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检索条件"主题词=surface micromaching"
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1.3μm Si-Based MOEMS Optical Tunable Filter with a Tuning Range of 90nm
收藏 引用
Journal of Semiconductors 2003年 第11期24卷 1140-1144页
作者: 左玉华 黄昌俊 成步文 蔡晓 毛容伟 李传波 罗丽萍 高俊华 白云霞 姜磊 马朝华 朱家廉 王良臣 余金中 王启明 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室 北京100083
Optical filters capable of single control parameter based wide tuning are implemented and studied.A prototype surface micromachined 1 3μm Si based MOEMS (micro opto electro mechanical systems) tunable filter e... 详细信息
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