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3D NAND闪存中氟攻击问题引起的字线漏电的改进

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物理学报 2024年第6期73卷 368-373页

作者：方语萱夏志良杨涛周文犀霍宗亮中国科学院微电子研究所北京100029 中国科学院大学北京101408 长江存储科技有限责任公司武汉430071 长江先进存储产业创新中心有限责任公司武汉430014

随着3D NAND闪存向更高层数堆叠,后栅工艺下,金属钨(W)栅字线(WL)层填充工艺面临的挑战进一步增大.由于填充路径增长,钨栅在沉积过程中易产生空洞,造成含氟(F)副产物的聚集,引起氟攻击问题.具体表现为,在后续高温制程的激发下,含氟副产... 详细信息

随着3D NAND闪存向更高层数堆叠,后栅工艺下,金属钨(W)栅字线(WL)层填充工艺面临的挑战进一步增大.由于填充路径增长,钨栅在沉积过程中易产生空洞,造成含氟(F)副产物的聚集,引起氟攻击问题.具体表现为,在后续高温制程的激发下,含氟副产物向周围结构扩散,侵蚀其周边氧化物层,导致字线漏电,影响器件的良率及可靠性.本文首先分析了在3D NAND闪存中氟攻击的微观原理,并提出了通过低压退火改善氟攻击问题的方法.接下来对平面薄膜叠层与三维填充结构进行常压与低压下的退火实验,并使用多种方法对残留氟元素的浓度与分布进行表征.实验结果表明,适当条件下的低压退火,使得钨栅中的残余氟有效地被排出,可以有效降低字线的漏电指数,提高3D NAND闪存的质量.

关键词： 3D NAND闪存氟攻击问题字线漏电低压退火

一种第三代单晶高温合金的组织稳定性与持久性能

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金属学报 2024年第6期60卷 770-776页

作者：刘金来孙晶霞孟杰李金国中国科学院金属研究所师昌绪先进材料创新中心沈阳110016 中国科学技术大学材料科学与工程学院沈阳110016

针对第三代单晶高温合金研制过程中析出少量拓扑密排相(TCP相)和中温性能偏低的问题,采用电子空位数计算,确定了对合金组织稳定性影响最显著的元素为Al,通过将Al含量降低0.4%,合金在1100℃、1000 h长期时效后完全无TCP相析出,实现了合... 详细信息

针对第三代单晶高温合金研制过程中析出少量拓扑密排相(TCP相)和中温性能偏低的问题,采用电子空位数计算,确定了对合金组织稳定性影响最显著的元素为Al,通过将Al含量降低0.4%,合金在1100℃、1000 h长期时效后完全无TCP相析出,实现了合金良好的组织稳定性。根据中温变形机制,认为合金中温持久性能偏低的原因为合金层错能偏低。确定合金成分的优化方案为在Al含量降低0.4%的基础上,少量降低Re和Co的含量以提高合金的层错能,通过将Re和Co含量分别降低0.25%和1%,合金在760℃、800 MPa的持久寿命由40 h提高到150 h,且合金的高温持久性能保持不变。在此基础上,确定了组织稳定且中/高温性能平衡的一种第三代单晶合金的最佳成分,并讨论了稳定合金组织和提高中温蠕变性能的原因。

关键词：第三代单晶高温合金组织稳定性持久性能 Re 变形机制

基于高阶抑制达曼光栅的微透镜阵列焦距的快速测量

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中国激光 2024年第6期51卷 124-131页

作者：郑奉禄余俊杰朱镕威马国庆张军勇中国科学院上海光学精密机械研究所光芯片集成研发中心上海201800 上海科技大学上海201210 中国科学院大学北京100049 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室上海201899

提出了一种用高阶抑制二维达曼光栅作为分光元件替代普通衍射光栅实现微透镜阵列焦距快速测量的方法。高阶抑制二维达曼光栅具有优良的分光效果,且高阶衍射级次能够得到有效抑制,通过信噪比的提高降低焦距测量误差。设计并制备了一分五... 详细信息

提出了一种用高阶抑制二维达曼光栅作为分光元件替代普通衍射光栅实现微透镜阵列焦距快速测量的方法。高阶抑制二维达曼光栅具有优良的分光效果,且高阶衍射级次能够得到有效抑制,通过信噪比的提高降低焦距测量误差。设计并制备了一分五的高阶抑制二维达曼光栅,分束后的光束经过微透镜,在其焦面附近形成高对比聚焦光斑阵列。相比常规一维光栅,所提方法通过测量每个微透镜焦面内光斑两两之间的距离,得到多个焦距值,从而有效减少测量的随机误差。实验结果表明,该方案对微透镜阵列焦距的单次测量误差小于3.5%,重复测量误差在4.5%之内。该方案对微透镜阵列的焦距分布快速评估具有实用价值。

