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垂直热壁CVD反应器中C/Si比对SiC高速同质外延生长的影响研究

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人工晶体学报 2025年

作者：陈丹莹闫龙罗稼昊郑振宇姜勇张凯周宁廖宸梓郭世平中微半导体设备(上海)股份有限公司

本文结合计算流体力学(CFD)模拟与实验,对垂直热壁晶圆高速旋转CVD设备中SiC的外延生长机制进行研究,探讨了晶圆表面C/Si比对外延生长速率及载流子掺杂浓度的影响。结果表明晶圆表面上方碳原子对硅原子的摩尔比(记为有效C/Si比)与气体... 详细信息

本文结合计算流体力学(CFD)模拟与实验,对垂直热壁晶圆高速旋转CVD设备中SiC的外延生长机制进行研究,探讨了晶圆表面C/Si比对外延生长速率及载流子掺杂浓度的影响。结果表明晶圆表面上方碳原子对硅原子的摩尔比(记为有效C/Si比)与气体进口处C/Si比存在偏差。这一差异主要来自于气相传输过程中反应组分的重新分布,以及反应前驱体在气体进口处和/或热壁上的寄生沉积。研究了有效C/Si比对生长速率和掺杂浓度的影响,结果表明,外延生长速率、载流子掺杂浓度及其均匀性主要受到表面C/Si比而非进口处C/Si比的影响。通过优化生长条件,实现了高质量的6英寸(1英寸=2.54 cm)外延片生长,其厚度和掺杂浓度均匀性分别为1.15%和2.68%。在此基础上,获得了同等质量的8英寸SiC外延层,并实现了超过50μm厚的SiC外延层快速生长。

关键词：碳化硅同质外延化学气相沉积 C/Si比 CFD模拟仿真

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先进压水堆核电安全壳再循环滤网抗震分析

工程机械 2025年第01期 106-110+11页

作者：朱幼君杨晓上海发电设备成套设计研究院有限责任公司

安全壳再循环滤网作为三代非能动AP/CAP核电系统的重要组成部分，对保证在设计基准事故下安全壳堆型冷却系统正常运行非常重要。必须保证核电站在发生事故时，设备整体浸泡在水中也能满足抗震性能的要求。应用ANSYS有限元软件进行模态... 详细信息

安全壳再循环滤网作为三代非能动AP/CAP核电系统的重要组成部分，对保证在设计基准事故下安全壳堆型冷却系统正常运行非常重要。必须保证核电站在发生事故时，设备整体浸泡在水中也能满足抗震性能的要求。应用ANSYS有限元软件进行模态分析和谱分析，并根据ASME BPVC-Ⅷ的相关要求，对再循环滤网进行地震载荷作用下的结构完整性和可运行性评价。结果表明，再循环滤网在核级使用工况下能满足相关抗震性能的要求。

关键词：地坑过滤器地震应力分析抗震评定

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望远镜蜂窝夹层结构光学基板设计

光学学报 2025年

作者：袁健李小涛陈浩然张雷长光卫星技术股份有限公司哈尔滨玻璃钢研究院有限公司

为提升地面大型光电设备中光机结构的轻量化率和热稳定性，采用蜂窝夹层结构为某φ430mm通光口径望远镜设计了光学基板。分别将碳纤维复合材料面板、铝蜂窝芯子等效为具备面内各向异性属性的壳单元和具备正交各向异性属性的实体单元，... 详细信息

为提升地面大型光电设备中光机结构的轻量化率和热稳定性，采用蜂窝夹层结构为某φ430mm通光口径望远镜设计了光学基板。分别将碳纤维复合材料面板、铝蜂窝芯子等效为具备面内各向异性属性的壳单元和具备正交各向异性属性的实体单元，完成蜂窝夹层结构高精度建模；面板使用M40J/氰酸酯预浸料按照准各向同性[0°/±45°/90°]S对称铺层制备，降低复合材料吸湿效应的同时兼顾面板的综合力学性能；设计了重载、边缘、轻载三种镶嵌件，以满足多种部件的安装接口需求，采用热粘接与冷粘接相结合的制备工艺，实现了复杂蜂窝夹层结构的高可靠性制备；基于望远镜的动、静力学特性分析，确定基板高度为40mm、面板厚度为1.6mm，外径φ490mm的基板最终设计重量仅3.03kg。仿真数据显示，光轴水平重力工况下望远镜主次镜间相对位移为8.09μm、相对转角为2.21″，10℃温度变化工况及0.05mm强迫位移工况中主镜面形精度变化RMS值分别为12.655nm、0.745nm，蜂窝夹层结构基板表现出良好的刚度和热稳定性，对制造误差和装配应力不敏感。尺寸稳定性监测中，基板重要安装面的形位公差保持稳定；力学样机中各部件基准棱镜间相对角度在1.5个月内的最大漂移量仅2.88″，望远镜系统状态稳定；实测望远镜中心视场系统波像差为RMS36.45nm，望远镜在18～23℃温度区间内均能维持优良的成像质量。文中蜂窝夹层结构基板具有高比刚度、高稳定性特征，可满足高性能光机结构的使用需求，该技术路线可用来提升地面常规环境中同类设备的工作性能。

