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集成可编程光芯片的研究与功能验证

电子学报 2024年第5期52卷 1524-1533页

作者：李智慧梁宇鑫范诗佳廖海军刘大鹏冯靖崔乃迪联合微电子中心有限责任公司硅基光电子中心重庆401332

随着对高速、超紧凑数据信号管理需求的日益增长,光子集成电路(Photonics Integrated Circuits,PIC)在先进的光子信号处理中受到广泛关注,其中可编程光芯片因其特有的通用性、可重构特性逐渐受到开发者的青睐.本文依托联合微电子中心有... 详细信息

随着对高速、超紧凑数据信号管理需求的日益增长,光子集成电路(Photonics Integrated Circuits,PIC)在先进的光子信号处理中受到广泛关注,其中可编程光芯片因其特有的通用性、可重构特性逐渐受到开发者的青睐.本文依托联合微电子中心有限责任公司(United MicroElectronics Center ***,CUMEC)的绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator,SOI)自主工艺平台,设计并制备了包含9个六边形单元的3×3六边形架构可编程光芯片,利用迭代扫描法实现了消光比高达30 dB的开关电压标定,并通过扁平化版图优化设计使芯片尺寸降低了21%;采用此可编程光芯片进一步完成了典型功能验证:通过对输入输出端的可调基本单元(Tunable Basic Unit,TBU)耦合系数进行调谐,可实现消光比、谐振波长、自由光谱范围可调的马赫曾德尔干涉仪(Mach-Zehnder Interferometer,MZI)/微环谐振腔(Micro-Ring Resonator,MRR),消光比可高达42.3 dB/28 dB;可实现延时量大范围可调谐的延时线及任意输入/输出端口之间的路由.该芯片是目前世界上规模最大的六边形架构可编程光芯片,并实现了与有源单元的单片集成,在微波光子信号处理、化学生物传感、量子信息、光计算领域具有广阔的应用前景.

关键词：光子集成电路可编程光芯片可重构硅光平台功能验证

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大规模硅基光电子集成技术与挑战

光学学报 2024年

作者：李瑜李强刘大鹏冯俊波郭进联合微电子中心有限责任公司

经过数十年的发展，硅基光电子集成芯片在自身技术演进和集成电路领域摩尔定律维系日益困难等多方面推动之下，无论是单个器件性能、系统集成功能，还是规模化设计制造成熟度，都取得了长足进步。尤其在近年来，随着数据中心带宽需求急... 详细信息

经过数十年的发展，硅基光电子集成芯片在自身技术演进和集成电路领域摩尔定律维系日益困难等多方面推动之下，无论是单个器件性能、系统集成功能，还是规模化设计制造成熟度，都取得了长足进步。尤其在近年来，随着数据中心带宽需求急速增长以及人工智能技术、自动驾驶技术等新技术飞速发展，硅基光电子芯片的大规模集成技术被逐渐重视。而上述“大规模”则包括以下两层含义：其一，芯片器件集成数目的大规模；其二，芯片生产能力的大规模。本综述将从硅基光电子芯片在近年来的发展现状入手，对大规模集成背景下的器件与系统性能匹配发展脉络进行论述，同时从设计人员以及生产制造的角度，对面向规模芯片出货的生产模式、设计制造全流程方法以及一致性工程等关键技术进行分析，并进一步讨论未来硅基光电子集成芯片的大规模推广前景。

关键词：光学集成电路(集成光路) 硅基光电子集成芯片大规模设计大规模制造

大规模硅基光电子集成芯片技术与挑战（特邀）

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光学学报 2024年第15期 228-252页

作者：李瑜李强刘大鹏冯俊波郭进联合微电子中心有限责任公司

从硅基光电子芯片在近年来的发展现状入手，对大规模集成背景下的器件与系统性能匹配发展脉络进行综述，同时从设计人员以及生产制造的角度，对面向规模芯片出货的生产模式、设计制造全流程方法以及一致性工程等关键技术进行分析，并进... 详细信息

