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靶材刻蚀对磁控溅射制备ZnO:Al薄膜性能空间分布的影响

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真空科学与技术学报 2016年第12期36卷 1373-1380页

作者：彭寿张宽翔蒋继文杨勇姚婷婷曹欣李刚金克武徐根保王芸浮法玻璃新技术国家重点实验室蚌埠233000 蚌埠玻璃工业设计研究院蚌埠233018

采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(AZO)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备AZO薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏蔽罩旁竖直放置,并通过X射线衍射仪、霍尔效应测试系统、光学椭偏仪等设备分析其结构和光电性能,系统地... 详细信息

采用未经使用和经长时间使用后的新旧掺铝氧化锌(AZO)圆形平面陶瓷靶,直流磁控溅射制备AZO薄膜,基片分别正对靶材水平放置和立在屏蔽罩旁竖直放置,并通过X射线衍射仪、霍尔效应测试系统、光学椭偏仪等设备分析其结构和光电性能,系统地研究靶材刻蚀对磁控溅射制备AZO薄膜性能空间分布的影响。研究表明,氧负离子是造成靶材刻蚀导致薄膜性能空间差异的主要原因,对于水平放置径向分布的AZO薄膜,采用新靶制备时,靶材刻蚀位置处,氧负离子对薄膜损伤作用最大,(002)晶面间距增大,电学性能最差,而在正对靶中心及其他位置处电学性能较佳,随着靶材刻蚀的加深,氧负离子对正对靶中心位置处的薄膜损伤作用最大,结晶性能和电学性能最差;而对于竖直放置纵向分布的AZO薄膜,由于受氧负离子作用弱,采用新旧靶制备的薄膜性能分布规律相似,薄膜电学和结晶性能较水平放置均有所提升,某些位置处电阻率可达(7~8)×10^(-4)Ω·cm,但可见光透过率有所下降。

关键词：靶材刻蚀 AZO薄膜氧负离子空间分布

制备聚合物基无机纳米SiO_2复合材料的几种方法

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化学通报 2014年第4期77卷 324-327页

作者：王萍萍王芸金良茂孙人杰甘治平蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室蚌埠230037

聚合物基纳米SiO2复合材料由于兼具无机二氧化硅和有机硅的特性而具有广阔的应用前景。将纳米SiO2和有机硅聚合物有效地复合,形成无机-聚合物复合材料,是一个非常活跃的领域。本文总结了几种常用的制备聚合物基纳米SiO2复合材料的方法。

关键词：聚合物纳米SiO2 共混法原位分散聚合法溶胶-凝胶法

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p型掺杂ZnO薄膜的光致发光特性研究

压电与声光 2018年第4期40卷 503-506页

作者：沈洪雪马俊姚婷婷李刚蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室安徽蚌埠233018

采用磁控溅射技术,以N_2作为p型掺杂源,制备p型N掺杂ZnO薄膜,着重研究了不同掺杂量的N掺杂ZnO薄膜的光学特性。结果表明,掺杂ZnO薄膜在360nm、380nm处出现主荧光峰,409nm、440nm处出现次荧光峰,而且随着N掺杂量的不同,主、次荧光峰-峰... 详细信息

采用磁控溅射技术,以N_2作为p型掺杂源,制备p型N掺杂ZnO薄膜,着重研究了不同掺杂量的N掺杂ZnO薄膜的光学特性。结果表明,掺杂ZnO薄膜在360nm、380nm处出现主荧光峰,409nm、440nm处出现次荧光峰,而且随着N掺杂量的不同,主、次荧光峰-峰位和强度都会发生变化。当O_2∶N_2的体积流量比为15∶5时,薄膜中N含量最大,荧光谱中发光峰强度最佳,霍尔效应检测薄膜具有明显的p型导电特征。

关键词： p型掺杂光致发光(PL)谱磁控溅射受主杂质缺陷浓度红移蓝移

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掺银二氧化钛薄膜的制备及其性能

材料热处理学报 2016年第3期37卷 6-11页

作者：操芳芳金良茂彭程王萍萍汤永康蚌埠玻璃工业设计研究院安徽蚌埠233000 浮法玻璃新技术国家重点实验室安徽蚌埠233000

采用四氯化钛水解法制备了一系列不同Ag掺杂量的纳米Ag-TiO_2复合薄膜,运用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见(UV-Vis)光谱、光致发光(PL)谱、可见光透过(T%)光谱等手段对Ag-TiO_2进行了表征,采用接触角测量仪考察了Ag含量对Ti... 详细信息

