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一种基于IC电路设计的多次图形化方法

半导体技术 2024年第8期49卷 713-718页

作者：王雷张顾斌张雪上海华虹宏力半导体制造有限公司上海201203

集成电路光刻工艺中的多次图形化技术在版图拆分时着重强化图形分辨率,而非考虑电路复杂程度带来的图形复杂度和拆分难度,拆分后的版图依然包含多个电路设计单元,具有多种复杂结构,不利于光刻条件的进一步优化。以存储器为例,提出了一... 详细信息

集成电路光刻工艺中的多次图形化技术在版图拆分时着重强化图形分辨率,而非考虑电路复杂程度带来的图形复杂度和拆分难度,拆分后的版图依然包含多个电路设计单元,具有多种复杂结构,不利于光刻条件的进一步优化。以存储器为例,提出了一种基于电路设计的多次图形化方法,根据电路功能单元或器件工作电压对设计版图进行识别分组。将版图进行重新布局拆分,使拆分后图形具备类似的空间周期和图形特征,克服了传统光刻工艺需要兼顾各种图形带来的缺陷。对图形结构空间周期进行全周期优化和最大化优化,降低了对光刻设备的依赖程度,为多次图形化技术提供了一种新的思路和可行性方案。

关键词：多次图形化版图拆分存储器光罩工艺窗口光学临近效应修正(OPC)

在VLSI制造中基于辅助图形的灰度光刻形成三维结构

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半导体技术 2024年第9期49卷 832-837页

作者：王雷张雪王辉上海华虹宏力半导体制造有限公司上海201203

半导体器件从单一的二维尺度微缩转向更复杂的三维物理结构,而其传统的制造方法与以硅基逻辑或存储器为主的超大规模集成电路(VLSI)制造工艺的兼容性越来越差。灰度光刻是一种实现三维结构的可行技术方案,但因物理尺寸受限和大规模制造... 详细信息

半导体器件从单一的二维尺度微缩转向更复杂的三维物理结构,而其传统的制造方法与以硅基逻辑或存储器为主的超大规模集成电路(VLSI)制造工艺的兼容性越来越差。灰度光刻是一种实现三维结构的可行技术方案,但因物理尺寸受限和大规模制造成本过高,无法被直接应用于超大规模集成电路制造。提出了一种基于辅助图形的灰度光刻技术,通过辅助图形而非传统灰度光刻调整光源或透过介质的方法来调整光强分布,并结合光刻胶筛选方法,实现了仅通过调整单一光刻工艺模块,就使现有超大规模集成电路制造工艺生产线可低成本地兼容三维结构器件制造。制作了三维结构的微电子机械系统(MEMS)运动传感器,从而验证了所提出工艺的可行性。

关键词：超越摩尔定律超大规模集成电路(VLSI)制造灰度光刻辅助图形微电子机械系统(MEMS) 分立器件

激光清洗工艺对航空铝合金组织及疲劳性能的影响研究

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中国激光 2024年第16期 98-107页

作者：程程余玮琛丁瑶邱太文富双超唐云洋中国商飞上海飞机制造有限公司航空制造技术研究所中国商飞上海飞机制造有限公司计量测试中心

采用脉冲激光器，开展了航空铝合金表面漆层去除试验，通过外观检查、光学显微镜（OM）、扫描电镜（SEM）、原位温度检测、力学性能检测和高周疲劳试验，研究了激光清洗工艺对航空铝合金组织、力学及疲劳性能的影响规律。结果表明：当... 详细信息

采用脉冲激光器，开展了航空铝合金表面漆层去除试验，通过外观检查、光学显微镜（OM）、扫描电镜（SEM）、原位温度检测、力学性能检测和高周疲劳试验，研究了激光清洗工艺对航空铝合金组织、力学及疲劳性能的影响规律。结果表明：当激光功率和脉冲频率分别为80 W和100 kHz时，可去除铝合金表面环氧底漆涂层，但试样表面仍有漆层残余。当激光功率和脉冲频率分别达到500 W和500 kHz时，表面温度最高不超过115℃，未观察到明显的热影响区，材料表面10μm深度范围内的组织出现部分烧蚀和熔化现象。激光清洗后，材料的硬度增加，并且随着激光功率、频率、能量密度的增加，硬度增幅逐渐减小。拉伸性能结果显示，激光清洗后的试样抗拉强度、屈服强度和延伸率较空白试样均略微下降。高周疲劳试验结果表明，与空白试样相比，激光清洗后的带漆试样的疲劳性能下降11.76%，这主要是激光清洗造成了表面粗糙度增加。经阳极氧化和喷漆处理后，激光清洗去漆不会进一步增加阳极氧化造成的疲劳损伤。

