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真空镀膜法制备纳米银颗粒膜局域表面等离激元共振特性的研究

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真空科学与技术学报 2017年第2期37卷 211-218页

作者：吴庆猛张康张冰褚向前李欢欢万磊方应翠合肥工业大学真空与过程装备系合肥230009

本文研究用真空蒸发和真空溅射镀膜方法制备的纳米银颗粒膜的局域表面等离激元特性,并根据不同方法制备的纳米银颗粒局域表面等离激元特性的差异,研究其增强分子对可见光的吸收,增强拉曼散射和增强光催化的作用。本研究将真空镀膜应用... 详细信息

本文研究用真空蒸发和真空溅射镀膜方法制备的纳米银颗粒膜的局域表面等离激元特性,并根据不同方法制备的纳米银颗粒局域表面等离激元特性的差异,研究其增强分子对可见光的吸收,增强拉曼散射和增强光催化的作用。本研究将真空镀膜应用到纳米技术和表面等离激元领域,拓展了真空镀膜的应用范围,同时为纳米颗粒的制备及其局域表面等离激元特性的研究提供了一种独特的方法。

关键词：真空镀膜表面等离激元表面增强拉曼散射等离激元增强光吸收等离激元增强光催化

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介质/金属/介质透明导电薄膜研究进展

真空科学与技术学报 2017年第11期37卷 1067-1074页

作者：张康褚向前刘丽华万磊何金俊李欢欢方应翠合肥工业大学真空与过程装备系合肥230009 合肥工业大学材料科学与工程学院合肥230009 合肥工业大学电气自动化学院合肥230009

介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层膜既透明又导电且具有柔性,最有可能替代ITO膜,作为透明导电电极,应用于柔性显示、太阳能电池等光电器件。本文介绍D/M/D膜系的起源,分析了透明导电机理,然后,从多层膜制备参数,... 详细信息

介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层膜既透明又导电且具有柔性,最有可能替代ITO膜,作为透明导电电极,应用于柔性显示、太阳能电池等光电器件。本文介绍D/M/D膜系的起源,分析了透明导电机理,然后,从多层膜制备参数,热处理工艺及纳米银层表面等离激元共振对多层膜光电性能的影响三个方面综述了D/M/D膜系中得到广泛研究的二氧化钛/银/二氧化钛多层膜的最新研究进展,并展望了D/M/D透明导电薄膜的研究方向。

关键词：介质/金属/介质多层膜透明导电薄膜透明氧化物光电性能

100nm周期蛾眼结构制备及其表面拉曼增强性能

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真空科学与技术学报 2016年第5期36卷 602-606页

作者：朱郑乔若魏本猛桑艾霞廖艳林葛良进王旭迪合肥工业大学真空与过程装备系合肥230009 安徽大学物理与材料科学系合肥230009

以多孔氧化铝(AAO)为模板,基于聚氨酯丙烯酸酯(PUA)在紫外曝光前后的表面能变化的特性,利用逆紫外固化纳米压印技术实现纳米蛾眼结构复制成型。分析图形复制过程中界面间的粘附功差异,根据红外光谱对C=C双键的转化速度来表征PUA的固化... 详细信息

以多孔氧化铝(AAO)为模板,基于聚氨酯丙烯酸酯(PUA)在紫外曝光前后的表面能变化的特性,利用逆紫外固化纳米压印技术实现纳米蛾眼结构复制成型。分析图形复制过程中界面间的粘附功差异,根据红外光谱对C=C双键的转化速度来表征PUA的固化程度进而优化制作工艺,在柔性聚对苯二甲酸乙二酯薄膜表面制备出周期为100 nm的PUA大面积高深宽比柱状纳米结构阵列。利用具有蛾眼纳米结构的银金属薄膜,进行表面拉曼增强特性实验,得到了葡萄糖分子的表面增强拉曼散射效应。