采用四氯化钛水解法制备了一系列不同Ag掺杂量的纳米Ag-TiO_2复合薄膜,运用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外-可见(UV-Vis)光谱、光致发光(PL)谱、可见光透过(T%)光谱等手段对Ag-TiO_2进行了表征,采用接触角测量仪考察了Ag含量对TiO_2薄膜亲水性的影响,并以8W(λ=254nm)的UV灯作为光源,评价了各薄膜光催化降解亚甲基蓝的活性。UV-Vis测试结果表明,Ag的掺杂使TiO_2吸收边发生红移,有效增强可见光的吸收能力。PL测试结果表明,Ag能显著抑制光生电子(e-)和空穴(h+)的复合。T%光谱测试结果表明,Ag掺杂不影响TiO_2薄膜的可见光透过率。Ag的存在大幅度提高了TiO_2薄膜的亲水性以及对亚甲基蓝的光催化降解活性,当掺杂Ag的质量分数为1%时,TiO_2薄膜与水的接触角几乎为0°,同时可使TiO_2薄膜的光催化活性提高约1.5倍。

关键词：二氧化钛薄膜银掺杂亲水性光催化亚甲基蓝

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塑烧板与滤筒除尘器收集黏附性粉体性能对比

中国粉体技术 2022年第6期28卷 107-113页

作者：张明星黄梅李杨吴建新李佩悦颜翠平陈海焱蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室安徽蚌埠340300 西南科技大学环境与资源学院固体废物处理与资源化教育部重点实验室四川绵阳621010

为了解决传统滤袋在收集黏附性粉体时发生糊袋、破损造成环境污染和资源浪费等问题,本文中自建滤筒除尘器和塑烧板除尘器实验平台,以除尘器系统阻力、粉尘排放浓度作为评价指标,评估塑烧板除尘器和滤筒除尘器收集黏附性粉体的性能。结... 详细信息

为了解决传统滤袋在收集黏附性粉体时发生糊袋、破损造成环境污染和资源浪费等问题,本文中自建滤筒除尘器和塑烧板除尘器实验平台,以除尘器系统阻力、粉尘排放浓度作为评价指标,评估塑烧板除尘器和滤筒除尘器收集黏附性粉体的性能。结果表明:在喷吹压力为0.4 MPa、过滤风速为0.8 m/min条件下,塑烧板除尘器收集高岭土和勃姆石粉体,设备稳定运行时的阻力值分别为155~520、325~500 Pa,粉尘排放质量浓度为1 mg/m^(3),滤筒除尘器收集高岭土粉体时,30 min内系统阻力值增大至6 kPa,收集勃姆石粉体,70 min内系统未能达到稳定运行状态,粉尘排放质量浓度最大值为29 mg/m^(3)。由此可见,在收集黏附性粉尘时塑烧板除尘器的性能更优于滤筒除尘器。

关键词：塑烧板除尘器滤筒除尘器系统阻力粉尘浓度

高长径比银纳米线的制备及其透明导电薄膜的性能

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材料热处理学报 2017年第5期38卷 25-29页

作者：彭寿操芳芳金良茂汤永康王东王魏巍单传丽倪嘉蚌埠玻璃工业设计研究院安徽蚌埠233000 浮法玻璃新技术国家重点实验室安徽蚌埠233000

采用简单高效的一步多元醇法以FeCl_3·6H_2O为成核控制剂,在低温、静置的条件下成功合成了产量高、形貌尺寸均匀、银线平均长度80~110μm、平均直径为40~80 nm,长径比大于1000的高长径比Ag纳米线。将制得银纳米线通过无水乙醇分散,得... 详细信息

采用简单高效的一步多元醇法以FeCl_3·6H_2O为成核控制剂,在低温、静置的条件下成功合成了产量高、形貌尺寸均匀、银线平均长度80~110μm、平均直径为40~80 nm,长径比大于1000的高长径比Ag纳米线。将制得银纳米线通过无水乙醇分散,得到一系列质量体积浓度的银线分散液,利用旋涂装置在PET上制备成膜,得到薄膜方阻仅6Ω/sq、可见光透过率80%左右性能良好的银纳米线透明导电薄膜,并探讨了旋涂层数、旋涂速度对各质量体积浓度薄膜性能的影响。

