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基于强流离子源的离子束溅射镀膜设备均匀性优化

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物理学报 2024年第5期73卷 325-333页

作者：李桑丫张艾霖 †徐欣吕涛王世康罗箐中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230029 中国科学技术大学核探测与核电子学国家重点实验室合肥230031 中国科学技术大学核科学技术学院合肥230026

随着高端光学器件镀膜的发展,其多样性溅射镀膜需求对离子束流流强、均匀度和可调性提出了更高的要求.对于新一代离子束溅射镀膜机来说,如何在不同离子比、不同流强的束流下保持足够的均匀度,成为了溅射镀膜设备的一大难题.本文提出了... 详细信息

随着高端光学器件镀膜的发展,其多样性溅射镀膜需求对离子束流流强、均匀度和可调性提出了更高的要求.对于新一代离子束溅射镀膜机来说,如何在不同离子比、不同流强的束流下保持足够的均匀度,成为了溅射镀膜设备的一大难题.本文提出了一种基于三电极引出系统的优化模拟方法,模拟和优化了离子源的引出系统,研究了等离子体电极、抑制电极、引出电极的形状、角度、距离对离子束引出性能的影响.同时,重点研究了离子比对束流引出的影响.该模型可以指导科研工作者根据离子源的状态和应用需求,对三电极引出系统的角度、距离和形状进行系统优化并找出最优解.最后,本文还给出了一种方法对混合离子束的溅射深度进行了估算.

关键词：溅射沉积镀膜引出系统自动优化束流引出模拟

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等离子体刻蚀建模中的电子碰撞截面数据

物理学报 2024年第9期73卷 1-25页

作者：陈锦峰朱林繁中国科学技术大学近代物理系合肥230026

半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工... 详细信息

半导体芯片是信息时代的基石,诸如大数据、机器学习、人工智能等新兴技术领域的快速发展离不开源自芯片层面的算力支撑.在越来越高的算力需求驱动下,芯片工艺不断追求更高的集成度与更小的器件体积.作为芯片制造工序的关键环节,刻蚀工艺因此面临巨大的挑战.基于低温等离子体处理技术的干法刻蚀工艺是高精细电路图案刻蚀的首选方案,借助等离子体仿真模拟,人们已经能够在很大程度上缩小实验探索的范围,在海量的参数中找到最优工艺条件.电子碰撞截面是等离子体刻蚀模型的关键输入参数,深刻影响着模型预测结果的可靠性.本文主要介绍了低温等离子体建模的基本理论,重点强调电子碰撞截面数据在数值模拟中的重要作用.与此同时,本文概述了获取刻蚀气体截面数据的理论与实验方法.最后总结了刻蚀相关原子分子的电子碰撞截面研究现状,并展望了未来的研究前景.

关键词：电子碰撞截面干法刻蚀低温等离子体等离子体建模

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小倾角对Ω形弯曲热管传热特性的影响

北京航空航天大学学报 2024年第7期50卷 2314-2321页

作者：王卓潘宇晖赵锐年永乐程文龙中国科学技术大学工程科学学院合肥230027

为研究小倾角对Ω形槽道弯曲热管传热特性的影响,搭建了热管传热性能实验台,基于实验对不同小倾角下热管的温度分布、总热阻、当量导热系数和最大输入功率进行分析。结果表明:在相同输入功率下,倾角为0°和倾角为负的热管壁温均匀性优... 详细信息

为研究小倾角对Ω形槽道弯曲热管传热特性的影响,搭建了热管传热性能实验台,基于实验对不同小倾角下热管的温度分布、总热阻、当量导热系数和最大输入功率进行分析。结果表明:在相同输入功率下,倾角为0°和倾角为负的热管壁温均匀性优于倾角为正的热管;倾角为正的热管总热阻最大,倾角为0°和倾角为负的热管总热阻相近;热管倾角为0°时的最大输入功率最高。热管安装和应用中易出现重力倾角偏差,研究结果表明,较小倾角会对Ω形槽道弯曲热管的传热性能造成影响。

关键词：热管传热小倾角热阻当量导热系数最大输入功率

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特征互斥化的目标检测域适应方法

计算机工程与应用 2024年第10期60卷 198-208页

作者：李润泽王子磊中国科学技术大学合肥230027

当前,蒸馏学习已成为目标检测无监督域适应领域中的一种常用技术手段。然而蒸馏带来的特征偏移会导致目标域上伪标签的准确性较低,不利于目标域的精确检测。因此提出特征互斥化方法,包括特征分布互斥化和特征属性互斥化。其中特征分布... 详细信息

