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ultrafast z-scanning for high-efficiency laser micro-machining

Light(Science & Applications) 2018年第1期7卷 1094-1102页

作者： Ting-Hsuan Chen Romain Fardel Craig B Arnold Department of Mechanical and Aerospace Engineering and Princeton Institute for the Science and Technology of MaterialsPrinceton UniversityPrincetonNJ 08544USA

High-throughput laser micro-machining demands precise control of the laser beam position to achieve optimal efficiency,but existing methods can be both time-consuming and *** this paper,we demonstrate a new high-throughput micromachining technique based on rapidly scanning the laser focal point along the optical axis using an acoustically driven variable focal length *** results show that this scanning method enables higher machining rates over a range of defocus distances and that the effect becomes more significant as the laser energy is *** a specific example of silicon,we achieve a nearly threefold increase in the machining rate,while maintaining sharp side walls and a small spot *** method has great potential for improving the micro-machining efficiency of conventional systems and also opens the door to applying laser machining to workpieces with uneven topography that have been traditionally difficult to process.

关键词： high-efficiency micro-machining laser material processing TAG lens ultrafast z-scanning

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