关键词：蛾眼结构紫外固化纳米压印表面能表面增强拉曼散射

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实验用低温恒温器及相关制冷技术研究进展

真空科学与技术学报 2023年第11期43卷 903-912页

作者：汪杰熊磊王帅郭凯刘鸿俊李顶房张维沈冰方应翠合肥工业大学真空与过程装备系合肥230009 武汉嘉仪通科技有限公司武汉430206 合肥工业大学智能制造技术研究院合肥230051

低温恒温器通过制冷技术提供稳定的低温环境,广泛应用于磁共振系统、超导、低温光谱、大型科学装置以及实验室低温测试等领域。目前获得低温的方式主要有制冷剂和低温制冷机,受限于被动式制冷机的制冷量,现有实验用低温恒温器仍以制冷... 详细信息

低温恒温器通过制冷技术提供稳定的低温环境,广泛应用于磁共振系统、超导、低温光谱、大型科学装置以及实验室低温测试等领域。目前获得低温的方式主要有制冷剂和低温制冷机,受限于被动式制冷机的制冷量,现有实验用低温恒温器仍以制冷剂和主动式制冷机为主。文章介绍了常见的实验用低温恒温器结构及其发展与问题,并分析了市场上主流产品的解决方案。同时,介绍了国内低温恒温器技术的发展,包括一款自研的低温薄膜电阻测试仪,最后简要地展望了低温恒温器的发展前景。本研究为国内同行提供技术参考。

关键词：低温恒温器制冷机制冷技术

真空镀膜法制备纳米铝颗粒膜及其表面等离激元共振特性研究

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真空科学与技术学报 2022年第1期42卷 46-54页

作者：赵世奇郝宏亮巩燕龙吴俊褚向前刘月豹方应翠合肥工业大学真空与过程装备系合肥230009 安徽方兴光电新材料科技有限公司合肥230051 合肥工业大学智能制造技术研究院合肥230000

采用直流磁控溅射镀膜技术制备了纳米铝颗粒膜,并尝试通过两种方式获得纳米铝的表面等离激元共振吸收峰,一种是先在室温石英基底上沉积纳米铝,再进行真空退火;另一种是在热石英基底上沉积纳米铝。用透射电镜和扫描电子显微镜、X-射线光... 详细信息

采用直流磁控溅射镀膜技术制备了纳米铝颗粒膜,并尝试通过两种方式获得纳米铝的表面等离激元共振吸收峰,一种是先在室温石英基底上沉积纳米铝,再进行真空退火;另一种是在热石英基底上沉积纳米铝。用透射电镜和扫描电子显微镜、X-射线光电子谱、紫外-可见吸收光谱表征了样品的形貌和晶态结构、成份和吸收特性。采用比对的方式,研究了基底温度、沉积时间对两种方法制备的纳米铝表面等离激元共振的影响。结果表明,先沉积纳米铝,再进行真空退火,不能获得表面等离激元共振吸收峰,而在热基底上沉积纳米铝,可以获得明显的表面等离激元共振吸收峰。通过调控沉积时间和沉积温度实现了纳米铝表面等离激元共振峰从紫外光区到可见光区的可控移动。而且,研究发现对于平均厚度大于3 nm的纳米铝薄膜,由于纳米铝氧化具有自限性,其表面等离激元共振特性在空气中稳定且主要取决于纳米铝颗粒的团聚度。本研究对理解纳米铝表面等离激元共振特性及其应用具有指导意义。

关键词：真空镀膜纳米铝表面等离激元共振热基底

铜基NiCr系太阳光吸收薄膜制备及性能分析

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真空科学与技术学报 2012年第8期32卷 669-673页

作者：陈长琦裘一冰王国栋合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所合肥230009

基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4∶1的NiCr合金靶材,氧气和氮气为反应气体,氩气为工作气体,用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对薄膜性能的影... 详细信息

