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Balmer H_α,H_β and H_γ Spectral Lines Intensities in High-Power RF Hydrogen Plasmas

Plasma Science and Technology 2014年第3期16卷 219-222页

作者：王松柏雷光玖刘东平杨思泽 College of Physics and Information Engineering Fuzhou University School of Physics and Mechanical&Electrical Engineering Xiamen University Southwestern Institute of Physics

Hα（Balmer-alpha）, Hβ （Balmer-beta） and Hγ （Balmer-gamma） spectral line inten- sities in atomic hydrogen plasma are investigated by using a high-power RF source. The intensities of the Hα, Hβ and Hγ spectral lines are detected by increasing the input power （0-6 kW） of ICPs （inductively coupled plasmas）. With the increase of net input power, the intensity of Hα im- proves rapidly （0-2 kW）, and then reaches its dynamic equilibrium; the intensities of Hβ can be divided into three processes： obvious increase （0-2 kW）, rapid increase （2-4 kW）, almost constant （4-6 kW）; while the intensities of Hγ increase very slowly. The energy levels of the excited hydro- gen atoms and the splitting energy levels produced by an obvious Stark effect play an important role in the results.

关键词： Keywords： high-power RF （radio frequency） source ICPs （inductively coupled plasmas）,Hα Hβ and Hγ spectral lines intensity Boltzmann distribution law Stark effect transitionprobability

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