关键词：激光技术激光清洗航空铝合金热影响区力学性能疲劳性能

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弱刚性构件双机器人协同加工振动抑制方法

振动．测试与诊断 2024年第1期44卷 147-152,203页

作者：崔光裕李波乐毅田威廖文和李明伟南京航空航天大学机电学院南京210016 上海宇航系统工程研究所上海201109 北京卫星制造厂有限公司北京100094

针对弱刚性航天器舱体壁板多任务并行加工的振动抑制需求,研究了弱刚性构件在切削激励作用下的振动产生、传播与耦合机理,提出了基于双加工激励相位差控制的弱刚性构件双机器人协同加工振动抑制方法,并以薄壁舱体壁板为对象进行了仿真... 详细信息

针对弱刚性航天器舱体壁板多任务并行加工的振动抑制需求,研究了弱刚性构件在切削激励作用下的振动产生、传播与耦合机理,提出了基于双加工激励相位差控制的弱刚性构件双机器人协同加工振动抑制方法,并以薄壁舱体壁板为对象进行了仿真与试验研究。结果表明,该方法能够有效实现振动抑制,验证了其正确性与有效性,为多机器人协同原位加工的复杂振动抑制难题提供了一种新思路。

关键词：振动抑制双机器人相位差弱刚性构件协同加工

适配变压器全档位切换暂态分析的有载分接开关电路模型构建

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高电压技术 2024年第2期50卷 478-488页

作者：司马文霞王大森杨鸣李刚厉璇杨建琴输配电装备及系统安全与新技术国家重点实验室(重庆大学) 中国电力科学研究院有限公司国网经济技术研究院有限公司上海华明电力设备制造有限公司

有载分接开关(on-load tap-changer,OLTC)是换流变压器的核心组件，其可靠切换过程关乎换流变的安全。然而目前国内在运特高压换流变用OLTC完全依赖进口，仿真获取OLTC不同运行状态的暂态特性数据是支撑OLTC关键电气参数设计与国产化制... 详细信息

有载分接开关(on-load tap-changer,OLTC)是换流变压器的核心组件，其可靠切换过程关乎换流变的安全。然而目前国内在运特高压换流变用OLTC完全依赖进口，仿真获取OLTC不同运行状态的暂态特性数据是支撑OLTC关键电气参数设计与国产化制造的基础。经典的OLTC模型仅改变变压器变比或仅模拟单级档位切换过程，难以满足全档位电压调整与各级档位暂态特性数据同步获取的需求，导致OLTC设计优化、参数选型及故障分析缺乏足够的仿真数据支持。该文首先以真空OLTC为研究对象建立切换开关和极性开关等效电路模型，根据OLTC复杂的调压功能建立分层控制系统。其次，在PSCAD中搭建交流仿真系统，获取有载调压过程的暂态特性数据波形，与解析计算得到的电压和电流相比误差小于0.2%，证明该模型满足OLTC电磁暂态仿真研究的精度要求。最后，开展循环调压仿真，获得负载电压数据与波形。结果表明：该文提出的OLTC模型能够接收外部控制信号，进行全档位调压与极性转换仿真分析，能够为OLTC的调压研究、故障溯源分析和过渡电阻设计选型等提供基础模型。

关键词：有载分接开关极性开关切换开关恢复电压承载电流

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静液驱动履带车辆模型辨识与运动控制

北京理工大学学报 2024年

作者：陈漫李岩马彪谭赟璐张存振王浩东北京理工大学机械与车辆学院上海航天设备制造总厂有限公司

为提高静液驱动履带车辆行驶控制的性能，利用理论模型与辨识模型相结合的方法，得到静液驱动系统模型；搭建了以马达转速为输出、车速和相对转向半径为输入的车辆运动学模型；选择基于马达转速调节的控制策略，利用粒子群优化算法得到... 详细信息

