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Manufacturing technologies toward extreme precision

International Journal of Extreme Manufacturing 2019年第2期1卷 11-32页

作者： Zhiyu Zhang Jiwang Yan Tsunemoto Kuriyagawa Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology Changchun Institute of OpticsFine Mechanics and PhysicsChinese Academy of SciencesChangchun 130033People’s Republic of China 2 Department of Mechanical Engineering Keio UniversityYokohama 223-8522Japan Department of Mechanical Systems Engineering Tohoku UniversitySendai 980-8575Japan

Precision is one of the most important aspects of *** precision creates high quality,high performance,exchangeability,reliability,and added value for industrial *** the past decades,remarkable advances have been achieved in the area of high-precision manufacturing technologies,where the form accuracy approaches the nanometer level and surface roughness the atomic *** extremely high precision manufacturing technologies enable the development of high-performance optical elements,semiconductor substrates,biomedical parts,and so on,thereby enhancing the ability of human beings to explore the macroand microscopic mysteries and potentialities of the natural *** this paper,state-of-the-art high-precision material removal manufacturing technologies,especially ultraprecision cutting,grinding,deterministic form correction polishing,and supersmooth polishing,are reviewed and compared with insights into their principles,methodologies,and *** key issues in extreme precision manufacturing that should be considered for future R&D are discussed.

关键词： ultraprecision cutting grinding polishing supersmooth surface ultraprecision measurement extreme precision

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