从硅基光电子芯片在近年来的发展现状入手，对大规模集成背景下的器件与系统性能匹配发展脉络进行综述，同时从设计人员以及生产制造的角度，对面向规模芯片出货的生产模式、设计制造全流程方法以及一致性工程等关键技术进行分析，并进一步讨论未来硅基光电子集成芯片的大规模推广应用前景。

关键词：光学集成电路硅基光电子集成芯片大规模设计大规模制造

基础设施公募REITs在产业园区领域的应用研究

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财务与会计 2024年第6期 33-38页

作者：朱保成北京电子控股有限责任公司

2021年6月21日,我国首批九只基础设施公募REITs产品在上海、深圳两地证券交易所成功发行上市,涉及生态环保、仓储物流、产业园区、交通基础设施等四大领域。本文聚焦其中的华安张江REITs、博时蛇口REITs、东吴苏园REITs三只产业园区类... 详细信息

2021年6月21日,我国首批九只基础设施公募REITs产品在上海、深圳两地证券交易所成功发行上市,涉及生态环保、仓储物流、产业园区、交通基础设施等四大领域。本文聚焦其中的华安张江REITs、博时蛇口REITs、东吴苏园REITs三只产业园区类基础设施公募REITs试点产品进行系统的案例分析和应用研究,结合REITs产品特性和底层资产选择、交易结构安排等关键环节,重点探讨公募REITs潜在的估值定价公允性、双层委托代理合理性、市场价值波动性等方面的问题,并尝试有针对性地提出解决思路,期望能为我国公募REITs的产品构造和市场完善提供启示,进而助力我国公募REITs的健康可持续发展。

关键词：公募REITs 产业园区应用研究

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战略管控型企业集团财务信息化规划思路探讨

财务与会计 2024年第13期 79-80页

作者：杨惠平北京电子控股有限责任公司

财务信息化规划是财务信息化方案的核心,也是企业集团推进财务信息化工作的纲领。在创建世界一流财务管理体系背景下,战略管控型企业集团财务信息化规划应准确聚焦自身管控困境,积极回应企业集团财务信息化建设需求,针对性地作出安排,... 详细信息

财务信息化规划是财务信息化方案的核心,也是企业集团推进财务信息化工作的纲领。在创建世界一流财务管理体系背景下,战略管控型企业集团财务信息化规划应准确聚焦自身管控困境,积极回应企业集团财务信息化建设需求,针对性地作出安排,助推企业集团管控能力提升。企业集团财务信息化整体布局以创建世界一流财务管理体系为核心,沿着业财融合和数据赋能两条主线,围绕支撑战略、支持决策和服务业务等六大功能构建,建设财务一体化信息管理平台以及IT(信息技术)底座、DT(数字技术)底座两个底座。此外,组织保障、管理保障、人才保障和技术保障在推进企业集团信息化过程中也非常重要,需要给予必要的关注。

关键词：财务管理体系集团管控业财融合财务信息化财务一体化信息管理平台能力提升人才保障

C公司以财务数字化转型推动业财精益管控的实践

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财务与会计 2024年第16期 20-23页

作者：海洋北京电子控股有限责任公司

财务管理是企业管理的核心,财务数据是企业经营的中枢神经,关于财务数字化转型正在进行各种探索和尝试。C公司通过建立新型财务组织架构、构建业财融合的分析体系、建设多维精益管理平台等推动业财精益管控,实现财务信息向企业经营管理... 详细信息

财务管理是企业管理的核心,财务数据是企业经营的中枢神经,关于财务数字化转型正在进行各种探索和尝试。C公司通过建立新型财务组织架构、构建业财融合的分析体系、建设多维精益管理平台等推动业财精益管控,实现财务信息向企业经营管理的深度赋能。建议企业在财务数字化转型中做好统筹谋划和设计,重视信息技术人才的作用,把握好信息平台建设的节奏,稳步推进,不断优化。

关键词：数字化转型新型财务架构业财融合多维精益

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一种50 V PLDMOS器件设计

微电子学 2024年

作者：李仁雄丁琦霍秋月王怀山黄俊王雨何坤芹彭攀宁宁彭路露联合微电子中心有限责任公司

采用降低表面电场（RESURF）结构设计了一种50 V PLDMOS器件，通过TCAD仿真得到合适的器件结构尺寸及离子注入条件，并基于CUMEC 180 nm BCD工艺平台完成器件流片验证，测试结果与TCAD仿真值匹配，最高源漏击穿电压达到61.2 V。该器件... 详细信息

