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激光等离子体13.5 nm极紫外光刻光源进展

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中国光学 2020年第1期13卷 28-42页

作者：宗楠胡蔚敏王志敏王小军张申金薄勇彭钦军许祖彦中国科学院固体激光重点实验室中国科学院理化技术研究所北京100190 中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室中国科学院理化技术研究所北京100190 中国科学院大学北京100049

半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜... 详细信息

半导体产业是高科技、信息化时代的支柱。光刻技术,作为半导体产业的核心技术之一,已成为世界各国科研人员的重点研究对象。本文综述了激光等离子体13.5 nm极紫外光刻的原理和国内外研究发展概况,重点介绍了其激光源、辐射靶材和多层膜反射镜等关键系统组成部分。同时,指出了在提高激光等离子体13.5 nm极紫外光源输出功率的研究进程中所存在的主要问题,包括提高转换效率和减少光源碎屑。特别分析了目前已实现百瓦级输出的日本Gigaphoton公司和荷兰的ASML公司的极紫外光源装置。最后对该项技术的发展前景进行了总结与展望。

关键词： 13.5 nm极紫外光刻技术激光等离子体极紫外光源转换效率光源碎屑预脉冲激光

深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外相干光源研究进展

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中国光学 2020年第3期13卷 427-441页

作者：王晓洋刘丽娟中国科学院理化技术研究所北京人工晶体研究发展中心北京100190

全固态深紫外相干光源在前沿科学、高技术等领域均有重要应用。产生全固态深紫外相干光源的一种有效而可行的技术途径是将商业化的可见、近红外全固态激光作为基频光源,通过非线性光学晶体的多级变频技术产生深紫外激光。本文系统地介... 详细信息

全固态深紫外相干光源在前沿科学、高技术等领域均有重要应用。产生全固态深紫外相干光源的一种有效而可行的技术途径是将商业化的可见、近红外全固态激光作为基频光源,通过非线性光学晶体的多级变频技术产生深紫外激光。本文系统地介绍了深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外相干光源的研究进展。主要以KBBF晶体为代表,详细介绍了发现KBBF晶体的过程,晶体生长技术,棱镜耦合器件技术,KBBF晶体的主要光学性质以及产生深紫外相干光源的能力,同时证实了KBBF晶体是目前能使用直接倍频方法实现深紫外激光输出的非线性光学晶体。此外,文中还详细介绍了基于KBBF晶体及棱镜耦合技术的深紫外相干光源的应用情况,尤其是在超高分辨率光电子能谱仪方面的应用及取得的重要成果。最后,展望了深紫外非线性光学晶体及全固态深紫外激光技术的发展方向。

关键词：深紫外非线性光学晶体深紫外激光 KBBF 晶体生长

紫外与深紫外非线性光学晶体的新进展(英文)

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人工晶体学报 2004年第4期33卷 455-464页

作者：陈创天林哲帅中国科学院理化技术研究所北京人工晶体研究发展中心北京100080

随着光刻、激光微加工以及激光光谱仪的发展 ,紫外与深紫外光谱区的相干光源变得越来越重要。本文简要地回顾了使用阴离子基团理论发展新型硼酸盐系列紫外与深紫外非线性光学晶体的历史 ,同时系统地介绍了这些硼酸盐系列晶体的线性和非... 详细信息

随着光刻、激光微加工以及激光光谱仪的发展 ,紫外与深紫外光谱区的相干光源变得越来越重要。本文简要地回顾了使用阴离子基团理论发展新型硼酸盐系列紫外与深紫外非线性光学晶体的历史 ,同时系统地介绍了这些硼酸盐系列晶体的线性和非线性光学性质。最后给出一些产生紫外与深紫外谐波输出的典型例子以及它们的应用。

关键词：深紫外非线性光学晶体硼酸盐晶体谐波转换 KBBF晶体激光光谱仪棱镜耦合技术

新型非线性光学晶体BaAlBO_3F_2的生长及组分挥发的研究

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人工晶体学报 2006年第1期35卷 6-10页

作者：纪丽娜傅佩珍李云阁蒋世超胡章贵中国科学院理化技术研究所北京人工晶体研究与发展中心

采用高温熔液法生长BaA lBO3F2晶体(简称BABF)时,组分挥发严重。本文分析了晶体生长前后的组分中相关元素的重量损失,发现易挥发的物质可能是硼的氧化物和氟化物;X射线衍射分析确定挥发物中还含有少量的NaC l。通过改变助熔剂与熔质的配... 详细信息

