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机构
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作者
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"机构=天津电子仪表质量中心试验所"
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二乙烯三胺对硅片化学机械抛光速率的影响
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润滑与密封
2025年 第1期50卷 138-143页
作者:
杨啸
王辰伟
王雪洁
王海英
张新颖
杨云点
盛媛慧
河北工业大学
电子
信息工程学院
天津300130
天津
市
电子
材料与器件重点实验室
天津300130
北方集成电路技术创新
中心
(北京)有限公司
北京100176
为提高硅衬底化学机械抛光(CMP)的去除速率,在硅衬底抛光液中添加哌嗪(PZ)、二乙烯三胺(DETA)、三乙烯四胺(TETA)、乙醇胺(MEA)4种胺类化合物,对比其对硅片抛光速率促进效果。结果表明,4种胺类化合物对硅片抛光速率的促进作用由高到低...
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为提高硅衬底化学机械抛光(CMP)的去除速率,在硅衬底抛光液中添加哌嗪(PZ)、二乙烯三胺(DETA)、三乙烯四胺(TETA)、乙醇胺(MEA)4种胺类化合物,对比其对硅片抛光速率促进效果。结果表明,4种胺类化合物对硅片抛光速率的促进作用由高到低依次为DETA、TETA、MEA、PZ;当抛光液pH值为10.5,DETA质量分数为0.25%时,硅片的抛光速率高达1 036 nm/min。为揭示DETA促进硅片CMP速率的机制,对添加DETA的抛光液进行接触角、Zeta电位测试及光电子能谱(XPS)分析。结果发现,DETA一方面促进了硅片表面水解形成Si-OH基团,另一方面降低了抛光液中硅溶胶磨料与硅片表面的静电斥力,增强了机械摩擦作用;DETA氨基上的氮原子与硅片表面的硅原子形成N-Si键,N-Si键的形成导致硅片表面Si-Si键极化,极化的Si-Si键更容易被抛光液中的溶解氧氧化,最后氧化物在摩擦力的作用下被脱离硅片表面。
关键词:
化学机械抛光
抛光液
二乙烯三胺
硅衬底
抛光速率
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PC系列微型计算机的内存资源
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软件
1995年 第5期16卷 60-63页
作者:
李惠珍
曾昭荣
田松兰
南开大学
天津电子仪表质量中心试验所
目前关于计算机的内存各种书籍文献的论述其说不一,下面我们就多年教学和科研实践中的经验对一些易于混淆的概念做一解释,望能起到抛砖引玉的作用. 由于PC系列微型计算机的物理内存与其CPU的地址线有关,下面首先介绍其地址线. 一、PC系...
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目前关于计算机的内存各种书籍文献的论述其说不一,下面我们就多年教学和科研实践中的经验对一些易于混淆的概念做一解释,望能起到抛砖引玉的作用. 由于PC系列微型计算机的物理内存与其CPU的地址线有关,下面首先介绍其地址线. 一、PC系列微型计算机中的CPU内部地址引线数目 PC系列微型计算机中的CPU内部地址引线数目限制了物理地址的最大数目.初期用的CPU为8088或8086,这类CPU内部的地址引线有20条,A19至AA6,固物理地址空间的最大范围为220=1024KB=1MB,相当于十六进制的地址从0H~FFFFFH范围内。
关键词:
内存资源
内存储器
微机
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国产掺镱锥形光纤实现百瓦毫焦级窄线宽纳秒脉冲输出
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强激光与粒子束
2025年 第1期37卷 1-3页
作者:
黄智蒙
王苏钰
张帆
耿鹏程
张慧嘉
潘蓉
曾安
夏汉定
姚泽锋
蒋学君
张锐
冯斌
衣永青
李平
中国工程物理研究院激光聚变研究
中心
四川绵阳621900
中国
电子
科技集团公司第四十六研究
所
天津300220
绵阳科技城光子技术研究院
四川绵阳621000
电子
科技大学信息与通信工程学院
成都611731
窄线宽大能量纳秒脉冲单模光纤放大器具有高效率、高光束
质量
和小体积等优点,在激光探测、工业加工等应用领域中具有明显的竞争优势。近期中国工程物理研究院激光聚变研究
中心
基于国产锥形掺镱光纤和主振荡功率放大器(MOPA),实现了平均...
