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Magnetorheological finishing of optical surface combined with symmetrical tool function

Frontiers of Optoelectronics 2010年第4期3卷 408-412页

作者： Haobo CHENG Yunpeng FENG Tan WANG Zhichao DONG School of Optoelectronics Beijing Institute of Technology Department of Mechanical and Automation Engineering The Chinese University of Hong Kong

This research is aimed at the development of computer-aided polishing technology for optical surfaces using magnetorheological(MR) fluid as medium. The mechanism of a dual-axis polishing wheel and the mathematical model combined with a symmetrical tool function are demonstrated. The effects of speed, gap, time and geometric parameters of the tool have been experimentally evaluated by polishing a parabolic BK7 mirror in120 mm diameter. The surface topography presented an obvious amelioration, and the shape accuracy decreased to 0.067λ from 0.519λ(λ = 632.8 nm, RMS) after 75 min finishing.

关键词： magnetorheological finishing (MRF) material removal symmetrical tool function

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