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  • 1 篇 lu huanming

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INFLUENCE OF NITROGEN ON THERMAL WARPAGE IN CZOCHRALSKI SILICON WAFERS
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中国有色金属学会会刊：英文版 1999年 第2期9卷 148-150页
作者： Lu, Huanming Zhejiang Univ Hangzhou China
１ＩＮＴＲＯＤＵＣＴＩＯＮＦｏｒｍａｎｙｙｅａｒｓ，ｗａｒｐａｇｅｏｆｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｈａｓｂｅｅｎｃｏｎｃｅｒｎｅｄｉｎｖｅｒｙｌａｒｇｅｓｃａｌｅｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ（ＶＬＳＩ）ｍａｎｕ... 详细信息
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