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Wafer-scale fabricated thermo-pneumatically tunable microlenses

Light(Science & Applications) 2014年第1期3卷 298-303页

作者： Wei Zhang Hans Zappe Andreas Seifert Department of Microsystems Engineering University of Freiburg79110 FreiburgGermany

We have developed a self-contained,liquid tunable microlens based on polyacrylate membranes integrated with compact on-chip thermo-pneumatic actuation fabricated using full-wafer *** oil is used as the optical liquid,which is pushed or pulled into the lens cavity via an extended microfluidic channel structure without any pumps,valves or other mechanical *** heat load generated by the thermal actuator is physically isolated from the lens *** back focal length may be tuned from infinity to 4 mm with a maximum power consumption of 300 *** principal application is fine tuning of the back focal length,for which tuning time constants as small as 100 ms are suitable.

关键词： optofluidics thermo-pneumatic actuation tunable microlens wafer-scale fabrication

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