关键词：蜂窝夹层结构碳纤维复合材料光学基板光机结构设计尺寸稳定性

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冷热循环对环氧树脂电气性能的影响

绝缘材料 2025年

作者：周远翔徐景凡朱小倩刘轩昊卢毅高岩峰新疆大学电气工程学院电力系统及发电设备控制和仿真国家重点实验室风光储分室清华大学电机工程与应用电子技术系电力系统及大型发电设备安全控制和仿真国家重点实验室国网冀北电力有限公司电力科学研究院

采用线性升降温的方式，探究冷热循环时间和变温速率对环氧树脂电气性能的影响机制。结果表明：随着循环时间的增加，环氧树脂的直流电气强度和体积电阻率均呈先上升后下降的趋势，且这种趋势随着变温速率的增加在循环前期上升幅度较小... 详细信息

采用线性升降温的方式，探究冷热循环时间和变温速率对环氧树脂电气性能的影响机制。结果表明：随着循环时间的增加，环氧树脂的直流电气强度和体积电阻率均呈先上升后下降的趋势，且这种趋势随着变温速率的增加在循环前期上升幅度较小，而后期下降幅度较为显著。分析认为，冷热交替环境会促进环氧树脂内部链段动态调整，使其结构更致密规整。尽管在循环前期，热胀冷缩作用会使环氧树脂表面出现少量微裂纹，但链段动态调整占主导作用，使环氧树脂电气性能得到提升。而随着循环次数增加，长期热胀冷缩作用加剧了分子链段的断裂，使环氧树脂微裂纹扩展，电气性能逐渐下降。随着变温速率的增加，环氧树脂内部链段无法充分调整，且所受温度应力冲击增大，环氧树脂更容易发生劣化。

关键词：冷热循环环氧树脂线性升降温变温速率电气性能

关于电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法在科学、技术、产品、应用方面的思考

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中国无机分析化学 2025年

作者：赵英飞王小龙李凯方哲王雷李宏伟沈学静钢研纳克检测技术股份有限公司

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法是一种高灵敏度的分析技术，广泛应用于地质、环境、生物、医药、半导体等领域的元素分析。ICP-MS仪器设备的研究、开发、制造和应用涉及电磁学、电学、化学、机械、材料、真空等多学科、多领域的科学和... 详细信息

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法是一种高灵敏度的分析技术，广泛应用于地质、环境、生物、医药、半导体等领域的元素分析。ICP-MS仪器设备的研究、开发、制造和应用涉及电磁学、电学、化学、机械、材料、真空等多学科、多领域的科学和技术，对ICP-MS涉及的科学原理、技术系统，以及产品工程化和应用开发考虑的因素进行概述，最后说明产品开发应系统性地考虑科学、技术、产品和应用的相互关系，提出了ICP-MS技术创新思路和发展方向。

关键词： ICP-MS 工程开发系统性开发

汽车涂装磷化转锆化前处理工艺研究和工程实践

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涂料工业 2025年第1期55卷 76-81+88页

作者：李生娟徐腊平殷坤王文文东风汽车集团股份有限公司乘用车公司

以汽车磷化前处理涂装线为基础，系统地研究了磷化转锆化的工序间适配性、磷对锆化液的影响、锆化薄膜对泳透率的影响等磷化转锆化的关键工艺，以精益设计为原则制定了工艺设计方案、工程设计方案、高效可靠的设备除磷方案及工艺调试方... 详细信息

