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关于一款I线光刻胶的实验研究

仪器与设备 2024年第1期12卷 31-38页

作者：袁燕张倩倪烨王君曹玉于海洋孟腾飞北京航天微电科技有限公司北京

本文主要针对一款I线光刻胶进行工艺攻关,首先摸索该光刻胶在不同转速下的厚度。然后摸索该光刻胶适合的前烘、后烘、曝光、显影工艺参数。分别在接触式光刻机,投影式光刻机上进行试验,找到适用于两台光刻机的工艺窗口。试验过程中记录... 详细信息

本文主要针对一款I线光刻胶进行工艺攻关,首先摸索该光刻胶在不同转速下的厚度。然后摸索该光刻胶适合的前烘、后烘、曝光、显影工艺参数。分别在接触式光刻机,投影式光刻机上进行试验,找到适用于两台光刻机的工艺窗口。试验过程中记录胶线条以及铝线条的线宽和状态。初步固定工艺条件后,针对同一生产任务,同时使用该光刻胶和AZ 5214-E光刻胶进行生产,并进行试制,将二者进行对比,试制结果大致相同。初步证明该光刻胶可以代替AZ 5214-E光刻胶的反转胶性质,在生产较掩模版上线宽细的产品时,该光刻胶更有优势。

关键词：光刻胶 AZ 5214-E 工艺参数

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采用还原基片的声表面波滤波器可靠性研究

仪器与设备 2024年第1期12卷 1-10页

作者：倪烨袁燕张倩任秀娟刘启迪张志阳张志悦北京航天微电科技有限公司北京

分析了压电基片热释电效应产生的机理和使用中带来的问题,采用还原基片(以下简称黑片)可以有效提高声表面波滤波器的抗静电能力。针对采用黑片工艺的声表面波滤波器可靠性展开研究:选取不同种类的黑片,进行不同芯片尺寸的声表面波滤波... 详细信息

分析了压电基片热释电效应产生的机理和使用中带来的问题,采用还原基片(以下简称黑片)可以有效提高声表面波滤波器的抗静电能力。针对采用黑片工艺的声表面波滤波器可靠性展开研究:选取不同种类的黑片,进行不同芯片尺寸的声表面波滤波器粘接固化、筛选试验和装配后的剪切/粘接强度测试,并进行结构分析、鉴定检验和元器件评估。试验结果表明,黑片满足声表面波滤波器的高可靠性要求,对后续在高可靠声表面波滤波器中的应用具有指导意义。

关键词：热释电效应还原基片声表面波滤波器可靠性

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薄膜铂电阻制备工艺研究

仪器与设备 2024年第1期12卷 49-54页

作者：张倩袁燕于海洋倪烨常子硕孟腾飞林树超北京航天微电科技有限公司北京

薄膜铂电阻在温度测量领域应用广泛,使用数量巨大,在很多行业中,已取代了传统的绕线式铂电阻,但是由于其薄膜制备工艺和结构的不同,薄膜铂电阻的温度特性和稳定性与传统绕线式铂电阻有所不同。本文采用磁控溅射法在陶瓷基体上制备薄膜... 详细信息

薄膜铂电阻在温度测量领域应用广泛,使用数量巨大,在很多行业中,已取代了传统的绕线式铂电阻,但是由于其薄膜制备工艺和结构的不同,薄膜铂电阻的温度特性和稳定性与传统绕线式铂电阻有所不同。本文采用磁控溅射法在陶瓷基体上制备薄膜铂电阻温度传感器,并研究了基片温度、热处理工艺和薄膜厚度对薄膜铂电阻温度传感器的电阻值、温度系数等特性的影响。

关键词：薄膜铂电阻磁控溅射温度系数

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强激励下某载具承载装置动态响应分析

北京理工大学学报 2024年第5期44卷 484-493页

作者：冯慧华吴国澳王硕纯刘沐承北京理工大学机械车辆学院北京100081 中国电子科技集团公司第十八研究所天津300384

为保证载具的稳定性和可靠性,针对某载具承载装置开展强激励下的动态响应分析.建立了土壤−混凝土−载具结构的有限元模型,通过MATLAB和ABAQUS联合开发对模型的土壤边界批量施加黏弹性边界和地震动集中力载荷,对地表以CONWEP加载方式施加... 详细信息

为保证载具的稳定性和可靠性,针对某载具承载装置开展强激励下的动态响应分析.建立了土壤−混凝土−载具结构的有限元模型,通过MATLAB和ABAQUS联合开发对模型的土壤边界批量施加黏弹性边界和地震动集中力载荷,对地表以CONWEP加载方式施加爆炸载荷,分别分析载具受到地震和爆炸载荷作用时的动态响应.结果表明,受地震和爆炸激励时装置的动态响应分别以水平和垂直方向为主,载具位移峰值均未超过安全值,没有碰撞风险,载具倾角峰值都小于1°.结合麻雀搜索算法(SSA)、Mixup数据增强、BP神经网络对载具减振装置的刚度和阻尼参数进行优化设计,优化后的载具受到地震激励时水平加速度峰值下降14.9%,垂直相对位移峰值下降23.1%,研究可以为载具的减振优化工作提供参考.

