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Spatial evolution of friction of a textured wafer surface

Friction 2013年第1期1卷 92-97页

作者： Huaping XIAO Ke WANG Grant FOX Michel BELIN Julien FONTAINE Hong LIANG Mechanical Engineering Texas A&M UniversityCollege StationTexas 77843USA Materials Science and Engineering Texas A&M UniversityCollege StationTexas 77843USA Ecole Centrale de Lyon/CNRS-UMR 5513 France

Mechanical failure of integrated circuits and micro-electro-mechanical systems(MEMS)demands new understanding of friction in small *** present research,we demonstrated an in situ approach to measure sliding friction of a patterned surface composing multi-materials and *** effects of materials and surface morphology on friction and electrical contact resistance were *** material transfer at the interface of dissimilar materials was found to play dominating roles in *** current work provides important insights from the fundamentals of friction that benefit the design of new micro-devices.

关键词： micro-electro-mechanical systems(MEMS) patterned wafers friction transfer wear electrical contact resistance

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