检索结果-南通市图书馆

基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析

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传感器与微系统 2024年第10期43卷 15-18页

作者：刘宝伟王振廷宁金明陈宝成王元委毕宏宇中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

某型号压阻式压力传感器在实际工程中出现低气压段输出偏高现象,结合该传感器的结构组成,建立导致该现象的故障树,依据故障树逐一进行排除,采用外观检查、绝缘电阻测试、替换可能的故障部件等方式,确定故障出现在压力芯体中;进一步对芯... 详细信息

某型号压阻式压力传感器在实际工程中出现低气压段输出偏高现象,结合该传感器的结构组成,建立导致该现象的故障树,依据故障树逐一进行排除,采用外观检查、绝缘电阻测试、替换可能的故障部件等方式,确定故障出现在压力芯体中;进一步对芯体进行分析,通过显微镜、手捻法等方式方法,确定硅油中存在气泡导致传感器低气压段输出偏高,并对气泡中压力与输入压力之间的3类关系进行分析,得到输入压力小于气泡内部压力时,低气压段输出偏高故障现象的失效机理,并通过在空气环境下封装压力芯体,复现了故障现象,并建议增加对压力芯体进行低温低气压筛选试验。

关键词：压阻效应压力传感器低气压输出压力芯体气泡

铂膜电阻温度传感器耐高温结构设计与性能验证

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传感器与微系统 2024年第1期43卷 99-102,110页

作者：杨永超刘成利王大兴傅巍高云鹏皮倩倩李涛中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

针对铂(Pt)膜电阻温度传感器难以实现850℃高温环境长期稳定测量问题。采用磁控溅射法在996氧化铝(Al_(2)O_(3))陶瓷衬底沉积Pt膜温度敏感层,通过对Pt膜进行热处理、耐高温表面防护结构提升其耐高温性能,采用阻值修调技术控制传感器阻... 详细信息

针对铂(Pt)膜电阻温度传感器难以实现850℃高温环境长期稳定测量问题。采用磁控溅射法在996氧化铝(Al_(2)O_(3))陶瓷衬底沉积Pt膜温度敏感层,通过对Pt膜进行热处理、耐高温表面防护结构提升其耐高温性能,采用阻值修调技术控制传感器阻值精度,结合微机电系统(MEMS)与厚膜工艺技术制备Pt膜电阻温度传感器。结果表明:Pt膜电阻温度传感器电阻温度系数(TCR)为(3851±3)×10^(-6)℃;0℃电阻值控制在199.92~200.06Ω范围内;传感器从室温阶跃至850℃热响应时间(τ_(90))为15.1 s;传感器经100次室温至850℃温度冲击后输出稳定;经850℃环境1000 h寿命考核,传感器0℃阻值漂移量小于0.5%。制备的Pt膜电阻温度传感器可长期保持850℃高温环境稳定测量,该温度传感器广泛应用于汽车尾气排放、发动机健康监测等高温测量领域。

关键词：铂膜温度传感器电阻温度系数高温性能

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MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制

传感器与微系统 2024年第5期43卷 58-61页

作者：宫占江孙立凯宋尔冬邵志强陈亚洲中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

本文提出了一种基于磁电耦合原理和MEMS加工工艺的矢量水声传感器。该矢量水声传感器的MEMS敏感检测单元包括磁电耦合材料、八悬臂梁-中心质量块MEMS元件和永磁铁。采用电荷放大信号处理电路处理敏感检测单元产生的信号。通过对磁电耦... 详细信息

本文提出了一种基于磁电耦合原理和MEMS加工工艺的矢量水声传感器。该矢量水声传感器的MEMS敏感检测单元包括磁电耦合材料、八悬臂梁-中心质量块MEMS元件和永磁铁。采用电荷放大信号处理电路处理敏感检测单元产生的信号。通过对磁电耦合材料、MEMS元件和信号处理电路进行设计,使矢量水声传感器在工作时具有很高的灵敏度。通过声学灌封完成矢量水声传感器的制备,并对矢量水声传感器的性能进行了测试,测试结果表明:该矢量水声传感器的接收灵敏度在1 000 Hz时达到-180 dB(0 dB re 1 V/μPa)。

关键词：磁电耦合微机电系统灵敏度矢量水声传感器

类金刚石碳膜导电材料设计与制备工艺技术研究

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传感器与微系统 2024年第8期43卷 60-63页

作者：李涛胡宇涵徐冬尹思淇杨思远中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计... 详细信息

当传感器工作时,电刷与电阻体始终处于滑动接触和摩擦的状态,长期工作会导致涂覆的电阻薄膜磨损严重,直接影响传感器的使用寿命。为了提高传感器的可靠性,增强传感器电阻敏感元件的耐磨性,本文提出了一种类金刚石碳(DLC)膜导电材料设计与制备工艺技术。在氧化铝基片陶瓷上,采用双靶共溅射的工艺,通过精确地控制溅射条件,获得均匀且致密的类金刚石膜,在满足高精度与小型化要求的同时,增强异质材料长期工作的稳定性。