为提高静液驱动履带车辆行驶控制的性能，利用理论模型与辨识模型相结合的方法，得到静液驱动系统模型；搭建了以马达转速为输出、车速和相对转向半径为输入的车辆运动学模型；选择基于马达转速调节的控制策略，利用粒子群优化算法得到模糊PID控制器的优化参数以搭建控制器.仿真结果以及车辆空载实验结果表明：算法可以有效地控制车辆完成目标直行、转向等操作，高效实现操作者驾驶意图，与传统PID相比，响应快，超调量小，适应性与实时性强.

关键词：静液驱动履带车辆系统辨识粒子群算法模糊PID

故障安全型可编程序控制器在横剪线改造中的应用

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机械制造 2024年第1期62卷 97-102页

作者：赵杰上海日立能源电力变压器有限公司上海201206

原铁芯片横剪线未配置保护操作人员的安全装置,在操作过程中存在较大安全隐患。对此,在横剪线改造中应用西门子S7-300故障安全型可编程序控制器,并设计了报警监控系统。介绍了改造方案,分析了故障安全型可编程序控制器的特点,并设计了... 详细信息

原铁芯片横剪线未配置保护操作人员的安全装置,在操作过程中存在较大安全隐患。对此,在横剪线改造中应用西门子S7-300故障安全型可编程序控制器,并设计了报警监控系统。介绍了改造方案,分析了故障安全型可编程序控制器的特点,并设计了可编程序控制器程序。改造完成后,很好保证了操作者的安全,提高了横剪线的生产效率。

关键词：横剪线可编程序控制器改造应用

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导弹储运包装箱低功耗智能监控设备设计

集成电路与嵌入式系统 2024年第7期24卷 73-79页

作者：雷斯聪李一蒋佳茗孔袁莉丁陶伟上海航天设备制造总厂有限公司上海200245

设计了一套低功耗智能监控设备,用于对导弹储运包装箱箱内环境参数进行智能化监控。以ST低功耗芯片STM8L152C8T6为处理器,依托MEMS传感器对导弹储运包装箱箱内的气压、温度、湿度以及振动冲击等关键参数进行监测,并对箱内产品的生产、... 详细信息

设计了一套低功耗智能监控设备,用于对导弹储运包装箱箱内环境参数进行智能化监控。以ST低功耗芯片STM8L152C8T6为处理器,依托MEMS传感器对导弹储运包装箱箱内的气压、温度、湿度以及振动冲击等关键参数进行监测,并对箱内产品的生产、服务、运输等履历信息进行记录,通过多种通信方式实现数据和监控指令的实时传输。同时,采用低功耗软硬件设计思路实现设备超低功耗运行。实验结果表明,智能监控设备可实现长距离运输、恶劣存储环境下的储运包装箱箱内环境参数的全自动实时监控,通过智能监控设备构成的区域局域网节点间通信距离大于200 m,单次使用寿命大于1年。

关键词：导弹储运包装箱智能监控 STM8L152C8T6 MEMS传感器 DS3231

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分布式配电综合显示控制系统设计

现代电子技术 2024年第10期47卷 64-68页

作者：周帅黄凯俊文珊珊崔国宠周佩华上海航天设备制造总厂有限公司上海200245 上海航天工艺与装备工程技术研究中心上海200245

为了提高特种战车配电控制系统智能化控制能力和故障诊断能力,同时满足实时性的要求,设计一套基于STM32单片机的嵌入式配电显示控制系统。该显示系统以STM32F217芯片为核心,通过合理的模块化设计,实现了分布式多节点配电设备的控制和实... 详细信息

为了提高特种战车配电控制系统智能化控制能力和故障诊断能力,同时满足实时性的要求,设计一套基于STM32单片机的嵌入式配电显示控制系统。该显示系统以STM32F217芯片为核心,通过合理的模块化设计,实现了分布式多节点配电设备的控制和实时监控功能。通过测试证明,所设计系统具有操作简单、易扩展、实时性强等特点,能够满足特种车辆配电系统的使用要求。

关键词：分布式配电显示控制系统 STM32 特种战车配电系统控制器局域网