采用高温熔液法生长BaA lBO3F2晶体(简称BABF)时,组分挥发严重。本文分析了晶体生长前后的组分中相关元素的重量损失,发现易挥发的物质可能是硼的氧化物和氟化物;X射线衍射分析确定挥发物中还含有少量的NaC l。通过改变助熔剂与熔质的配比,明显降低了晶体的生长温度,减少了组分挥发,优化了晶体生长条件,得到24mm×20mm×6mm尺寸的晶体。

关键词： BABF晶体晶体生长组分挥发 X射线衍射

Yb^(3+)∶La_2CaB_(10)O_(19)晶体的生长

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硅酸盐学报 2004年第3期32卷 245-247页

作者：郭锐傅佩珍景芳丽郑峰吴以成中国科学院理化技术研究所北京100080

以CaB4 O7为助熔剂生长出尺寸为 3 1mm× 3 2mm× 12mm、质量较好的掺Yb3+ 的摩尔分数分别为 10 % ,15 %的Yb3+ ∶La2 CaB1 0 O1 9(Yb3+ ∶LCB)单晶 ,生长工艺参数是 :降温速率 <0 .5℃ /d ,转速 <12r/min。测试了晶体的X射线粉末衍射... 详细信息

以CaB4 O7为助熔剂生长出尺寸为 3 1mm× 3 2mm× 12mm、质量较好的掺Yb3+ 的摩尔分数分别为 10 % ,15 %的Yb3+ ∶La2 CaB1 0 O1 9(Yb3+ ∶LCB)单晶 ,生长工艺参数是 :降温速率晶体的X射线粉末衍射谱、透射光谱和粉末倍频效应 ,结果表明 :Yb3+ ∶LCB晶体的粉末衍射峰与LCB的衍射峰一致 ;Yb3+ ∶LCB晶体在 92 5 ,975nm附近有明显的吸收峰 ,其中 975nm附近吸收很强 ;倍频效应与KDP同一量级。

关键词：掺镱硼酸钙镧晶体硼酸盐晶体透射光谱倍频效应助熔剂法

混合工质在制冷机节流元件毛细管中的流动特性

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天然气工业 2004年第12期24卷 139-141,i042页

作者：齐延峰公茂琼孙兆虎罗二仓吴剑峰中国科学院理化技术研究所制冷与低温研究中心

可用于天然气液化的深冷多元混合工质节流制冷技术由于其固有的优点以及其制冷温区跨度大的特点 ,近年来得到了前所未有的重视和发展。随着这项技术的不断成熟 ,对混合工质在深冷制冷机节流元件内的流动特性的研究也显得日益重要。纵观... 详细信息

可用于天然气液化的深冷多元混合工质节流制冷技术由于其固有的优点以及其制冷温区跨度大的特点 ,近年来得到了前所未有的重视和发展。随着这项技术的不断成熟 ,对混合工质在深冷制冷机节流元件内的流动特性的研究也显得日益重要。纵观现有的众多节流毛细管的研究文献 ,内容主要涉及普冷工质的流动特性 ,而且其中大多采用的是均相模型。而深冷多元混合工质由于其本身的特点 ,与普冷工质有着很大的不同。为此 ,文章旨在研究混合工质在毛细管内的流量特性 ,尝试使用了分相流动模型来计算深冷多元混合工质在绝热毛细管中的流量特性 ,建立了深冷混合制冷剂在毛细管中流动的控制方程 ,并依此编制了计算程序 ;同时搭建了深冷混合工质在绝热毛细管中流动特性实验台 ,进行了深冷多元混合工质在绝热毛细管中的流动特性实验研究。理论计算结果与实验结果符合度较好 ,其偏差均在 10 %以内 ,基本满足了工程上的需要 ;

关键词：混合工质绝热毛细管节流元件制冷机制冷剂流量制冷技术混合制冷剂流动特性流动模型实验台

Na_3La_2(BO_3)_3的晶体结构(英文)

