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物理实验 2022年第3期42卷 1-9页

作者：刘永新张莹莹大连理工大学物理学院基础物理国家级实验教学示范中心辽宁大连116024

在半导体芯片制造工艺中,约1/3道工序采用等离子体技术,例如材料刻蚀和薄膜沉积等.因此对射频等离子体的基础物理过程的理论和模拟及实验研究具有重要意义.在理解等离子体的复杂物理过程、验证理论模型与数值模拟结果的正确性方面,实验... 详细信息

在半导体芯片制造工艺中,约1/3道工序采用等离子体技术,例如材料刻蚀和薄膜沉积等.因此对射频等离子体的基础物理过程的理论和模拟及实验研究具有重要意义.在理解等离子体的复杂物理过程、验证理论模型与数值模拟结果的正确性方面,实验诊断具有重要作用.总结了射频等离子体中常用的探针诊断方法及其最新研究进展,包括朗缪尔探针、双探针、微波共振探针以及磁探针,重点介绍了这些探针的结构、特点及典型的测量结果.

关键词：射频等离子体探针诊断低气压

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双工作电极下氧化铝薄膜的制备及光学特性

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河北师范大学学报（自然科学版） 2021年第4期45卷 344-349页

作者：顾建军王赫铭王晓旭杨淑敏岂云开河北民族师范学院物理与电子工程学院河北承德067000

利用自制电解槽,在双工作电极下,通过一次阳极氧化工艺成功制备了2片微观结构高度对称的氧化铝薄膜.实验发现,2片氧化铝薄膜呈现相同结构色,随着氧化电压的逐渐增大,薄膜结构色由单一色向虹彩结构色转变,且颜色变化规律相同,控制氧化电... 详细信息

利用自制电解槽,在双工作电极下,通过一次阳极氧化工艺成功制备了2片微观结构高度对称的氧化铝薄膜.实验发现,2片氧化铝薄膜呈现相同结构色,随着氧化电压的逐渐增大,薄膜结构色由单一色向虹彩结构色转变,且颜色变化规律相同,控制氧化电压的大小可以实现对虹彩结构色疏密程度的精细调控.根据微观结构表征结果,结合理论计算分析了氧化铝薄膜虹彩结构色产生的机理.这种具有高度对称结构且呈现虹彩结构色的氧化铝薄膜,对于开发功能对称型新型纳米器件具有重要意义.

关键词：阳极氧化铝多孔材料虹彩结构色双电极

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超薄有序自修复彩色薄膜制备及研究进展

超薄有序自修复彩色薄膜制备及研究进展

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中国化学会第30届学术年会-第二十四分会：超分子组装与软物质材料

作者：葛丽芹朱彦熹任娇雨东南大学生物科学与医学工程学院生物电子学国家重点实验室

和生物体的损伤后自愈合过程原理相似,自修复材料修复受损部位也要涉及到能量的供给和物质供给。因此,一般认为材料自修复受损部位的过程可以分为两个阶段:通过一定的刺激使得受损部位及周边的材料发生一定的物理或者化学变化,从而是材... 详细信息

和生物体的损伤后自愈合过程原理相似,自修复材料修复受损部位也要涉及到能量的供给和物质供给。因此,一般认为材料自修复受损部位的过程可以分为两个阶段:通过一定的刺激使得受损部位及周边的材料发生一定的物理或者化学变化,从而是材料具有相应的流动能力;这些具有一定流动性的物质转移到受损部位,在受损部位发生交互作用或者化学反应,修复损伤,完成自修复过程。修复过程中的能量供给可由材料内部化学作用或者外界刺激。现阶段的关于可调制的彩色涂层的报道很多,但是这些材料并不能做到自我修复。本实验基于壳聚糖(CHI)/聚丙烯酸(PAA)自修复材料体系,将二氧化钛水凝胶溶入CHI溶液中,通过旋涂的方法制备出超薄,颜色可调且具有自修功能的CHI-TiO 2/PAA复合膜材料,并利用光纤光谱仪测试其光学性能,利用金相显微镜,电化学工作站表征其自修复性能。实验结果表明:CHI-TiO 2/PAA复合膜材料不仅具有优良的自修复性能,而且颜色可调,具有良好的刺激-响应性能。

关键词：超薄膜彩色自修复,层层组装

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ZnCoMnO薄膜的制备、结构和磁性研究

ZnCoMnO薄膜的制备、结构和磁性研究

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第五届中国功能材料及其应用学术会议

作者：刘艳美宋学萍韩家骅安徽大学物理与材料科学学院

在200～500℃的村底温度范围,用电子束蒸镀法制备了具有室温铁磁性的ZnCoMnO薄膜。400℃制备的薄膜饱和磁化强度和剩磁最大。X射线分析表明,除200℃制备的薄膜结晶和取向较差外,其它温度的薄膜都沿C轴高度取向,(002)面间距和衍射峰半高... 详细信息

