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电子束散射角限制投影光刻掩模研制

光电工程 2004年第4期31卷 13-16页

作者：杨清华陈大鹏叶甜春刘明陈宝钦李兵董立军中国科学院微电子研究所北京100029

掩模制作是电子束散射角限制投影光刻(SCALPEL)的关键技术。通过优化工艺,制作出具有“纳米硅镶嵌结构”的低应力SiNx薄膜作为支撑;开发了电子束直写胶图形的加法工艺,在支撑薄膜上得到清晰的钨 / 铬散射体图形。研制出的SCALPEL掩模,... 详细信息

掩模制作是电子束散射角限制投影光刻(SCALPEL)的关键技术。通过优化工艺,制作出具有“纳米硅镶嵌结构”的低应力SiNx薄膜作为支撑;开发了电子束直写胶图形的加法工艺,在支撑薄膜上得到清晰的钨 / 铬散射体图形。研制出的SCALPEL掩模,其晶片尺寸为80mm,图形线宽达到0.1m,经缩小投影曝光得到78nm的图形分辨力。

关键词：电子束光刻掩模投影光刻

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胶东金矿田的深部地球物理勘查模式初步研究

地质力学学报 2019年第A1期25卷 150-156页

作者：张宝林吕古贤梁光河徐兴旺李志远苗雅娜中国科学院矿产资源研究重点实验室中国科学院地质与地球物理研究所北京100029 中国科学院地球科学研究院北京100029 中国科学院大学北京100049 中国地质科学院地质力学研究所北京100081

胶东金矿田深部'第二富集带'找矿潜力巨大,但预测难度也大,其中一个问题是深部勘查目标难以识别。作为复杂成矿过程的产物,按经济指标划分的金矿体和规模更大的构造蚀变带,可以整体上作为深部地球物理勘查的目标,扩大目标地质体的规模,... 详细信息

胶东金矿田深部'第二富集带'找矿潜力巨大,但预测难度也大,其中一个问题是深部勘查目标难以识别。作为复杂成矿过程的产物,按经济指标划分的金矿体和规模更大的构造蚀变带,可以整体上作为深部地球物理勘查的目标,扩大目标地质体的规模,从而提高物探方法的分辨率。基于矿床地质特征、岩(矿)石物性参数及含矿构造岩相带的空间形态特点,将胶东地区金矿床分为三类:一维角砾岩型、二维蚀变岩型、二维石英脉型。依托'中生代岩浆核杂岩隆起—拆离带'控矿构造模式,应用含矿构造岩相带和地球物理方法相结合的工作模式,在玲珑—焦家、大庄子、蓬家夼等矿田开展深部找矿预测,为物探方法有效识别深部矿化带提供理论和技术支持。

关键词：胶东金矿田成矿类型深部预测地球物理勘查构造岩相带

一种新型波导基C波段空间功率合成器的设计和实现

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电子学报 2009年第8期37卷 1686-1689页

作者：武锦欧阳思华李艳奎阎跃鹏刘新宇中国科学院微电子研究所北京100029

介绍了一种新型波导基空间功率合成器的结构设计.采用优化的Klopfenstein型鳍状天线阵,制作实现了C波段(3.2～4.9GHz)2×3层空间功率合成器.器件的外部结构尺寸为70.12mm×98.44mm×160mm,内部集成了6只内匹配的砷化镓微波单片功率管.... 详细信息

介绍了一种新型波导基空间功率合成器的结构设计.采用优化的Klopfenstein型鳍状天线阵,制作实现了C波段(3.2～4.9GHz)2×3层空间功率合成器.器件的外部结构尺寸为70.12mm×98.44mm×160mm,内部集成了6只内匹配的砷化镓微波单片功率管.对该器件进行了功率合成特性的测试,实测性能指标为:在4.2GHz,该器件在连续波输入下线性增益为8.5dB,饱和输出功率为42.82dBm(19.1W),功率附加效率为25.3%,功率合成效率达到72.3%.

