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碳化硅化学机械抛光中材料去除非均匀性研究进展

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人工晶体学报 2024年第4期53卷 585-599页

作者：孙兴汉李纪虎张伟曾群锋张俊锋中电建(西安)港航船舶科技有限公司西安710100 西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室西安710049 上海船舶设备研究所上海200031

化学机械抛光已经成为半导体制造中关键的工艺步骤之一,该技术是目前实现碳化硅晶片超精密加工的一种常用且有效的方法,可用于加工晶片表面,以获得高材料去除率、高表面质量和高表面平整性的晶片。然而,在碳化硅晶片化学机械抛光中,晶... 详细信息

化学机械抛光已经成为半导体制造中关键的工艺步骤之一,该技术是目前实现碳化硅晶片超精密加工的一种常用且有效的方法,可用于加工晶片表面,以获得高材料去除率、高表面质量和高表面平整性的晶片。然而,在碳化硅晶片化学机械抛光中,晶片表面材料去除非均匀性一直是一个具有挑战性的问题,减小晶片表面材料去除非均匀性对确保半导体器件的高性能和稳定性至关重要。本文介绍了碳化硅材料的性质及应用与化学机械抛光工艺,研究了不同碳化硅化学机械抛光技术的材料去除机理、不同化学机械抛光技术的发展状况和性能及优缺点,综述了碳化硅晶片化学机械抛光中材料去除非均匀性影响因素,如:抛光压力、抛光液(磨粒)和转速等因素,最后对未来碳化硅化学机械抛光中材料去除非均匀性研究做出了展望。

关键词：碳化硅化学机械抛光材料去除抛光压力抛光液抛光垫

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2A12-T4铝合金自冲摩擦铆焊接头力学行为研究

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航空学报 2022年第2期43卷 121-131页

作者：杨炳鑫马运五山河杨天豪孙靖李永兵上海交通大学机械与动力工程学院上海200240 上海航天设备制造总厂有限公司上海200245

针对干涉配合铆接中预制孔工序带来的连接效率等问题,采用自冲摩擦铆焊(F-SPR)工艺,通过半空心铆钉高速旋转产生摩擦热软化铝合金,在无预制孔条件下获得机械-固相复合连接接头。根据接头成形质量确定F-SPR工艺合适的转换深度,分析了典... 详细信息

针对干涉配合铆接中预制孔工序带来的连接效率等问题,采用自冲摩擦铆焊(F-SPR)工艺,通过半空心铆钉高速旋转产生摩擦热软化铝合金,在无预制孔条件下获得机械-固相复合连接接头。根据接头成形质量确定F-SPR工艺合适的转换深度,分析了典型接头的微观组织特征,研究了进给速度对接头宏观形貌、硬度分布及力学性能的影响规律。试验结果表明,转换深度为3.5 mm时可消除多余物、间隙、张开不足及裂纹等缺陷,实现铆钉与板材紧密连接;进给速度主要通过影响接头中母材硬度,进而影响接头拉剪及正拉力学行为。F-SPR工艺接头的拉剪强度约为2A12-T4铝合金母材抗拉强度的80%,相比于电磁铆接及自动压铆工艺具有较大优势。

关键词：自冲摩擦铆焊机械-固相复合连接 2A12铝合金力学性能拉剪十字拉伸

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注重实践,培养能力,教学科研,互相促进

高等工程教育研究 1990年第1期 73-74+80页

作者：洪迈生沈德和蒋锡藩上海交通大学机械制造工艺及设备专业上海交通大学机械工程系副系上海交通大学柔性制造系统研究室主任、副教授主任、教授

为了培养思想政治素质良好、基础知识雄厚、基本技能扎实、解决问题的能力完备的社会主义建设人才,10年来,我们以“能力—实践”、“科研—教学”为主题进行教学改革,做了大量工作,取得了一定成效。现将我们的体会整理成文,希望广大同... 详细信息