关键词：动态响应强扰动激励土体无限域神经网络

个性化运动干预对代谢综合征人群减重及代谢指标改善的效果分析

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中华健康管理学杂志 2024年第5期18卷 361-365页

作者：王郑芳张凤旭邹煦孙志颖张晗北京航天总医院健康管理中心北京100076

目的分析个性化运动干预对代谢综合征(MS)人群的减重效果。方法本研究为随机对照试验,选取2019—2022年在北京航天总医院健康管理中心进行健康体检的1200例MS患者为研究对象,采用随机数字表法分为试验组和对照组(各600例),结合患者体适... 详细信息

目的分析个性化运动干预对代谢综合征(MS)人群的减重效果。方法本研究为随机对照试验,选取2019—2022年在北京航天总医院健康管理中心进行健康体检的1200例MS患者为研究对象,采用随机数字表法分为试验组和对照组(各600例),结合患者体适能数据对试验组实施为期3个月的个性化运动干预,有氧运动3~4次/周结合抗阻运动≥2次/周,并给予MS相关健康体检;对照组仅给予健康体检。采用配对t检验比较两组干预前后体重及代谢相关指标变化,采用两样本t检验比较干预效果的组间差异,分析个性化运动干预对MS人群减重及代谢指标改善的效果。结果试验组干预后体重、体重指数、腰臀比、静息心率、收缩压、舒张压、空腹血糖、低密度脂蛋白、总胆固醇酯、甘油三酯水平均显著低于干预前[(72.5±12.9)比(74.2±13.6)kg、(27.3±3.5)比(27.9±3.5)kg/m^(2)、(0.87±0.08)比(0.91±0.08)、(71±7)比(74±9)次/min、(131±11)比(138±14)mmHg(1 mmHg=0.133 kPa)、(80±8)比(85±9)mmHg、(6.0±1.1)比(6.9±1.6)mmol/L、(2.78±0.78)比(3.12±0.77)mmol/L、(4.62±1.04)比(5.22±0.97)mmol/L、(1.36±0.42)比(2.59±2.01)mmol/L],高密度脂蛋白水平显著高于干预前[(1.31±0.31)比(1.27±0.29)mmol/L](均P<0.05)。对照组干预后体重、体重指数、腰臀比、收缩压、低密度脂蛋白、总胆固醇酯、甘油三酯水平均显著高于干预前[(68.1±5.9)比(67.1±5.9)kg、(25.3±2.4)比(24.9±2.4)kg/m^(2)、(0.83±0.07)比(0.82±0.06)、(127±12)比(125±12)mmHg、(3.50±1.45)比(3.20±1.21)mmol/L、(5.50±1.80)比(5.30±1.52)mmol/L、(1.59±0.82)比(1.40±0.65)mmol/L],高密度脂蛋白水平显著低于干预前[(1.28±0.28)比(1.38±0.28)mmol/L](均P<0.05)。试验组体重、体重指数、腰臀比、静息心率、收缩压、舒张压、空腹血糖、高密度脂蛋白、低密度脂蛋白、总胆固醇酯、甘油三酯等指标的干预效果均显著优于对照组[(-1.4±13.3)比(1.0±5.9)kg、(-0.6±3.5)比(0.4±2.4)kg/m^(2)、(-0.04±0.08)比(0.01±0.06)、(-3±8)比(0±7)次/min、(-7±12)比(2±12)mmHg、(-5±9)比(0±8)mmHg、(-0.9±1.4)比(0±0.5)mmol/L、(0.04±0.30)比(-0.10±0.28)mmol/L、(-0.34±0.77)比(0.30±1.34)mmol/L、(-0.60±1.00)比(0.20±1.66)mmol/L、(-1.23±1.45)比(0.19±0.74)mmol/L](均P<0.001)。结论对MS人群实施个性化运动干预能够促进MS患者减重并改善其代谢相关指标。

关键词：代谢综合征健康管理个性化运动干预减重

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基于电阻膜的宽带超材料吸波体设计

电子元件与材料 2024年第2期43卷 176-181页

作者：杨佳蓬逯景桐张帅许建春毕科北京邮电大学理学院北京100876 北京航天众信科技有限公司北京100195

基于吸波材料有效吸收和耗散电磁波能量的特性,研究人员实现了对电磁波的精确控制与隔离,这对电磁波的调控起到至关重要的作用。为实现宽带平稳吸收电磁波,提出了一种基于电阻膜的宽频带超材料吸波体,该结构由三层构成,顶层采用周期排... 详细信息