关键词：传感器工艺双靶共溅射类金刚石碳膜氧化铝陶瓷

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基于金属屑传感器密封性改进设计

传感器与微系统 2024年第3期43卷 112-114页

作者：智文虎刘柏青简荣坤夏云阳秦仕鹏赵鹏程中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

金属屑传感器已成为机械设备健康状态监测和故障诊断的重要手段。结构式金属屑传感器具有结构简单、吸附磁性粒子强等优点。然而,受到环境压力和温度变化等因素影响,导致传感器连接器输出端容易出现泄漏现象。本文对传感器这类故障的原... 详细信息

金属屑传感器已成为机械设备健康状态监测和故障诊断的重要手段。结构式金属屑传感器具有结构简单、吸附磁性粒子强等优点。然而,受到环境压力和温度变化等因素影响,导致传感器连接器输出端容易出现泄漏现象。本文对传感器这类故障的原因进行了分析,并通过采用玻璃烧结的方法实现了外壳和插针材料的连接,对传感器进行了改进设计。经验证,方案可行,产品性能可靠,能够实现金属屑的监测功能。

关键词：金属屑传感器玻璃烧结密封

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基于水声传感器的高保真加密传输方法

传感器与微系统 2024年第1期43卷 153-156,161页

作者：齐娜傅巍李金平吕颖刘海龙中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

提出了一种水声传感器高保真加密传输方法。针对海洋上软件加密方式需要的处理器相对复杂且加密速度慢,满足不了信息实时性及小型化要求的实际应用的缺点,本文着重从目标信息的融合、加密、编码等方面进行研究。利用高精度水声探测组件... 详细信息

提出了一种水声传感器高保真加密传输方法。针对海洋上软件加密方式需要的处理器相对复杂且加密速度慢,满足不了信息实时性及小型化要求的实际应用的缺点,本文着重从目标信息的融合、加密、编码等方面进行研究。利用高精度水声探测组件及现场可编程门阵列(FPGA)高速数字处理器,结合公用密钥(RSA)数字加密算法实现目标信息在海上可靠、安全的无线数字传输。最后,在数据终端通过界面显示,并进行了模拟实验。测试结果表明:该方法将目标信号的正交的矢量水声和声压水声信号零时差采集和磁信号通过簇式加密的方式将信号同步无线传输给上位机,能够实现高精度、高保真目标信息还原。

关键词：水声传感器加密高保真

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传感器常用材料电子束焊接研究现状综述

传感器与微系统 2024年第8期43卷 6-10页

作者：刘佳熙智文虎井云鹏岳宏中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

1Cr18Ni9Ti不锈钢、316L不锈钢、TC4钛合金和2A12铝合金是传感器最常用的材料。电子束焊接由于焊接速度快、可焊材料多、具有保护性等特点,是传感器生产制造过程中常用的焊接方法。本文介绍了传感器常用材料的电子束焊接研究现状,对1Cr1... 详细信息

1Cr18Ni9Ti不锈钢、316L不锈钢、TC4钛合金和2A12铝合金是传感器最常用的材料。电子束焊接由于焊接速度快、可焊材料多、具有保护性等特点,是传感器生产制造过程中常用的焊接方法。本文介绍了传感器常用材料的电子束焊接研究现状,对1Cr18Ni9Ti不锈钢、316L不锈钢、TC4钛合金和2A12铝合金电子束焊接接头的显微组织、力学性能、焊缝强化方式进行了综述,并对传感器常用材料的电子束焊接前景进行了展望。

关键词：传感器电子束焊接显微组织力学性能

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液位传感器电磁兼容改进设计

传感器与微系统 2024年第2期43卷 116-119页

作者：智文虎刘柏青简荣坤夏云阳秦仕鹏李恩全中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

针对差动变压式位移传感器在电磁兼容试验中出现的跳变及无法继续使用等问题,进行针对性的电磁改进设计。从原理上分析输出跳变产生的原因并制定相应的改进措施。改进的传感器通过实验验证,证明采取的改进措施可行、有效,为提升差动变... 详细信息

针对差动变压式位移传感器在电磁兼容试验中出现的跳变及无法继续使用等问题,进行针对性的电磁改进设计。从原理上分析输出跳变产生的原因并制定相应的改进措施。改进的传感器通过实验验证,证明采取的改进措施可行、有效,为提升差动变压式位移传感器的抗电磁干扰能力提供了一种改进思路和方法。

关键词：差动变压式位移传感器电磁兼容跳变

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一种耐瞬时高温燃气冲击的压力传感器

传感器与微系统 2024年第7期43卷 85-88页

作者：孙光岩周博傅巍中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150028

针对瞬时高温燃气冲击的压力传感器在高温1000℃燃气压力冲击的环境下产生的破坏性的问题,设计了一种有效的引压方法,对引压管结构进行设计,在内部增加阻尼管,通过引入阻尼管,可以使与芯片接触的燃气温度降低至300℃以下,使传感器可靠... 详细信息

针对瞬时高温燃气冲击的压力传感器在高温1000℃燃气压力冲击的环境下产生的破坏性的问题,设计了一种有效的引压方法,对引压管结构进行设计,在内部增加阻尼管,通过引入阻尼管,可以使与芯片接触的燃气温度降低至300℃以下,使传感器可靠工作。另外,通过引压系统内部的阻尼设计,可以使传感器能够承受较大瞬时燃气压力的冲击。通过试验验证及热力学仿真分析可以得出,该传感器引压系统的结构设计,可以使传感器能够满足瞬时高温燃气压力冲击的环境要求,达到精准测量的目的。

关键词：高温燃气冲击压力传感器