关键词：银纳米线透明导电膜高长径比方块电阻旋涂

Fe^(3+)/TiO_2纳米薄膜的亲水性及光催化性能

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纳米技术与精密工程 2014年第6期12卷 449-454页

作者：彭寿操芳芳金良茂浮法玻璃新技术国家重点实验室蚌埠233000 蚌埠玻璃工业设计研究院蚌埠233000

采用溶胶-凝胶法制备了一系列不同Fe3+含量的Fe3+/Ti O2纳米薄膜,运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见分光光度计等手段对Fe3+/Ti O2进行了表征,并利用接触角测量仪考察了Fe3+含量、保存时间以及薄膜层数对亲水性的影响,同时以8... 详细信息

采用溶胶-凝胶法制备了一系列不同Fe3+含量的Fe3+/Ti O2纳米薄膜,运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见分光光度计等手段对Fe3+/Ti O2进行了表征,并利用接触角测量仪考察了Fe3+含量、保存时间以及薄膜层数对亲水性的影响,同时以8 W(λ=254 nm)的UV灯作为光源,评价了各薄膜光催化降解亚甲基蓝的活性.结果表明,当Fe3+质量分数为0.5%时,Ti O2薄膜催化降解染料的活性得到大幅提高,同时也表现出了最好的亲水性,其薄膜表面与水的接触角几乎为0°.

关键词：铁离子二氧化钛薄膜光催化亲水性亚甲基蓝

种子层及掺杂浓度对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响

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硅酸盐通报 2016年第2期35卷 543-549页

作者：彭寿汤永康王芸金良茂甘治平王东王萍萍操芳芳蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室蚌埠233000

本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝（AZO）薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种子层引导液相法所制备AZO薄膜生长。Al掺杂浓度区间为0.25at%～5.00at%。通过X射线衍射仪、场发射扫... 详细信息

本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝（AZO）薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种子层引导液相法所制备AZO薄膜生长。Al掺杂浓度区间为0.25at%～5.00at%。通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、轮廓仪、方块电阻测试仪、霍尔效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计分别研究了薄膜物相、微观结构、膜厚及光电性能,进一步分析了Al掺杂浓度、种子层对薄膜光电性能的影响。结果表明：经10次提拉所制备薄膜可见光透过率85%以上。Al掺杂浓度、种子层的引入对AZO薄膜的光电性能有重要影响。无种子层时,掺杂浓度为0.50at%的AZO薄膜在5%H2、95%N2还原气氛下于550℃保温60 min得到最优电学性能,方块电阻约为166Ω/□,电阻率约为1.99×10-3Ω·cm;预镀AZO种子层所制备薄膜方块电阻下降到约42Ω/□,电阻率下降到约7.56×10-4Ω·cm。

关键词： Al掺杂浓度种子层铝掺杂氧化锌薄膜光电性能

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玻璃粉料熔融球化过程的模拟研究

硅酸盐通报 2016年第6期35卷 1800-1806页

作者：彭寿陈淑勇陈凯王芸彭程蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室蚌埠233000

采用数值模拟方法,对单个熔融玻璃粉料颗粒的恒温球化过程进行了模拟研究。应用FLUENT软件,结合流体体积法追踪颗粒球化过程的液滴界面,模拟得到了熔融玻璃粉料颗粒在表面张力作用下自然球化的演化过程。提出了以熔融液滴的表面积变化... 详细信息

采用数值模拟方法,对单个熔融玻璃粉料颗粒的恒温球化过程进行了模拟研究。应用FLUENT软件,结合流体体积法追踪颗粒球化过程的液滴界面,模拟得到了熔融玻璃粉料颗粒在表面张力作用下自然球化的演化过程。提出了以熔融液滴的表面积变化来表征球化进程,分析了恒温条件下,熔融液滴的初始球形度、体积、粘度、表面张力因素对液滴球化时间的影响,并根据模拟结果拟合得到了特征球化时间的经验公式。

关键词：球化数值模拟球化时间 VOF方法