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窄线宽大能量纳秒脉冲单模光纤放大器具有高效率、高光束质量和小体积等优点,在激光探测、工业加工等应用领域中具有明显的竞争优势。近期中国工程物理研究院激光聚变研究中心基于国产锥形掺镱光纤和主振荡功率放大器(MOPA),实现了平均功率100 W、脉冲宽度100 ns、单脉冲能量1 mJ、峰值功率10 kW的窄线宽(Δλ_(3dB)=0.49 nm)、线偏振(PER:12.3 dB)、近单模(M^(2)=1.49)全光纤结构1064 nm激光输出。通过优化增益光纤和放大器设计,可进一步提升放大器的输出能量、功率和光束质量。
关键词:
锥形掺镱光纤
窄线宽
光纤放大器
纳秒脉冲
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利用X射线荧光光谱研究钕铁硼磁钢晶界扩散后铽的分布
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中国稀土学报
2025年 第1期43卷 183-191页
作者:
高伟波
谢志斌
岑志波
张俊良
张毅
宁波市计量测试研究院(宁波新材料检验检测
中心
)
浙江宁波315048
宁波大学信息科学与工程学院
浙江宁波315211
南开大学
电子
信息与光学工程学院
天津300350
钕铁硼晶界扩散后,Nd_(2)Fe_(14)B晶粒被(Nd, Tb)_(2)Fe_(14)B外壳包覆,形成了核-壳结构。扫描电镜中的背散射(BSE)与X射线荧光能谱(EDX)对钕铁硼磁钢晶界扩散后的样品断面(沿扩散方向)的微观结构与Fe, Nd, Tb元素的分布检测结果表明,...
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钕铁硼晶界扩散后,Nd_(2)Fe_(14)B晶粒被(Nd, Tb)_(2)Fe_(14)B外壳包覆,形成了核-壳结构。扫描电镜中的背散射(BSE)与X射线荧光能谱(EDX)对钕铁硼磁钢晶界扩散后的样品断面(沿扩散方向)的微观结构与Fe, Nd, Tb元素的分布检测结果表明,随着扩散深度的增加,核-壳结构以及Tb元素含量均逐渐减少。利用X射线荧光(XRF),结合金相磨抛技术,沿扩散方向逐层测试了钕铁硼磁钢中Tb元素的“面浓度”。结果表明,Tb元素的扩散满足“菲克第二定律”。通过对浓度随扩散深度变化曲线的拟合,得到两者之间的定量关系式。为了得到整个磁钢中Tb元素的“体浓度”,对此关系式进行积分,积分结果为0.41%。此结果与扩散处理前后磁钢的质量增重比相一致(0.4%)。研究结果表明,X射线荧光分析不仅可以定性分析钕铁硼微区中Tb元素含量与分布,也可以定量分析整个磁钢在宏观尺度下的Tb元素含量与分布。
关键词:
钕铁硼磁钢
晶界扩散
X射线荧光分析
元素分布
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挖泥船耙头深度显示仪校准系统
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计量技术
1993年 第12期 13-15页
作者:
张景文
天津电子仪表质量中心试验所
本文介绍用七式联解法获取挖泥船耙头深度显示仪校准系统的标准水深,该系统可校准显示水深范围为0~15m,误差≤±200mm的耙头深度显示仪。
本文介绍用七式联解法获取挖泥船耙头深度显示仪校准系统的标准水深,该系统可校准显示水深范围为0~15m,误差≤±200mm的耙头深度显示仪。
关键词:
显示仪
挖泥船
耙头
深度
校准
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对步进应力加速寿命
试验
的实施和讨论
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应用概率统计
1988年 第3期 327-331页
作者:
郭峻
天津电子仪表质量中心试验所
本文根据变容二极管的步进应力加速寿命
试验
,具体地讲述了加速应力的选取,
试验
数据有效性的检验以及
试验
数据的处理等一系列指数分布下步进应力加速寿命
试验
步骤.并讨论了步进应力加速寿命
试验
方法的实用性。一、
试验
目的
天津
某厂近年...
