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Electrothermal Driving Microcantilever Resonator as a Platform for Chemical Gas Sensing

Tsinghua Science and Technology 2010年第5期15卷 481-488页

作者：董瑛高伟郑义尤政 Department of Precision Instruments and Mechanology Tsinghua University State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments Tsinghua University

In the current research,the use of a micromachined cantilever resonator as a platform for chemical gas sensing was *** microcantilever resonator integrates an electrothermal driving unit and a piezoresistive detecting unit,and it is fabricated by direct bonding a silicon-on-insulator（SOI） *** a particular polymer layer coated on the surface of the microcantilever,a gas sensor for volatile organic components（VOCs） detection can be *** operation mechanism provides the microcantilever resonator with integrated circuit（IC） compatibility in terms of both the fabrication process and operating *** configuration of the microcantilever resonator can optimize the performance of the gas *** SOI wafer provides a solution for the integrated fabrication of the microstructure,transducers,electronics,and the precise control of the resonator *** this paper,the principles,design,analysis,process,and demonstration of the gas sensor based on the microcantilever resonator are *** experimental results provide confirmation that the polymer-coated microcantilever resonator has excellent performance with regard to VOC detection.

关键词： microcantilever resonator gas sensor electrothermal driving volatile organic component

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