关键词：波导基空间功率合成器 Klopfenstein鳍线阵微波单片功率管

秦岭造山带与南北相邻地带远震接收函数与地壳结构

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地球物理学报 2016年第4期59卷 1321-1334页

作者：司芗滕吉文刘有山马学英乔勇虎董兴鹏宋鹏汉中国科学院地质与地球物理研究所北京100029 中国科学院大学北京100049 国土资源部油气资源战略研究中心北京100034

从2013年3月至2014年11月,我们布设了一条延川—涪陵的流动宽频带地震台阵,剖面由70个流动台站组成,全长约900km,穿越华北克拉通、秦岭—大巴造山带和扬子克拉通东北缘陆内三大构造单元.利用记录到的远震波形资料,提取得到5638个远震P... 详细信息

从2013年3月至2014年11月,我们布设了一条延川—涪陵的流动宽频带地震台阵,剖面由70个流动台站组成,全长约900km,穿越华北克拉通、秦岭—大巴造山带和扬子克拉通东北缘陆内三大构造单元.利用记录到的远震波形资料,提取得到5638个远震P波接收函数,使用H-κ叠加扫描和CCP偏移叠加方法刻划了秦岭造山带与南北相邻地带的地壳厚度、泊松比以及构造界带.研究结果显示,（1）关于地壳厚度：地壳最厚的区域出现在大巴山,地壳厚度集中在47～51km之间,秦岭的地壳厚度相对大巴山较薄,且呈向北减薄趋势,集中在37～46km之间,渭河盆地地壳厚度为本区域最薄地带,在34°N左右处达到最薄为35km,剖面北侧的南鄂尔多斯盆地的地壳厚度变化缓慢,多为44km左右,南侧的四川盆地东北缘的地壳厚度向南缓慢减薄,集中在42～48km之间;（2）关于泊松比：使用接收函数H-κ叠加扫描法得到了沿剖面各台站下方地壳的平均纵、横波速度比VP/VS（κ）,进一步计算得到泊松比σ,泊松比具有明显的横向分块特征,秦岭造山带的泊松比明显低于南北两侧区域,其小于0.26的泊松比表征着该区域地壳物质组分主要为酸性岩石,亦即其酸性长英质组分上地壳相对于基性铁镁质组分下地壳较厚,该区域没有高泊松比分布则表明不存在广泛的部分熔融.（3）关于构造界带：秦岭—大巴造山带与扬子克拉通的边界并非在勉略构造带,应向南移至四川盆地的东北缘,华北克拉通和扬子克拉通分踞秦岭—大巴造山带南、北两侧,且分别以较陡倾角向南和相对较缓的倾角向北俯冲于秦岭—大巴造山带之下,使得秦岭—大巴造山带呈不对称状扇形向外扩展与向上抬升的空间几何模型.秦岭和大巴山之间33°N附近存在分界面,两区域地壳厚度与泊松比特征各异.

关键词：秦岭造山带及其南北缘远震P波接收函数 H-κ叠加 CCP偏移叠加地壳厚度泊松比构造界带

国产VDMOS电离辐射环境中的敏感参数研究

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核技术 2008年第8期31卷 613-615页

作者：刘刚蔡小五韩郑生陆江王立新夏洋中国科学院微电子研究所北京100029

分析了国产VDMOS(Vertical Double-diffusion MOSFET)总剂量试验数据,并比较了辐照环境中不同偏置下电学参数的变化差异,发现新工艺研制的VDMOS器件辐照敏感参数为击穿电压和阈值电压。根据试验结果得到考核VDMOS辐照可靠性的有效试验方... 详细信息

分析了国产VDMOS(Vertical Double-diffusion MOSFET)总剂量试验数据,并比较了辐照环境中不同偏置下电学参数的变化差异,发现新工艺研制的VDMOS器件辐照敏感参数为击穿电压和阈值电压。根据试验结果得到考核VDMOS辐照可靠性的有效试验方法:击穿电压抗辐照考核时应采用漏偏置,阈值电压抗辐照考核时应采用栅偏置。

关键词： VDMOS 总剂量电离辐照功率MOSFET

基于分层结构参数变化的地球自由振荡简正模研究

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地球物理学报 2010年第4期53卷 815-824页

作者：杨兆孙和平雷湘鄂陈晓东中国科学院测量与地球物理研究所武汉430077 中国科学院动力大地测量学重点实验室武汉430077 中国科学院研究生院北京100049 中国科学院研究生院北京100049

大地震激发导致的地球自由振荡可为获得地球深部结构提供重要手段,通过理论计算自由振荡简正模的本征周期,并与实测结果进行比较,可为地球深内部结构和新地球模型的研究提供有效约束.采用微分方程数值积分技术和G-D1066A地球模型,本文... 详细信息

大地震激发导致的地球自由振荡可为获得地球深部结构提供重要手段,通过理论计算自由振荡简正模的本征周期,并与实测结果进行比较,可为地球深内部结构和新地球模型的研究提供有效约束.采用微分方程数值积分技术和G-D1066A地球模型,本文计算了0～48阶的187个球型自由振荡简正模的本征周期,将计算结果与Gilbertt和Dziewonski等3组模型理论结果及Ness等4组观测结果进行比较,相对偏差在0.3%以内.分析说明由于考虑了地幔、外核和内核等不同分层密度和拉梅参数变化的影响,获得了较高精度的地球自由振荡简正模周期.本文提供的理论计算结果可为修正真实地球内部参数提供有效参考.

