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Periodic transparent nanowires in ITO film fabricated via femtosecond laser direct writing

Opto-Electronic Science 2023年第1期2卷 11-22页

作者： Qilin Jiang Long Chen Jukun Liu Yuchan Zhang Shian Zhang Donghai Feng Tianqing Jia Peng Zhou Qian Wang Zhenrong Sun Hongxing Xu State Key Laboratory of Precision Spectroscopy School of Physics and Electronic ScienceEast China Normal UniversityShanghai 200062China Huawei Technologies Co Ltd.Bantian Longgang DistrictShenzhen 518129China Collaborative Innovation Center of Extreme Optics Shanxi UniversityTaiyuan 030006China

This paper reports the fabrication of regular large-area laser-induced periodic surface structures(LIPSSs)in indium tin oxide(ITO)films via femtosecond laser direct writing focused by a cylindrical *** regular LIPSSs exhibited good properties as nanowires,with a resistivity almost equal to that of the initial ITO *** changing the laser fluence,the nanowire resistances could be tuned from 15 to 73 kΩ/mm with a consistency of±10%.Furthermore,the average transmittance of the ITO films with regular LIPSSs in the range of 1200-2000 nm was improved from 21%to 60%.The regular LIPSS is promising for transparent electrodes of nano-optoelectronic devices-particularly in the near-infrared band.

关键词： transparent nanowires periodic surface nanostructures femtosecond laser direct writing ITO film anisotropic electrical conductivity

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