采用降低表面电场（RESURF）结构设计了一种50 V PLDMOS器件，通过TCAD仿真得到合适的器件结构尺寸及离子注入条件，并基于CUMEC 180 nm BCD工艺平台完成器件流片验证，测试结果与TCAD仿真值匹配，最高源漏击穿电压达到61.2 V。该器件经过大量流片测试验证显示源漏击穿电压BVds通过率偏低，切片分析发现漏端接触孔工艺窗口较小导致了设计的PLDMOS器件源漏击穿电压不稳定，通过改进器件漏端接触孔设计，设计的50 V PLDMOS器件源漏击穿电压通过率提升至100%。

关键词： RESURF结构 TCAD仿真源漏击穿电压接触孔工艺窗口

3D NAND闪存中TiN与氧化表面F吸附作用的第一性原理研究

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物理学报 2024年第12期73卷 385-392页

作者：方语萱杨益夏志良霍宗亮中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院大学北京101408 长江存储科技有限责任公司武汉430071 长江先进存储产业创新中心有限责任公司武汉430014

随着3D NAND技术的发展,存储阵列工艺的堆叠层数越来越高,后栅工艺中金属钨(W)栅字线(WL)层填充的工艺也面临越来越严峻的挑战.钨栅沉积工艺中的主要挑战在于氟攻击问题,钨栅填充时产生的空洞导致了含氟(F)副产物的积聚,并在后续高温制... 详细信息

随着3D NAND技术的发展,存储阵列工艺的堆叠层数越来越高,后栅工艺中金属钨(W)栅字线(WL)层填充的工艺也面临越来越严峻的挑战.钨栅沉积工艺中的主要挑战在于氟攻击问题,钨栅填充时产生的空洞导致了含氟(F)副产物的积聚,并在后续高温制程的激发下,扩散侵蚀其周边氧化物层,致使字线漏电,严重影响器件的良率及可靠性.为改善氟攻击问题,通常在钨栅沉积之前再沉积一层薄的氮化钛作为阻挡层.然而在对栅极叠层组分分析中发现,F元素聚集在TiN薄膜表面,并且难以通过退火排出.本文采用第一性原理计算,研究了TiN薄膜表面吸附含F物种的情况,提出TiN的表面氧化能加剧对含F物种的吸附作用,仿真结果指导了栅极工艺过程的优化方向.基于第一性原理计算结果,提出氨气吹扫表面处理方法,有效改善了3D NAND中的氟攻击问题,将字线漏电率降低25%,晶圆翘曲度降低43%.

关键词： 3D NAND闪存氟攻击问题第一性原理

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异构能源系统模块化建模及控制策略研究

太阳能学报 2024年第6期45卷 161-170页

作者：胡帆董文杰周小光吴任博毕燕雷广东电网有限责任公司广州供电局广州510620 东方电子股份有限公司烟台264000

基于模块化思想提出一种新型异构能源系统建模方法,并设计了相应控制策略。其中,综合考虑光伏发电、热电联产、储能技术,以混合逻辑动态系统表示方法建立异构能源系统模型;针对投资、运行和维护成本优化,构建模型预测控制策略。该文所... 详细信息

基于模块化思想提出一种新型异构能源系统建模方法,并设计了相应控制策略。其中,综合考虑光伏发电、热电联产、储能技术,以混合逻辑动态系统表示方法建立异构能源系统模型;针对投资、运行和维护成本优化,构建模型预测控制策略。该文所提策略中考虑了异构能源系统与上游能源系统之间的能源交易、系统非线性或混合系统行为。通过将所提策略与传统控制策略进行比较,分析不同用户行为、不断变化的气候条件和预测误差对节能潜力的影响。算例分析结果表明:所提方法可有效利用可变的清洁能源和储能技术来优化异构能源系统的运营,每年可节省3%~6%的成本。

关键词：可再生能源优化调度电池储能异构能源系统成本优化