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本文根据变容二极管的步进应力加速寿命试验,具体地讲述了加速应力的选取,试验数据有效性的检验以及试验数据的处理等一系列指数分布下步进应力加速寿命试验步骤.并讨论了步进应力加速寿命试验方法的实用性。一、试验目的天津某厂近年来从国外引进了一条变容二极管生产线,投产以来产品合格率一直较高.为进一步了解产品的可靠性水平,利用现有试验条件,采用步进应力加速寿命试验方法对产品可靠性进行定量估计。
关键词:
步进应力加速寿命
试验
变容二极管
变容管
力学性能
试验
应力
试验
产品可靠性
步加
试验
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信息产业的现状与展望
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电子
与自动化
仪表
信息
1996年 第5期 27-28页
作者:
李峙
天津电子仪表质量中心试验所
本文简要阐述了信息产业及信息高速公路对现代文明,进步及经济发展起的巨大作用。
本文简要阐述了信息产业及信息高速公路对现代文明,进步及经济发展起的巨大作用。
关键词:
信息产业
信息高速公路
计算机
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用贝塞尔函数零值法与定K'_f值法校准抖动测量仪
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计量科学与技术
1987年 第3期 6-8页
作者:
张景文
天津电子仪表质量中心试验所
抖动测量仪是对录音机、电唱机、电影机、录像机等设备进行抖动测量的专用
仪表
。为确保收、录、放机的
质量
,抖动校准是一个重要的技术指标。通过对 DD3型抖动测量仪与 BE3型频偏测量仪的比较可看出,DD3只比 BE3少一级射频变频器部分,故...
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抖动测量仪是对录音机、电唱机、电影机、录像机等设备进行抖动测量的专用仪表。为确保收、录、放机的质量,抖动校准是一个重要的技术指标。通过对 DD3型抖动测量仪与 BE3型频偏测量仪的比较可看出,DD3只比 BE3少一级射频变频器部分,故它又是一个无变频级输入的低载频频偏测量仪。其抖动值 D 是频偏△f 值与一个预约定值3150Hz
关键词:
频响误差
抖动测量
示值
寄生调频
抖动量
零值法
调制度测量仪
频偏仪
频率偏差测量
频偏测量
测量误差
数学分析
贝塞尔函数
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0.003%~0.1%低失真系数校准装置
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计量技术
1991年 第2期 27-29页
作者:
张景文
天津电子仪表质量中心试验所
本文介绍了用现成
仪表
(或通过局部改进)组成的低失真系数校准装置,该装置可用于校准20~20kHz范围测0.003%~0.1%低失真系数的测量
仪表
。
本文介绍了用现成仪表(或通过局部改进)组成的低失真系数校准装置,该装置可用于校准20~20kHz范围测0.003%~0.1%低失真系数的测量仪表。
关键词:
信号
失真系数
校准
装置
频率
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显示器传导骚扰的抑制方法初探
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安全与电磁兼容
1999年 第1期 30-32页
作者:
李宁
天津
市
电子
仪表
质量
中心
试验
所
一、前言电磁干扰的传播方式主要有两种形式,一种是通过导线以电流或电压的形式,另一种是通过空间以辐射场的形式进行传播。电磁干扰的传播不仅使敏感的
电子
设备不能正常工作,造成事故和损失,而且给人类的安全和健康构成一定的危害...
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一、前言电磁干扰的传播方式主要有两种形式,一种是通过导线以电流或电压的形式,另一种是通过空间以辐射场的形式进行传播。电磁干扰的传播不仅使敏感的电子设备不能正常工作,造成事故和损失,而且给人类的安全和健康构成一定的危害。这些已经引起有关主管部门的高度重...
关键词:
显示器
电磁干扰
抑制方法
传导骚扰
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