在200～500℃的村底温度范围,用电子束蒸镀法制备了具有室温铁磁性的ZnCoMnO薄膜。400℃制备的薄膜饱和磁化强度和剩磁最大。X射线分析表明,除200℃制备的薄膜结晶和取向较差外,其它温度的薄膜都沿C轴高度取向,(002)面间距和衍射峰半高宽(FWHM)接近相等。讨论了衬底温度对薄膜晶体结构和磁性的影响。

关键词： ZnCoMnO薄膜室温磁性衬底温度电子束蒸镀

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低温湿化学法制备ZnO纳米棒阵列膜

低温湿化学法制备ZnO纳米棒阵列膜

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第五届全国环境催化与环境材料学术会议

作者：王玉新李新勇大连理工大学环境与生命学院工业生态与环境工程教育部重点实验室大连理工大学环境与生命学院工业生态与环境工程教育部重点实验室

采用一种简单的低温湿化学方法,即将预处理好的锌片直接放入5%甲酰胺水溶液中,在65℃烘箱中加热24h,则在锌片基底上成功制备出大面积具有良好取向的ZnO纳米棒阵列。用XRD、SEM、PL等测试手段对其进行了表征。研究结果表明,ZnO纳米棒是... 详细信息

采用一种简单的低温湿化学方法,即将预处理好的锌片直接放入5%甲酰胺水溶液中,在65℃烘箱中加热24h,则在锌片基底上成功制备出大面积具有良好取向的ZnO纳米棒阵列。用XRD、SEM、PL等测试手段对其进行了表征。研究结果表明,ZnO纳米棒是六方钎锌矿晶,与基底垂直,具有沿（002）晶面择优生长的特征。另外,该阵列薄膜在379nm附近发出强的荧光,禁带宽度为Eg=3.28eV。

关键词： ZnO纳米棒锌片

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纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术研究

纳米TiO2薄膜的低温等离子体制备技术研究

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第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会

作者：陈兆权刘明海但敏唐亮饶波胡鹏胡希伟华中科技大学电气与电子工程学院核聚变与电磁新技术教育部重点实验室

纵观国内外近几年的研究,TiO作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转换器、... 详细信息

纵观国内外近几年的研究,TiO作为一种重要的功能薄膜材料,具有化学活性高、分散性好、可见光透过性好及吸收紫外线等优良的理化性能。无论是基础理论研究,还是实际应用研究都取得了显著的成果,部分成果已经在太阳能电池、光电转换器、污水处理、空气净化、保洁除菌等领域有着广泛的应用。

关键词：等离子体增强化学气相沉积(PECVD) TiO2薄膜薄膜表征

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(氧)氮化物半导体光电催化分解水制氢

(氧)氮化物半导体光电催化分解水制氢

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2019第四届中国能源材料化学研讨会

作者：李朝升南京大学现代工程与应用科学学院固体微结构物理国家重点实验室

氧)氮化物半导体往往比氧化物半导体的带隙小,因而在光电催化分解水时具有更高的太阳能-氢能转化的理论效率。本论文主要总结了本课题组近几年在(氧)氮化物半导体光电催化分解水制氢方面的研究工作。1.优化TaN光电催化反应动力学显著提...

氧)氮化物半导体往往比氧化物半导体的带隙小,因而在光电催化分解水时具有更高的太阳能-氢能转化的理论效率。本论文主要总结了本课题组近几年在(氧)氮化物半导体光电催化分解水制氢方面的研究工作。1.优化TaN光电催化反应动力学显著提升了分解水性能。利用理论计算揭示了TaN光电极体相中的氧杂质会使得TaN导带底位置正移,提高了水氧化(OER)的开启电势;发现TaN/HO界面形成反向偶极矩,不利于光生空穴向TaN光阳极表面迁移,提高了水氧化开启电势,降低了太阳能-氢能转化效率。发明了一种合成TaN的新工艺,可以方便快捷制备透明TaN透明薄膜。2.通过构造电子传输通道,增加了电子-空穴分离效率,显著提升La TiON光电催化分解水的性能;在模拟太阳光辐照下,La TiON分解水的饱和光电流可达6.5mA/cm。3.研制了La TaON和SrTaON新型宽光谱响应的氧氮化物半导体光电极材料;优化光电极颗粒界面和光电极/衬底界面提升了其光电催化分解水性能。4.以TaON光阳极为模型,揭示了非化学剂量比缺陷对光电催化分解水的影响规律。