为了培养思想政治素质良好、基础知识雄厚、基本技能扎实、解决问题的能力完备的社会主义建设人才,10年来,我们以“能力—实践”、“科研—教学”为主题进行教学改革,做了大量工作,取得了一定成效。现将我们的体会整理成文,希望广大同行不吝赐教。一、突出能力培养,确保基础教育,加强实践环节。教学改革是一项系统工程,它不仅要求总的目标明确,而且各项具体改革措施也要协调配套,服从总体目标的统一需要。

关键词：互相促进实践环节教学改革教育改革实验课课堂教学班级授课制教学方式专题设计学时生产实习认识实习学科前沿金工教学毕业设计(论文)

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基于线段拓扑关系的轮廓偏置算法

中国机械工程 2023年第20期34卷 2489-2495页

作者：胡平山丁浩亮冯漾漾严波上海交通大学材料科学与工程学院上海200030 航天材料及工艺研究所北京100076

已有的偏置算法大多限于简单图形,远远达不到真实的增材制造零件的复杂结构要求,因此提出一种基于线段拓扑的轮廓偏置框架。研究了偏置异常的种类和形成机理,提出线段重合、(自)相交、成环、环反向、环失效等多环处理算法,实现了对复杂... 详细信息

已有的偏置算法大多限于简单图形,远远达不到真实的增材制造零件的复杂结构要求,因此提出一种基于线段拓扑的轮廓偏置框架。研究了偏置异常的种类和形成机理,提出线段重合、(自)相交、成环、环反向、环失效等多环处理算法,实现了对复杂异常的处理;探究了边界上局部尖角的形成机理和影响,提出修补式光顺算法对邻边夹角进行了优化,基本消除了奇异尖角和空洞缺陷问题,保障了算法的稳定性。使用C++语言编写算法程序,与CGAL几何图形库的偏置算法结果相比,该轮廓偏置方法计算速度更快,且规划的路径更符合加工设备的加工几何特点;与平行线扫描和分区扫描等其他扫描方式进行对比,该轮廓偏置的规划路径总长度相对较小,扫描效率综合更高。

关键词：选区激光熔化拓扑关系偏置异常尖角特征

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微锻技术增强IN718高温合金防腐性能及机理研究

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机械科学与技术 2023年

作者：冯广煜黄哲伟刘启沈彬上海交通大学机械与动力工程学院

高温合金是深海海底油气开采设备最可靠的材料之一。然而，腐蚀失效仍然是高温合金零件失效的主要原因，因此，开发高温合金表面防腐与延寿技术具有重要价值。本文提出采用微锻头对零件表面的机械冲击作用，实现IN718高温合金表面防腐... 详细信息

高温合金是深海海底油气开采设备最可靠的材料之一。然而，腐蚀失效仍然是高温合金零件失效的主要原因，因此，开发高温合金表面防腐与延寿技术具有重要价值。本文提出采用微锻头对零件表面的机械冲击作用，实现IN718高温合金表面防腐与延寿，结果表明，微锻通过降低表面粗糙度和提高表面残余压应力明显提升了合金的防腐性能；但随着微锻冲击次数的增加，合金表面防腐性能呈现明显的衰退趋势。该工艺方案具备高可控性与高灵活性，为使用微锻技术提升深海海底油气开采设备服役寿命提供了坚实的理论基础。

关键词： IN718高温合金微锻防腐性能

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欧洲材料热处理技术考察报告

金属热处理 2000年第1期 50-51页

作者：陈再良邹志良孙洪斌北京机电研究所!北京100083 上海机械制造工艺所!上海200070

中国机械工程学会热处理分会和中国热处理行业协会联合组织,由陈再良、孙洪斌、邹志良等包括研究所、高等学校和企业一行共12人组成的访欧材料热处理代表团,于1999年6月21日起共12天先后考察和访问了英国、德国和法国。代表团访问了一... 详细信息

中国机械工程学会热处理分会和中国热处理行业协会联合组织,由陈再良、孙洪斌、邹志良等包括研究所、高等学校和企业一行共12人组成的访欧材料热处理代表团,于1999年6月21日起共12天先后考察和访问了英国、德国和法国。代表团访问了一所大学和一个研究中心,2个热处理专业?..