关键词：测量高阶抑制达曼光栅微透镜阵列焦距测量

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数字技术赋能黄河流域创新发展治理研究

中国科学院院刊 2024年第6期39卷 1000-1011页

作者：孙茜贾颖颖孙高祚赵喜喜穆荣平中国科学院大学公共政策与管理学院北京100049 山东省海洋科学研究院(青岛国家海洋科学研究中心) 青岛266100 中国科学院科技战略咨询研究院北京100190

数字技术应用是创新传统发展模式、实现生产力跃迁的核心动力,创新是引领发展的第一生产力。黄河及其流域创新发展治理是一个复杂的社会系统工程,涉及经济、社会、生态多个方面,数字技术深度赋能是其关键驱动力。文章通过聚焦数字技术... 详细信息

数字技术应用是创新传统发展模式、实现生产力跃迁的核心动力,创新是引领发展的第一生产力。黄河及其流域创新发展治理是一个复杂的社会系统工程,涉及经济、社会、生态多个方面,数字技术深度赋能是其关键驱动力。文章通过聚焦数字技术赋能黄河及其流域创新发展治理,深入剖析其从“数字黄河”到“数字孪生黄河”不同阶段的发展历程、面临的问题挑战,并提出针对性的政策建议。研究发现,黄河及其流域创新治理仍面临数字创新生态建设、数字治理体系建设、数据基础设施建设、数据安全风险防范4个方面的挑战。文章围绕当下面临的挑战,提出了数字技术赋能黄河及其流域创新发展治理的建议,即构建黄河科技创新生态、健全敏捷数字治理体系、强化黄河创新要素价值开发和增强黄河数字安全屏障能力,以助推黄河及其流域创新发展目标的实现。

关键词：数字技术黄河治理创新发展数字孪生数字赋能

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科学数据支撑国家重大战略需求的若干思考

科学通报 2024年第9期69卷 1116-1122页

作者：郭华东邹自明陈刚周国民石蕾胡晓彦可持续发展大数据国际研究中心北京100094 中国科学院空天信息创新研究院北京100094 中国科学院大学北京100049 中国科学院国家空间科学中心国家空间科学数据中心北京100190 中国科学院高能物理研究所国家高能物理科学数据中心北京100049 中国农业科学院农业信息研究所国家农业科学数据中心北京100081 国家科技基础条件平台中心北京100038

党的二十大报告指出,科技是第一生产力、人才是第一资源、创新是第一动力,发出了深入实施创新驱动发展战略,开辟发展新领域新赛道,不断塑造发展新动能新优势的号召.科技创新是农业强国、制造强国、贸易强国、航天强国、海洋强国、网络... 详细信息

党的二十大报告指出,科技是第一生产力、人才是第一资源、创新是第一动力,发出了深入实施创新驱动发展战略,开辟发展新领域新赛道,不断塑造发展新动能新优势的号召.科技创新是农业强国、制造强国、贸易强国、航天强国、海洋强国、网络强国和健康中国、美丽中国、平安中国等国家重大战略的核心动能,在全面建设社会主义现代化国家中发挥关键作用,而数据则是实施创新驱动发展战略的关键要素.

关键词：贸易强国国家重大战略制造强国创新驱动发展战略海洋强国数据支撑第一动力农业强国

特征信号图像测速法在超声速多组分等离子体射流中的应用

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力学学报 2024年第8期56卷 2436-2447页

作者：张奇志张晖曹进文黄河激孟显李腾耿金越中国科学院力学研究所北京100190 中国科学院大学工程科学学院北京100049 广东空天科技研究院广州511458

高速稀薄等离子体流场在航空航天领域有重要的应用.等离子体射流不同于常规的气体或液体的流动,其内部的电离状态、丰富的反应活性、多样的特征尺度、热平衡与非平衡共存等特点导致传统测速方法难以应用.特征信号图像测速法(SSIV)通过... 详细信息

高速稀薄等离子体流场在航空航天领域有重要的应用.等离子体射流不同于常规的气体或液体的流动,其内部的电离状态、丰富的反应活性、多样的特征尺度、热平衡与非平衡共存等特点导致传统测速方法难以应用.特征信号图像测速法(SSIV)通过将羽流光强波动作为示踪信号来测量流体速度,从而拥有更好的流体跟随性和测量精度.利用低气压(约为100 Pa)直流电弧等离子体实验平台,文章基于特征信号图像测速方法,通过跟踪发生器输入功率周期变化引起的光强波动来测量纯氩以及氩-氦多组分两种工况下的羽流轴向平均速度分布.将中心波长为696.5 nm的窄带滤光片安装到光学镜头上,进一步获取两种工况下氩原子(ArI)单一谱线所对应的射流速度.结果分析表明,相同工况(电功率、气体质量流量及背景气压)下,氩-氦多组分等离子体的射流平均速度显著高于纯氩等离子体射流的平均速度.并且在氩-氦多组分等离子体的射流中,基于整体光强波动得到的射流速度要明显高于基于Ar I特征谱线获得的速度,表明SSIV方法不仅能够测量可压缩等离子体射流的平均速度,还具有分辨不同组分速度场的能力.研究结果展示了特征信号图像测速方法在复杂流场测量中的适用性和优势.