关键词：

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电化学沉积类金刚石薄膜阳极材料影响研究

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材料导报（纳米与新材料专辑） 2014年第1期28卷 236-239页

作者：何洋洋张贵锋侯晓多孙兆明保安佳大连民族学院物理与材料工程学院大连116600 大连理工大学材料科学与工程学院大连116024

分别由石墨、铂、铜和不锈钢制成阳极，在较低温度条件（60－70℃）下电解丙酮／去离子水混合溶液沉积类金刚石薄膜。利用台阶仪、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDX）和拉曼光谱仪（Raman）对薄膜进行表征。结果表明：由石墨、铂作... 详细信息

分别由石墨、铂、铜和不锈钢制成阳极，在较低温度条件（60－70℃）下电解丙酮／去离子水混合溶液沉积类金刚石薄膜。利用台阶仪、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDX）和拉曼光谱仪（Raman）对薄膜进行表征。结果表明：由石墨、铂作阳极制备了典型的非掺杂DLC薄膜，并且石墨阳极获得的DLC薄膜生长速率高、表面平整光滑；由铜阳极制备了铜掺杂的DLC薄膜；而在相同条件下，使用不锈钢作阳极没有获得碳薄膜。因此，阳极材料对液相电化学沉积DLC薄膜的成膜速率、表面形貌、成分和结构均有显著影响。

关键词：类金刚石薄膜电化学沉积阳极材料拉曼光谱

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石墨烯材料:制备决定未来

石墨烯材料:制备决定未来

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中国化学会第30届学术年会

作者：刘忠范北京大学化学与分子工程学院物理化学研究所

＜正＞石墨烯是碳材料家族的又一个传奇,已经演绎出长达十年的研究热潮,目前仍无降温的迹象。理想的石墨烯材料拥有诸多优良的电学、力学和光学特性,可谓是超级材料。但是,实验室获得的石墨烯材料远非如此,无论是粉体石墨烯还是薄膜石墨...

＜正＞石墨烯是碳材料家族的又一个传奇,已经演绎出长达十年的研究热潮,目前仍无降温的迹象。理想的石墨烯材料拥有诸多优良的电学、力学和光学特性,可谓是超级材料。但是,实验室获得的石墨烯材料远非如此,无论是粉体石墨烯还是薄膜石墨烯,有很多缺陷、晶界甚至杂原子。因此,高性能石墨烯的制备技术极为重要,决定着石墨烯材料的未来。我们从2008年起进入石墨烯领域,重点

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结构拓扑优化ICM显式化与抛物型凝聚函数对于应力约束的集成化

结构拓扑优化ICM显式化与抛物型凝聚函数对于应力约束的集成化

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第19届全国结构工程学术会议

作者：隋允康铁军北京工业大学机电学院大连民族学院理学院

对于连续体结构拓扑优化问题,本文指出:其最大求解困难除因0-1离散变量的本质造成,更因为目标函数、约束条件在理论上无法建立同0-1拓扑变量的直接联系。ICM（独立-连续-映射）方法解决了这一困难:用阶跃函数构筑了0-1变量与单元具体物... 详细信息

对于连续体结构拓扑优化问题,本文指出:其最大求解困难除因0-1离散变量的本质造成,更因为目标函数、约束条件在理论上无法建立同0-1拓扑变量的直接联系。ICM（独立-连续-映射）方法解决了这一困难:用阶跃函数构筑了0-1变量与单元具体物理量或几何量联系的桥梁;将其逆函数（我们称之为跨栏函数）代入具体的优化表达式中,就可以显化拓扑优化模型与0-1变量的关系;其中跨栏函数用其逼近函数——过滤函数代替之,于是,不可微的结构拓扑优化规划就被可微化;进而可调常用的光滑算法进行有效的求解了。在磨光函数和过滤函数分别逼近阶跃函数和跨栏函数的同时,传统的0-1拓扑离散变量扩展为[0,1]区间上的连续变量了。由于许用应力、杨氏模量、密度等材料性质被过滤函数识别,因而产生了相应的单元全程性质的概念,同理定义了单元全程几何参数的概念。基于ICM方法,利用单元全程许用应力,可以便捷地推导出结构拓扑优化应力奇异问题的ε-松弛解法的公式。提出了抛物型凝聚函数,证明了相关的定理,并且用于应力凝聚化处理的拓扑优化问题求解。另外,数值算例表明本文方法是有效的。

关键词：连续体结构拓扑优化阶跃函数及跨栏函数 ICM方法抛物型凝聚函数应力约束的集成化

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