关键词：真空炉研究所电炉离子渗氮热处理专业高压气淬感应热处理欧洲气氛炉热处理装备回火炉热处理炉中国机械工程学会企业企业管理热处理设备

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发射箱结构动力学分析与装夹方式设计

机械设计 2023年第4期40卷 112-118页

作者：黄顺舟李韵毛鑫许腾云刘玉来李鸿光上海航天设备制造总厂有限公司上海200245 上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室上海200240

发射箱在机械加工过程中受到不同频率的激励,致使结构产生机械振动,影响加工质量。为研制发射箱柔性打磨装备,文中针对某型号复合材料发射箱进行动力学分析及装夹方式设计。通过有限元法建立发射箱动力学模型,计算得到部件固有特性,并... 详细信息

发射箱在机械加工过程中受到不同频率的激励,致使结构产生机械振动,影响加工质量。为研制发射箱柔性打磨装备,文中针对某型号复合材料发射箱进行动力学分析及装夹方式设计。通过有限元法建立发射箱动力学模型,计算得到部件固有特性,并通过模态试验修正有限元模型参数。研究不同工装方式对发射箱结构刚度的影响,通过数值计算模拟工况激励下发射箱工装系统的动力学响应,为提升柔性打磨装备性能、提高加工精度提供保障。

关键词：复合材料动力学分析有限元法模态试验

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工艺知识推理使能模型及其实现技术

高技术通讯 2000年第9期10卷 77-80页

作者：刘敏潘晓弘张申生上海交通大学计算机系上海200030 浙江大学机械制造及自动化系杭州310027

重点研究支持知识推理的零件特征信息模型、知识库模型、推理机模型等模型 ,并详细建立选择毛坯、创成多条可行工艺路线、选择加工设备及工装、计算切削用量和工时定额、编制工艺文件等各类知识推理的使能方法。

关键词：知识推理使能方法创成式CAPP 零件特征信息模型工艺格线

自动化封闭式CAR-T细胞制备系统研发与实验

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机械设计与研究 2023年第5期39卷 49-54页

作者：李衍珂李祥上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室上海200240

近年来细胞治疗技术飞速发展,其中,嵌合抗原受体T细胞免疫疗法(Chimeric Antigen Receptor T Cell Immunotherapy,CAR-T)治疗恶性肿瘤潜力巨大。但细胞制备工艺十分复杂、制造成本高昂,且手动生产工艺因开放性会导致潜在污染风险和批次... 详细信息

近年来细胞治疗技术飞速发展,其中,嵌合抗原受体T细胞免疫疗法(Chimeric Antigen Receptor T Cell Immunotherapy,CAR-T)治疗恶性肿瘤潜力巨大。但细胞制备工艺十分复杂、制造成本高昂,且手动生产工艺因开放性会导致潜在污染风险和批次质量差异,急需开发全封闭、自动化的CAR-T细胞生产设备。根据CAR-T细胞制备工艺流程,开发了一套符合药品生产质量管理规范(Good Manufacturing Practice of Medical Products,GMP)的全封闭、自动化的CAR-T细胞制备与监控系统。该系统由管路模块(反应器、一次性管路、试剂袋)、机电控制模块(夹管阀、蠕动泵、电机、磁铁转位机构)和培养环境核心参数(温度、pH、CO_(2)浓度、溶解氧(Dissolved Oxygen,DO)浓度)监控模块,以及辅助系统模块构成;细胞制备过程可溯源。实验证明该系统具备T细胞分离、免疫磁珠分选、物料自动定量添加、培养环境在线监控、细胞收集等功能。

关键词： CAR-T 自动化封闭式细胞治疗