当前,蒸馏学习已成为目标检测无监督域适应领域中的一种常用技术手段。然而蒸馏带来的特征偏移会导致目标域上伪标签的准确性较低,不利于目标域的精确检测。因此提出特征互斥化方法,包括特征分布互斥化和特征属性互斥化。其中特征分布互斥化鼓励网络对不同类别的特征分布进行互斥,特征属性互斥化促使分类器对不同类别主要使用的属性进行互斥。还提出强弱增强一致性方法对网络的预测输出进行一致性约束,促使网络提取的特征中主要包含与目标域检测相关的属性,进一步提高特征互斥化方法的效果。所提方法在多个域适应场景上进行了广泛的实验,在相同实验设置下的结果表明,所提方法较其他先进方法具有更好的有效性。

关键词：目标检测无监督域适应蒸馏学习计算机视觉

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区块链隐私众包中的数据验证与可控匿名方案

电子与信息学报 2024年第2期46卷 748-756页

作者：薛开平范茂王峰罗昕怡中国科学技术大学网络空间安全学院合肥230027 中国科学技术大学网络信息中心合肥230026

针对隐私众包场景下出现的数据验证、匿名作恶检测和跨平台资源交互等需求,该文基于区块链技术,并结合零知识证明与环签名技术,提出一种联盟链架构下的隐私众包方案。该方案依靠零知识证明实现对加密数据的验证,依靠链接可撤销环签名改... 详细信息

针对隐私众包场景下出现的数据验证、匿名作恶检测和跨平台资源交互等需求,该文基于区块链技术,并结合零知识证明与环签名技术,提出一种联盟链架构下的隐私众包方案。该方案依靠零知识证明实现对加密数据的验证,依靠链接可撤销环签名改进方案实现工人身份的可控匿名,引入联盟链架构实现众包实体之间的资源交互。在完成众包完整流程的同时,实现隐私众包所需的数据保护与身份保护。安全性分析表明,该方案具有隐私性、可验证性、可控匿名性与公平性。实验结果验证了方案在效率与性能方面的有效性。

关键词：区块链众包隐私保护环签名零知识证明

数据驱动的高校食堂智慧报修小程序设计与应用——以中国科学技术大学为例

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现代食品 2024年第11期30卷 45-50页

作者：何磊洪军王杰王磊彭政中国科学技术大学饮食服务集团安徽合肥230026 中国科学技术大学蜀山食品安全工作站安徽合肥230026

随着科技的快速发展和社会的不断进步,高校食堂硬件设施不断增多,电话报修的矛盾日益凸显,难以满足日益增长的管理需求,迫切需要做好数字化转型。中国科学技术大学聚焦高校食堂场景的智慧报修小程序开发及应用过程,探讨如何实现维修工... 详细信息

随着科技的快速发展和社会的不断进步,高校食堂硬件设施不断增多,电话报修的矛盾日益凸显,难以满足日益增长的管理需求,迫切需要做好数字化转型。中国科学技术大学聚焦高校食堂场景的智慧报修小程序开发及应用过程,探讨如何实现维修工作的数据化、流程化、集约化和科学化管理,旨在为高校饮食服务管理者提供智慧报修小程序搭建的理论指导和实践经验,推动高校饮食服务管理的发展。

关键词：高校食堂智慧餐饮报修系统小程序

碱金属阳离子在外加电位下影响单分散铜氮掺杂碳材料催化二氧化碳电还原的机理研究

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Chinese Journal of Chemical Physics 2024年第1期37卷 100-108,I0093-I0102,I0118页

作者：赵刚张国桢中国科学技术大学化学与材料科学学院合肥230026 中国科学技术大学未来技术学院合肥230026 中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家研究中心合肥230026

单分散铜氮掺杂碳材料是一类很有希望的二氧化碳电还原催化剂.然而,铜位点周围电极-电解质界面的复杂环境阻碍了人们对该体系机理的全面认识以及在机理基础上的系统性优化.本文建立了一个电双层模型来研究在有外加电位条件下碱金属阳离... 详细信息