关键词：特征信号等离子体射流轴向速度直流电弧氩氦多组分气体

高能皮秒拍瓦激光研究进展、技术挑战及发展趋势

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中国激光 2024年第11期51卷 92-119页

作者：姜有恩杨朋千潘雪张艳丽郭亚晶朱坪李大为崔勇欧阳小平陶华姜卓偲樊全堂华能唐顺兴肖奇张栋俊刘东宁黄鹏飞李祖强朱宝强马伟新朱俭李学春朱健强中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室上海201800 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所上海201800 中国科学院大学材料与光电研究中心北京100049

兼具高峰值功率和高脉冲能量两大特征的皮秒拍瓦激光与物质相互作用的物理效果跟脉冲信噪比、聚焦功率密度和时空调控精度等关键因素直接相关。深入研究了这三大因素相应的受限机制、关键技术以及神光II升级装置中皮秒拍瓦激光等典型代... 详细信息

兼具高峰值功率和高脉冲能量两大特征的皮秒拍瓦激光与物质相互作用的物理效果跟脉冲信噪比、聚焦功率密度和时空调控精度等关键因素直接相关。深入研究了这三大因素相应的受限机制、关键技术以及神光II升级装置中皮秒拍瓦激光等典型代表的最新技术进展,对于提升拍瓦激光性能具有指导作用。针对皮秒拍瓦激光的负载受限问题,从元器件损伤阈值、光场退化和洁净控制等方面进行了分析,并综述了基于等离子体光学的脉冲放大及压缩技术在突破高功率激光负载瓶颈的新研究动向。此外,皮秒拍瓦激光要从实验室走向更广泛的应用,还需要持续推进高效高能重复频率皮秒拍瓦激光的技术攻关。

关键词：激光技术拍瓦激光信噪比聚焦功率密度时空调控精度皮秒负载

基于空域评价和分布统计的高功率激光装置近场状态分析方法

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中国激光 2024年第14期51卷 87-99页

作者：陈伟范薇杨琳中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室上海201800 中国科学院大学材料科学与光电研究中心北京100049 上海交通大学IFSA协同创新中心上海200240

惯性约束聚变高功率激光驱动器优质的近场分布是提升装置输出性能的关键。研究了高功率激光装置基频近场状态的分析方法,利用统计光学理论,获得了近场通量分布的概率密度函数及其近似表达式,近场的统计特性反映出其整体分布特征及其变... 详细信息

惯性约束聚变高功率激光驱动器优质的近场分布是提升装置输出性能的关键。研究了高功率激光装置基频近场状态的分析方法,利用统计光学理论,获得了近场通量分布的概率密度函数及其近似表达式,近场的统计特性反映出其整体分布特征及其变化原因,由于信号通量和噪声通量可以用于描述理想的光束分布及扰动,近场分布信噪比能更显著地反映光束受扰动影响的程度;提出并验证了局部对比度和局部调制度的应用可行性,即能够定位近场异常区域并分析其状态演化;通过近场光束的通量统计研究了高通量点的演化过程,提供怀疑发生损伤的区域,并对高通量点与信噪比之间的指数模型提出了对比度的控制要求。研究结果为装置在高功率激光辐照下的安全运行提供了理论基础和实验支撑,提出了新的近场状态评估方法,对装置维护和运行策略调整起到一定的指导作用。

关键词：高功率激光驱动器近场光束质量分布统计空域评价近场分布信噪比

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科技创新驱动新质生产力及其全球效应

财贸经济 2024年

作者：梁昊光黄伟中国科学院中国现代化研究中心中国科学院大学经济与管理学院

新质生产力是立足于新时代新征程国内经济发展形势和国际复杂环境的现实，实现中国式现代化的先进生产力水平要求，构建符合新发展理念的先进生产力质态而提出。本文系统深化了新质生产力绿色化、数字化、高科技化三大特征，论证了科技... 详细信息

新质生产力是立足于新时代新征程国内经济发展形势和国际复杂环境的现实，实现中国式现代化的先进生产力水平要求，构建符合新发展理念的先进生产力质态而提出。本文系统深化了新质生产力绿色化、数字化、高科技化三大特征，论证了科技创新加快形成新质生产力的关键驱动作用。研究结果表明，科技创新通过基础性、关键性、颠覆性技术突破，并将其成果作用于产业体系上，通过改造传统产业、促进新兴产业、布局未来产业，为现代化产业体系提供有力支撑。研究显示，新质生产力有助于为发展中国家提升产业链价值、为全球经济复苏形成新经济增长极提供中国贡献。因此，加快科技创新推动新质生产力的形成，应进一步抢占科技制高点，加快突破关键核心技术，推动科技成果产业化以及积极构建开放式科技创新体系。

关键词：科技创新新质生产力全球效应产业链