提取方法,实现对时间、气象和发电功率的深层特征提取,丰富模型的输入.在模型构建时,建立基于残差连接的多层模型融合方法,首先提出基于k最近邻(k-nearest neighbor,kNN)的softmax回归预测模型,其次设计3层模型整体结构,并通过残差连接和多层堆叠的方式融合多个预测模型,持续提升光伏发电功率预测精度.基于电力公司真实数据,采用本研究方法与随机森林(random forest,RF)、TabNet和极端梯度提升(extreme gradient boosting,XGBoost)等模型,对光伏发电功率进行预测.结果表明,所提模型在均方根误差、平均绝对误差、均方误差和平均绝对百分比误差等方面可分别降低0.1097、0.0591、0.0507和0.0368,拟合优度可提升0.0804.基于多元气象的特征提取方法和基于残差连接的多模型融合的光伏发电功率预测模型能有效提升分布式光伏发电功率预测的精度和稳定性.

关键词：人工智能太阳能特征提取残差连接随机森林 TabNet 极端梯度提升功率预测