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Dynamic analysis of piezoelectric-solid-liquid coupled system of micro nebulizer

Dynamic analysis of piezoelectric-solid-liquid coupled syste...

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2008 International Conference on Optical Instruments and Technology

作者： Ming-wei Yang~(*a),Zhao-ying Zhou~a a Department of Precision Instruments,Tsinghua University,Beijing,China 100084

Piezoelectric micro nebulizer is a typical piezoelectric-solid-liquid coupling problem.A 2D FEM model was presented for this *** results show that when the piezoelectric actuator is vibrated,nozzle film also is generated vibration,and the phase relationship occurs to them,and the operation at the second resonance frequency is more desirable than others.A good agreement between experimental results and theoretical results confirmed the validity of the theoretical model we ***,the design of micro nebulizer to consider only the amplitude of piezoelectric vibration is not comprehensive,we must also consider the nozzle film vibration,as well as the phase between the back film and the nozzle film,and this can provide guidance for the optimal design of micro nebulizer.

关键词： Micro nebulizer structure-liquid coupling MEMS

来源： cnki会议评论

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