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8英寸SiC晶圆制备与外延应用

人工晶体学报 2024年第10期 1712-1719页

作者：韩景瑞李锡光李咏梅王垚浩张清纯李达施建新闫鸿磊韩跃斌丁雄杰广东天域半导体股份有限公司广州南砂晶圆半导体技术有限公司清纯半导体(宁波)有限公司芯三代半导体科技(苏州)股份有限公司

碳化硅是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料之一，近20年来，随着碳化硅材料加工技术的不断提升，其应用领域不断扩大。目前碳化硅芯片制备仍然以6英寸（1英寸=25.4 mm）晶圆为主，但是行业龙头企业已经开始开发基于8英寸... 详细信息

碳化硅是制作高温、高频、大功率电子器件的理想电子材料之一，近20年来，随着碳化硅材料加工技术的不断提升，其应用领域不断扩大。目前碳化硅芯片制备仍然以6英寸（1英寸=25.4 mm）晶圆为主，但是行业龙头企业已经开始开发基于8英寸晶圆的下一代器件和芯片。本项目联合国内碳化硅产业链上、下游龙头企业，推进8英寸碳化硅芯片国产开发，尤其是关键的晶圆制备和外延应用环节。本文采用扩径生长制备了8英寸4H-SiC衬底，其平均BPD密度低至251 cm-2，平均TSD密度小于1 cm-2，实现了近“零TSD”和低BPD密度的8英寸衬底，可以满足生产需要。采用国产8英寸外延设备和开发的工艺包，实现了速率为68.66 μm/h的快速外延生长，厚度不均匀性为0.89%，掺杂不均匀性为2.05%，这两个指标已经达到了6英寸外延膜的优良水平，完全可以满足生产需要。与国外已发布的8英寸结果对比，厚度和掺杂均匀性均优于国外数据，而缺陷密度只有国外数据的1/4。设计和实施了多片的重复性试验，验证了其稳定性。

关键词：碳化硅 8英寸晶圆外延缺陷密度掺杂均匀性

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面向居民家庭智慧用能的随器量测模块设计与应用

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现代电子技术 2024年第13期47卷 180-186页

作者：陈贺娜郝伟琦曹波康守信王丙休王贤辉北京智芯微电子科技有限公司北京102200 北京智芯半导体科技有限公司北京102299

针对低压居民用户用能负荷感知、测量、采集和调控需求,文中研究了面向居民家庭智慧用能的随器量测模块设计与应用技术。首先,分析了居民家庭智慧用能双向互动的业务场景;接着,进行了随器量测模块的硬件和软件设计,通过搭载高精度计量... 详细信息

针对低压居民用户用能负荷感知、测量、采集和调控需求,文中研究了面向居民家庭智慧用能的随器量测模块设计与应用技术。首先,分析了居民家庭智慧用能双向互动的业务场景;接着,进行了随器量测模块的硬件和软件设计,通过搭载高精度计量芯片、HPLC+HRF双模通信芯片和内嵌随器量测软件协议栈,实现了用电设备的嵌入式计量、通信、控制等主要功能。所研制随器量测模块经第三方机构检测,计量精度达到1级,采样频率优于20 kHz,满足用电设备高效双向通信需求。该技术在河北开展了智慧用能示范应用,实现了居民负荷电器级深度感知和精准调节,得到工程实践的验证。

关键词：智慧用能随器量测用电设备负荷调节 HPLC+HRF双模通信芯片深度感知

界面工程调控石墨烯/氮化镓紫外光电探测性能研究（特邀）

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激光与光电子学进展 2024年第3期 21-26页

作者：高芳亮陈坤刘青王幸福杨纪锐徐明俊贺宇浩石宇豪许腾文阳志超李述体华南师范大学半导体科学与技术学院东莞南方半导体科技有限公司

界面工程是提高光电探测器性能的有效方法之一。报道了基于界面工程调控的石墨烯(Gr,2D)/GaN(3D)范德瓦耳斯异质结紫外光电探测器。GaN吸收光子产生电子空穴对，并在内建电场作用下发生分离。其中，光生空穴利用隧穿效应向Gr一侧迁移，... 详细信息