单分散铜氮掺杂碳材料是一类很有希望的二氧化碳电还原催化剂.然而,铜位点周围电极-电解质界面的复杂环境阻碍了人们对该体系机理的全面认识以及在机理基础上的系统性优化.本文建立了一个电双层模型来研究在有外加电位条件下碱金属阳离子对单分散铜氮掺杂碳催化剂表面二氧化碳电还原的影响.巨正则系综密度泛函理论计算表明,在相对标准氢电极电势1.2 V的条件下,水合钠离子促进了CO_(2)在Cu位点上的电吸附,使其形成弯曲的二氧化碳负离子;而在足够负的电势条件下,CO_(2)的电吸附(Cu+CO_(2)+e-→Cu-CO_(2)-)而非羧基形成步骤,是钠离子协助下CO_(2)还原为CO反应的决速步.此外,铜与带负电的羧基结合形成类似碳酸氢根的结构,或得益于单价Cu的d10电子构型.研究表明,碱金属阳离子在单分散铜氮掺杂碳上二氧化碳电还原的早期阶段发挥了关键作用,而且恒电势条件的模拟对理解反应机理非常重要.

关键词：阳离子效应二氧化碳电还原恒电势方法第一性原理计算

基于Transformer的宫颈异常细胞自动识别方法

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中国激光 2024年第3期51卷 85-95页

作者：张峥陈明销李新宇程逸申书伟姚鹏中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系安徽合肥230027 中国科学技术大学苏州高等研究院江苏苏州215123 中国科学技术大学微电子学院安徽合肥230027

宫颈异常细胞与正常细胞在形态上存在较大相似性且细胞尺寸变化较大,这使得宫颈异常细胞的精准检测变得非常困难。鉴于此,开发了一种基于Transformer模型的宫颈异常细胞自动识别模型,以帮助病理学家作出更准确的诊断。提出了两种创新性... 详细信息

宫颈异常细胞与正常细胞在形态上存在较大相似性且细胞尺寸变化较大,这使得宫颈异常细胞的精准检测变得非常困难。鉴于此,开发了一种基于Transformer模型的宫颈异常细胞自动识别模型,以帮助病理学家作出更准确的诊断。提出了两种创新性方法,一是一种改进的Transformer编码器结构,通过引入深度(DW)卷积来高效获取图像的特征,捕捉图像中的全局依赖信息;二是自适应的动态交并比(IOU)阈值,在模型训练的不同阶段使用不同的IOU阈值,实现尽可能多的有效检测,提升模型的收敛速度和检测精度。在宫颈异常细胞数据集上,通过消融实验,证明了改进的Transformer编码器和动态IOU阈值的有效性。此外,与已有的宫颈异常细胞识别方法相比,所提出的方法在平均精度指标上有明显的提高。实验结果表明,所提出的方法能够高效且准确地识别宫颈异常细胞,且能辅助病理专家提高诊断准确率和效率,具有应用到临床的潜力。

关键词：医用光学宫颈细胞病理图像目标检测医学图像处理

n比特随机量子系统实时状态估计及其反馈控制

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自动化学报 2024年第1期50卷 42-53页

作者：张骄阳丛爽匡森中国科学技术大学自动化系合肥230027

研究了n比特随机量子系统实时状态估计及其反馈控制的问题.对于连续弱测量(Continuous weak measurement, CWM)过程存在高斯噪声的情况,基于在线交替方向乘子法(Online alternating direction multiplier method,OADM)推导出一种适用于... 详细信息

研究了n比特随机量子系统实时状态估计及其反馈控制的问题.对于连续弱测量(Continuous weak measurement, CWM)过程存在高斯噪声的情况,基于在线交替方向乘子法(Online alternating direction multiplier method,OADM)推导出一种适用于n比特随机量子系统的实时量子状态估计算法,即QSE-OADM (Quantum state estimation based on OADM).运用李雅普诺夫方法设计控制律,实现基于实时量子状态估计的反馈控制,并证明所提控制律的收敛性.以2比特随机量子系统为例进行数值仿真实验,通过与基于QST-OADM (Quantum state tomography based on OADM)算法和OPG-ADMM (Online proximal gradient-based alternating direction method of multipliers)算法的量子反馈控制方案的性能对比,验证了所提控制方案的优越性.

关键词：随机量子系统量子反馈控制在线交替方向乘子法李雅普诺夫控制方法

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