以汽车磷化前处理涂装线为基础，系统地研究了磷化转锆化的工序间适配性、磷对锆化液的影响、锆化薄膜对泳透率的影响等磷化转锆化的关键工艺，以精益设计为原则制定了工艺设计方案、工程设计方案、高效可靠的设备除磷方案及工艺调试方案，最终以12 d为项目周期一次性完成磷化转锆化工艺升级并垂直转产，这些研究结果和工程实践可供同行借鉴。

关键词：磷化转锆化前处理锆化薄膜工艺设计涂装线

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废硫铵母液处理过程中回收粗吡啶及铵盐技术

工业水处理 2025年

作者：刘士强王传荟施亮宝武碳业科技股份有限公司上海务宝机电科技有限公司

采用硫酸吸收荒煤气中氨气生产硫铵过程中，随着硫铵母液的循环使用，母液中的金属离子、有机物、氯离子等杂质含量逐渐升高，最终将影响硫铵产品质量和设备的稳定运行，通常需要置换部分硫铵母液来降低杂质含量，置换出来的硫铵母液即... 详细信息

采用硫酸吸收荒煤气中氨气生产硫铵过程中，随着硫铵母液的循环使用，母液中的金属离子、有机物、氯离子等杂质含量逐渐升高，最终将影响硫铵产品质量和设备的稳定运行，通常需要置换部分硫铵母液来降低杂质含量，置换出来的硫铵母液即为废硫铵母液。由于废硫铵母液中氨氮、COD、氯离子及金属离子含量极高，不宜直接排入焦化废水处理系统，需要进行预处理或小流量兑入废水中进行处理。本文针对某煤精厂废硫铵母液进行了研究，采用氨气调节硫铵母液pH至7.5～9.0，使母液中粗吡啶析出后去除，母液中金属离子形成的氢氧化物沉淀，通过板框压滤机去除，经净化后的硫铵母液经蒸发结晶回收硫铵和氯化铵混盐，蒸发结晶过程中产生的冷凝水可直接排入焦化废水处理系统，实现了废硫铵母液处理的同时，回收了粗吡啶和硫铵，该技术可为其他焦化厂或煤精厂的废硫铵母液的处理提供参考。

关键词：废硫铵母液粗吡啶硫铵回收废液处理

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TB水电工程科技与智能建造创新及实践

水利水电技术(中英文) 2025年

作者：李志刘金山路立桥华能澜沧江水电股份有限公司中国华能集团有限公司

作为澜沧江公司实现中长期发展战略目标第一步的标志性工程，TB电站肩负着新时代下水电工程建设创新发展的重要使命。在总结澜沧江公司20年水电工程建设管理的基础上，守正创新，提出“以关键技术创新为引领、以智能建造平台为支撑、打... 详细信息

作为澜沧江公司实现中长期发展战略目标第一步的标志性工程，TB电站肩负着新时代下水电工程建设创新发展的重要使命。在总结澜沧江公司20年水电工程建设管理的基础上，守正创新，提出“以关键技术创新为引领、以智能建造平台为支撑、打造TB水电标杆工程”为目标，建立了“1+3+N”科技创新及绿色智能建造体系，实现了智能建造技术在水电工程中的全面应用。通过创新科技与智能建造体系和管理体制，为工程安全、绿色、优质、高效的建设发挥了巨大作用，最终使TB水电站较可研进度提前一年实现投产发电，创造了巨大的经济效益和社会效益，生动诠释了创新驱动发展的理念。

关键词： TB水电工程智能建造科技创新管理创新

1000MW机组动调轴流式一次风机故障诊断与处理

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中国设备工程 2025年第01期 185-187页

作者：曹景芳李生伟王梁新华电国际电力股份有限公司邹县发电厂

大型轴流式风机在火电发电厂应用广泛，是锅炉风烟系统的重要设备，一旦发生故障影响危害较大。振动异常和异音是轴流式风机的常见故障。某火力发电厂1000MW机组7#炉B一次风机出现振动异常和异音问题，应用振动诊断技术通过监测和分析... 详细信息

大型轴流式风机在火电发电厂应用广泛，是锅炉风烟系统的重要设备，一旦发生故障影响危害较大。振动异常和异音是轴流式风机的常见故障。某火力发电厂1000MW机组7#炉B一次风机出现振动异常和异音问题，应用振动诊断技术通过监测和分析轴流式风机的振动信号，找到故障原因为风机机壳出现变形，为风机故障检修处理提供了技术支持。

关键词：动叶可调轴流一次风机振动异音诊断分析