界面工程是提高光电探测器性能的有效方法之一。报道了基于界面工程调控的石墨烯(Gr,2D)/GaN(3D)范德瓦耳斯异质结紫外光电探测器。GaN吸收光子产生电子空穴对，并在内建电场作用下发生分离。其中，光生空穴利用隧穿效应向Gr一侧迁移，而光生电子向GaN一侧迁移。在较高的电场驱动下，载流子将发生碰撞，造成光电流倍增，使得器件的光吸收效率与光电转化效率有明显提升。因此，器件在-2 V偏压条件和5μW/cm2紫外光照射下，展示出较高的响应度(395.2 A/W)和较大的探测率(4.425×1015Jones)值。该研究丰富了界面工程技术在Gr基紫外光电探测器的应用，为制备高性能紫外探测器提供了可能。

关键词：氮化镓二维/三维金属有机化学气相沉积紫外探测器

界面工程调控石墨烯/氮化镓紫外光电探测性能研究(特邀)

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激光与光电子学进展 2024年第3期61卷 1-6页

作者：高芳亮陈坤刘青王幸福杨纪锐徐明俊贺宇浩石宇豪许腾文阳志超李述体华南师范大学半导体科学与技术学院广东广州510631 东莞南方半导体科技有限公司广东东莞523781

界面工程是提高光电探测器性能的有效方法之一。报道了基于界面工程调控的石墨烯(Gr,2D)/GaN(3D)范德瓦耳斯异质结紫外光电探测器。GaN吸收光子产生电子空穴对,并在内建电场作用下发生分离。其中,光生空穴利用隧穿效应向Gr一侧迁移,而... 详细信息

界面工程是提高光电探测器性能的有效方法之一。报道了基于界面工程调控的石墨烯(Gr,2D)/GaN(3D)范德瓦耳斯异质结紫外光电探测器。GaN吸收光子产生电子空穴对,并在内建电场作用下发生分离。其中,光生空穴利用隧穿效应向Gr一侧迁移,而光生电子向GaN一侧迁移。在较高的电场驱动下,载流子将发生碰撞,造成光电流倍增,使得器件的光吸收效率与光电转化效率有明显提升。因此,器件在-2 V偏压条件和5μW/cm^(2)紫外光照射下,展示出较高的响应度(395.2 A/W)和较大的探测率(4.425×10^(15)Jones)值。该研究丰富了界面工程技术在Gr基紫外光电探测器的应用,为制备高性能紫外探测器提供了可能。

关键词：氮化镓二维/三维金属有机化学气相沉积紫外探测器

国有企业应与时俱进全面优化人力资源培训工作

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中国商界 2024年第1期 158-160页

作者：茅天玮北京智芯半导体科技有限公司

国有企业为国家的经济增长作出了巨大的贡献。然而,在市场经济的冲击下,国有企业也面临一系列挑战和问题,包括效率低下、创新能力不足等。为了提升国有企业的竞争力和可持续发展能力,人力资源培训变得非常重要。人力资源培训可以帮助国... 详细信息

国有企业为国家的经济增长作出了巨大的贡献。然而,在市场经济的冲击下,国有企业也面临一系列挑战和问题,包括效率低下、创新能力不足等。为了提升国有企业的竞争力和可持续发展能力,人力资源培训变得非常重要。人力资源培训可以帮助国有企业提升员工的素质和能力,加强组织的核心竞争力,提高企业运营效率和创新能力。因此,需要对国有企业人力资源培训进行深入研究,以提供相应的管理策略和方法。

关键词：人力资源培训国有企业企业运营效率核心竞争力可持续发展能力创新能力企业的竞争力全面优化

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轮速传感器AK协议解码系统设计与实现

传感器世界 2024年第7期30卷 38-47页

作者：李乐荣广东舆芯半导体科技有限公司广东广州515063

带AK协议的轮速传感器为汽车主动安全控制系统提供了轮速信息的同时,还提供了转动方向以及诊断等其他信息,为控制系统可靠性的提升发挥了重要的作用。文章以机电制动控制器(Electromechanical Brake System,EMB)为例,采用分立电路与EMB... 详细信息