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人工晶体学报 2004年第4期33卷 490-495页

作者：张国春李云阁傅佩珍潘世烈常峰吴以成中国科学院理化技术研究所北京人工晶体研究与发展中心北京100080

以Na2 CO3 H3 BO3 NaF为助熔剂 ,使用顶部籽晶法生长出Na3 La2 (BO3 ) 3 透明单晶。测定了Na3 La2 (BO3 ) 3 的晶体结构 ,该晶体属正交晶系 ,空间群 :Amm2 (No .38) ,晶胞参数为a =0 .5 15 80 (10 )nm ,b =1.135 0 (2 )nm ,c =0 .732 ... 详细信息

以Na2 CO3 H3 BO3 NaF为助熔剂 ,使用顶部籽晶法生长出Na3 La2 (BO3 ) 3 透明单晶。测定了Na3 La2 (BO3 ) 3 的晶体结构 ,该晶体属正交晶系 ,空间群 :Amm2 (No .38) ,晶胞参数为a =0 .5 15 80 (10 )nm ,b =1.135 0 (2 )nm ,c =0 .732 30(15 )nm ,α=β=γ =90° ,V =0 .4 2 871(15 )nm3 ,密度 :4 .0 5 3g/cm3 。晶体结构中的硼氧基团是平面的BO3 基团 ,BO3 基团相互独立 ,且与Na(1)O6、Na(2 )O8、Na(3)O6和La(1)O9配位多面体连结形成三维网络骨架结构。讨论了Na3 La2(BO3 ) 3 的晶体结构与倍频效应的关系。

关键词： Na2CO3-H3BO3-NaF 助熔剂 Na3La2(BO3)3 晶体结构倍频效应碳酸钠硼酸氟化钠

用于液体激光介质的Nd^(3+)离子掺杂氟化镧纳米颗粒的制备与性能表征

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发光学报 2015年第2期36卷 129-134页

作者：陈卓薄淑晖田昌勇甄珍刘新厚中国科学院理化技术研究所中国科学院光化学转换与功能材料重点实验室北京100190 中国科学院理化技术研究所中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室北京100190

设计并合成了掺杂不同Nd3+离子浓度的氟化镧纳米颗粒,并用油酸进行了表面修饰,使得这类纳米颗粒可分散于常见的有机溶剂中形成透明、均一、稳定的溶液。对纳米颗粒的结构、晶相以及发光性能进行了表征。固体和溶液材料在1 060 nm都有强... 详细信息

设计并合成了掺杂不同Nd3+离子浓度的氟化镧纳米颗粒,并用油酸进行了表面修饰,使得这类纳米颗粒可分散于常见的有机溶剂中形成透明、均一、稳定的溶液。对纳米颗粒的结构、晶相以及发光性能进行了表征。固体和溶液材料在1 060 nm都有强的发射峰,说明纳米晶格可有效地保护Nd3+离子免受外界环境对发光的猝灭影响。纳米颗粒有机溶液的吸收损耗和散射损耗测试结果表明,其总损耗系数能够满足激光介质材料的损耗要求,为该材料的实用化打下了基础。

关键词：稀土纳米发光材料共沉淀法液体激光介质

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Nd:YVO_4晶体a向生长研究

人工晶体学报 2004年第6期33卷 1015-1017页

作者：徐子颉张国春赵宗源中国科学院理化技术研究所北京100080

采用固液两相混合 ,使Nd2 O3 、Y2 O3 和V2 O5在近常温条件下初步合成Nd :YVO4多晶原料 ,降低固相合成反应温度 ,减少V2 O5在多晶原料制备过程中的挥发。讨论了a方向Nd :YVO4单晶生长条件 ,采用提拉法 ,以 ( 10 0 )方向进行单晶生长 ,... 详细信息

采用固液两相混合 ,使Nd2 O3 、Y2 O3 和V2 O5在近常温条件下初步合成Nd :YVO4多晶原料 ,降低固相合成反应温度 ,减少V2 O5在多晶原料制备过程中的挥发。讨论了a方向Nd :YVO4单晶生长条件 ,采用提拉法 ,以 ( 10 0 )方向进行单晶生长 ,得到一系列掺杂浓度的Nd

关键词： Nd:YVO4晶体单晶生长掺杂浓度提拉法 Y2O3 挥发降低多晶 V2O5 Nd2o3