基于吸波材料有效吸收和耗散电磁波能量的特性,研究人员实现了对电磁波的精确控制与隔离,这对电磁波的调控起到至关重要的作用。为实现宽带平稳吸收电磁波,提出了一种基于电阻膜的宽频带超材料吸波体,该结构由三层构成,顶层采用周期排布的电阻膜结构,中间层采用FR-4介质基板,底层采用金属背板。电阻膜主要由导电油墨构成,其作用是吸收电磁波能量后将其转化为热能进行耗散。仿真测试表明,所设计的吸波体在14.2~25.3 GHz频率范围内达到了90%以上的吸收率,平均吸收率高达98.23%,且具备偏振不敏感特性。为了验证设计的可行性,通过控制丝网印刷的参数和条件成功制备了吸波体样品,实际测量值与全波模拟结果展现了较好的一致性,为宽带吸波体的设计提供了参考依据。

关键词：电阻膜超材料宽带吸波体

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超声显微测量系统的信号激励接收方法研究

电子测量技术 2024年第8期47卷 8-13页

作者：张宝进吴炳吕金鸽杨敬高杰北京工业大学北京100124 北京航天测控技术有限公司北京100041

超声显微测量技术是一种广泛应用于工业、航空航天、医疗等领域的无损检测方法。为了减小对100 MHz以上高频超声激励接收仪的进口依赖,研究高频信号激励接收方法。本文超声激励电路利用三级管雪崩击穿特性,以及MARX拓扑电路的电压倍增原... 详细信息

超声显微测量技术是一种广泛应用于工业、航空航天、医疗等领域的无损检测方法。为了减小对100 MHz以上高频超声激励接收仪的进口依赖,研究高频信号激励接收方法。本文超声激励电路利用三级管雪崩击穿特性,以及MARX拓扑电路的电压倍增原理,通过减小激励脉冲脉宽时间,提升带宽覆盖范围。研究了高频超声信号接收电路,并集成超声激励接收仪。研究实现了设备的国产化替代,填补国内超声领域100~500 MHz高频脉冲收发仪的空白。实验结果表明,设计产生的高频激励信号峰峰值不小于128 V、上升沿时间小于0.47 ns、脉宽小于3.5 ns,系统工作带宽覆盖500 MHz,满足高频超声测量系统的需求。

关键词：无损检测激励电路工作带宽接收电路

面向电力调度指令的区块链隐私可追踪存证方案

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计算机工程 2024年第5期50卷 158-166页

作者：王栋王合建玄佳兴郑尚卓陈炳聪国网区块链科技(北京)有限公司北京100053 国网数字科技控股有限公司北京100053 西安电子科技大学广州研究院广东广州510555

在区块链上对电力调度指令进行可信存证是解决异议调度追责困难的有效手段。电力调度包含指令发起者、接收者、调度指令等高度敏感内容,调度指令存证需在保证敏感内容隐私性的同时验证接收者身份及调度指令的合规性,并在异议调度发生时... 详细信息

在区块链上对电力调度指令进行可信存证是解决异议调度追责困难的有效手段。电力调度包含指令发起者、接收者、调度指令等高度敏感内容,调度指令存证需在保证敏感内容隐私性的同时验证接收者身份及调度指令的合规性,并在异议调度发生时追踪发起者身份。现有的区块链隐私存证方案大多采用中心化管理方式,这与区块链分布式设置相违背。针对电力调度指令存证的特定需求,设计一个支持调度发起者身份隐私且可追踪、接收者身份以及调度指令隐私且合规的区块链存证方案。将接收者身份及调度指令进行编码,经承诺加密并提供相应的零知识证明保证承诺密文合规后存储至区块链上。采用秘密共享方案对传统的群签名算法进行改进,在不影响签名与验证效率的前提下,将群管理员数量由单方拓展至多方。当异议调度发生时,多名群管理员共同追踪异议调度发起者身份,揭示接收者身份及调度指令信息。理论分析与实验结果表明,该方案具有较高的安全性,执行效率满足实施需求。

关键词：隐私保护区块链可追踪群签名电力调度

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膨胀循环氢氧发动机火炬点火系统方案研究

导弹与航天运载技术（中英文） 2024年第3期 38-44页

作者：李锦江刘恒刘登丰褚宝鑫张楠北京航天动力研究所北京100076 中国航天科技集团有限公司低温液体推进技术实验室北京100076

针对膨胀循环氢氧发动机多次点火需求,开展了火炬式电点火系统方案论证和仿真研究,明确了较为合理的低压火炬式电点火系统方案,并完成整机级试验验证。结果表明,氢主阀打开瞬间点火室混合比波动较大,可能造成结构烧蚀;从氢涡轮前引气氢... 详细信息

针对膨胀循环氢氧发动机多次点火需求,开展了火炬式电点火系统方案论证和仿真研究,明确了较为合理的低压火炬式电点火系统方案,并完成整机级试验验证。结果表明,氢主阀打开瞬间点火室混合比波动较大,可能造成结构烧蚀;从氢涡轮前引气氢、氧泵后引液氧的方案烧蚀风险较小,但对发动机起动和稳态特性有一定影响。试验验证了仿真分析结果,实现了中国液体火箭发动机首次低压火炬式电点火起动,初步表明点火系统方案可行。

关键词：膨胀循环氢氧发动机火炬式电点火系统方案仿真