带AK协议的轮速传感器为汽车主动安全控制系统提供了轮速信息的同时,还提供了转动方向以及诊断等其他信息,为控制系统可靠性的提升发挥了重要的作用。文章以机电制动控制器(Electromechanical Brake System,EMB)为例,采用分立电路与EMB控制器自带的微处理器设计解码系统,进行轮速传感器AK协议解码。通过对AK协议的关键特征进行分析,设计了硬件信号处理电路,分别提取出速度信号与数据信号。基于微控制单元(Microcontroller Unit,MCU)现有的AUTOSAR软件架构,以复杂驱动的形式设计解码软件,进行速度与数据解码。搭建测试平台,对解码系统进行测试。测试结果证明,解码系统对速度和数据的解码结果准确,具有工程实用性。

关键词： AK协议轮速传感器窗口比较电路曼切斯特码

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ABF基板的可靠性测试方法研究

印制电路信息 2024年第S1期32卷 278-287页

作者：李进东袁成兵陈庆平魏永发赖勇徐翛晓奥芯半导体科技太仓有限公司江苏太仓215427

本研究针对ABF(味之素堆积膜)基板的可靠性测试方法进行了探究,基于《IPC-TM-650测试方法手册》和《JEDEC标准》,并通过使用合适的研究方法和途径,收集整理了基板行业主流板厂和封装厂针对ABF基板的可靠性测试项目。研究发现业内当前对... 详细信息

本研究针对ABF(味之素堆积膜)基板的可靠性测试方法进行了探究,基于《IPC-TM-650测试方法手册》和《JEDEC标准》,并通过使用合适的研究方法和途径,收集整理了基板行业主流板厂和封装厂针对ABF基板的可靠性测试项目。研究发现业内当前对于ABF基板仍缺乏一个明确有效、全面统一的成品可靠性测试方案。本研究结果对于规范ABF基板的产品可靠性测试方法,提升ABF基板品质具有重要意义。本文对研究的背景和目的进行了简要介绍,并对研究方法和途径进行了描述,强调了本研究的创新性和研究价值。最后,总结了本研究的主要结论和意义。

关键词： ABF基板可靠性测试方法

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溅射镀膜单体机真空系统设计及性能分析

真空科学与技术学报 2024年

作者：许泽宇胡明刘杰顾子莺赵德明浙江理工大学杭纳半导体装备(杭州)有限公司

为了使溅射镀膜单体机的极限真空度达到5×10-4Pa并提高其抽空效率，提出了新的溅射镀膜单体机真空系统设计方案。利用MOLFLOW+软件对所设计的真空系统进行了极限真空度验证，真空室内部气压均优于2.7×10-4Pa；同时，建立了真空系统的... 详细信息

为了使溅射镀膜单体机的极限真空度达到5×10-4Pa并提高其抽空效率，提出了新的溅射镀膜单体机真空系统设计方案。利用MOLFLOW+软件对所设计的真空系统进行了极限真空度验证，真空室内部气压均优于2.7×10-4Pa；同时，建立了真空系统的抽气计算模型，求解得到抽空曲线，与实机试验结果进行比较，结果显示，计算模型获得的抽空曲线与试验测试值偏差小于5%，可用于高真空系统性能分析。

关键词：磁控溅射真空系统抽气性能抽空曲线

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关于加强企业财务管理及内部控制的思考

中国科技投资 2024年第17期 126-128页

作者：张金洋深圳市埃芯半导体科技有限公司

当前，企业对财务工作的要求逐渐提高，企业想要更平稳、安全地运营，就需要加强财务管理及内部控制工作。但在实际工作中，需要相关人员对财务管理及内部控制工作进行研究，找到其中存在的问题，并予以解决，如此才能提升管理能力，保... 详细信息

当前，企业对财务工作的要求逐渐提高，企业想要更平稳、安全地运营，就需要加强财务管理及内部控制工作。但在实际工作中，需要相关人员对财务管理及内部控制工作进行研究，找到其中存在的问题，并予以解决，如此才能提升管理能力，保障资金利用率，推动企业的发展。文章就此进行了一些思考和分析，仅供参考。

关键词：企业财务管理内部控制