关键词：地球球型自由振荡数值积分法 G-D1066A模型地球深部结构

用于有损信息压缩的可加密Block-LDGM码设计

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华中科技大学学报（自然科学版） 2014年第8期42卷 74-78页

作者：管武梁利平吴凯中国科学院微电子研究所北京100029

设计了一种可用于加密的块结构低密度生成矩阵Block-LDGM码.该码的生成矩阵由一组交织子矩阵组成,且这些交织子矩阵可以用二次交织多项式来描述.以这些二次交织多项式的系数作为密钥,可实现对交织子矩阵的随机化,从而实现对Block-LDGM... 详细信息

设计了一种可用于加密的块结构低密度生成矩阵Block-LDGM码.该码的生成矩阵由一组交织子矩阵组成,且这些交织子矩阵可以用二次交织多项式来描述.以这些二次交织多项式的系数作为密钥,可实现对交织子矩阵的随机化,从而实现对Block-LDGM码的加密.基于三分图,提出多边缘置信度传播算法和滤波衰减消解方法,实现基于Block-LDGM码的低复杂度信息压缩编码.仿真结果表明:设计的可加密BlockLDGM码,具有近香农限的压缩性能,同时具有较高的保密能力.

关键词：有损信息压缩低密度生成矩阵码二次交织多项式密钥传播算法

10 Gbit/s×4小型可插拔并行光收发模块的研制

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光电子．激光 2011年第8期22卷 1166-1170页

作者：高巍万里兮刘丰满李志华李宝霞李君宋见相海飞钟寒梅中国科学院微电子研究所北京100029

研制了一款基于系统级封装技术的低成本、收发一体和可带电热插拔的4通道小型可插拔(QSFP)光模块,采用850nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列及其驱动器作为发射端,光电探测器(PD)阵列及其跨阻放大器(TIA)作为接收端,通过光路无源对准,实... 详细信息

研制了一款基于系统级封装技术的低成本、收发一体和可带电热插拔的4通道小型可插拔(QSFP)光模块,采用850nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列及其驱动器作为发射端,光电探测器(PD)阵列及其跨阻放大器(TIA)作为接收端,通过光路无源对准,实现了低成本光互连。高速度、高密度封装下的瞬态同步开关噪声、芯片间电磁干扰、通道间串扰和反射等电学问题是实现模块的电性能的难点;基于埋入技术的新型滤波器使用实现了封装尺寸小型化,且改善了电源完整性(PI);基于电磁场、传输线理论的信号完整性(SI)设计减小了通道间串扰,且通过补偿阻抗不连续结构增加了通道带宽。模块背靠背眼图测试结果表明,单通道10Gbps速率下传输零误码。

关键词：光纤通信光收发模块高速数字设计电源完整性(PI) 信号完整性(SI)

一种高速自适应Reed-Solomon译码结构及其VLSI优化实现

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电子与信息学报 2009年第2期31卷 484-488页

作者：邱昕张浩亓中瑞刘壹陈杰中国科学院微电子研究所北京100029

该文给出了一种自适应Reed-Solomon(RS)译码器结构。该结构可以自适应地处理长度变化的截短码编码数据块,适合于高速译码处理。该结构使译码处理不受数据块间隙长短的约束,既可以处理独立的编码数据块也可以处理连续发送的编码数据块。... 详细信息

该文给出了一种自适应Reed-Solomon(RS)译码器结构。该结构可以自适应地处理长度变化的截短码编码数据块,适合于高速译码处理。该结构使译码处理不受数据块间隙长短的约束,既可以处理独立的编码数据块也可以处理连续发送的编码数据块。另外本译码器结构可以保证输出数据块间隔信息的完整性,满足无线通信和以太网中特殊业务的要求。本文还基于该结构对RS(255,239)译码器予以实现,该译码器经过Synopsys综合工具综合并用TSMC 0.18μm CMOS工艺实现,测试结果验证了该译码器的自适应功能和译码正确性,其端口处理速率可达1.6Gb/s。

关键词： Reed-Solomon 译码器自适应译码 VLSI实现