基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4∶1的NiCr合金靶材,氧气和氮气为反应气体,氩气为工作气体,用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对薄膜性能的影响。测试结果表明两层吸收膜的吸收比大于单层吸收膜;单层吸收膜的吸收比随填充因子的增大而增大;当单层吸收膜的填充因子在两层吸收膜的填充因子之间时,两层吸收膜的发射率小于单层吸收膜;两层吸收膜的吸收比随减反射层厚度的增大先增大后减小,发射率则一直增大。为多层铜基NiCr系阳光吸收膜磁控溅射沉积制备工艺提供了理论依据。

关键词：磁控反应溅射吸收比发射率溅射工艺填充因子

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纳米银表面等离激元共振阻尼及应用

纳米银表面等离激元共振阻尼及应用

TFC’17全国薄膜技术学术研讨会

作者：方应翠合肥工业大学真空与过程装备系

纳米银颗粒具有强的局域表面等离激元共振特性,当发生共振时,纳米颗粒强烈吸收入射光,并且纳米颗粒表面及附近电场强度增大。纳米银的这种特性可以用来增强其表面或附近分子的拉曼散射,增强分子的荧光强度,以及增强表面吸附分子对可见...

纳米银颗粒具有强的局域表面等离激元共振特性,当发生共振时,纳米颗粒强烈吸收入射光,并且纳米颗粒表面及附近电场强度增大。纳米银的这种特性可以用来增强其表面或附近分子的拉曼散射,增强分子的荧光强度,以及增强表面吸附分子对可见光的吸收强度,另外与金属氧化物催化剂组成复合膜时,具有可见光下光催化作用,因此,纳米银表面等离激元共振增强研究得到广泛研究。然而表面等离激元共振有时会带来不利的影响,此时必须减弱表面等离激元共振强度。另一方面,有些情况下,当等离激元共振受到阻尼时,又会出现有利的新效应本文研究纳米银表面等离激元共振阻尼对光催化效率及对介质/纳米银/介质多层膜光电性能的影响。

关键词：

来源： cnki会议评论

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有序二氧化铈薄膜的制备与热稳定性研究

真空科学与技术学报 2014年第5期34卷 549-553页

作者：王国栋陈长琦孔丹丹潘永和潘海斌朱俊发合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学与装备系合肥230009 中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029

利用低能电子衍射、同步辐射光电子能谱和X射线光电子谱原位、系统地研究Ru（0001）单晶表面外延生长CeO2（111）薄膜表面形貌、电子结构、化学元素组成和热稳定性。在超高真空条件下和氧气氛（1.33×10^-5Pa）中,在Ru（0001）单晶衬底... 详细信息

利用低能电子衍射、同步辐射光电子能谱和X射线光电子谱原位、系统地研究Ru（0001）单晶表面外延生长CeO2（111）薄膜表面形貌、电子结构、化学元素组成和热稳定性。在超高真空条件下和氧气氛（1.33×10^-5Pa）中,在Ru（0001）单晶衬底表面上热蒸发金属Ce,反应生成的CeO2薄膜呈外延生长。结果表明,高覆盖度条件下,生成的CeO2（111）薄膜是连续的,且完全覆盖衬底,只有1.4×1.4结构的衍射花样。在4.5 nm完全氧化的CeO2（111）薄膜价带谱中,3～8 eV之间展宽的谱峰归属于O 2p能级,其中,4.1和6.5 eV位置的2个谱峰分别对应于O 2p轨道与Ce 4f0和Ce 5d轨道形成的杂化态峰。当样品表面升温到700℃时,4.1 eV处的Ce^4＋（4f0）峰略微减弱,并且在1.6 eV处出现了Ce^3＋（4f1）峰,说明样品表面已经有部分Ce4＋转化成Ce3＋,发生了还原反应。若进一步提升样品的退火温度,则CeO2的还原程度也越高。

关键词：同步辐射 X射线光电子谱低能电子衍射有序二氧化铈热稳定性

氧等离子体辐照对纳米银薄膜光催化性能的影响

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