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sputtering under Mild Heating Enables High-Quality ITO for Efficient Semi-Transparent Perovskite Solar Cells

Journal of Renewable Materials 2022年第10期10卷 2509-2518页

作者： Yongbin Jin Zheng Fang Liu Yang Kaikai Liu Mingliang Li Yaping Zhao Yujie Luo Huiping Feng Bingru Deng Chengbo Tian Changcai Cui Liqiang Xie Xipeng Xu Zhanhua Wei Xiamen Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Advanced Manufacturing Institute of Luminescent Materials and Information DisplaysCollege of Materials Science and EngineeringHuaqiao UniversityXiamen361021China MOE Engineering Research Center for Brittle Materials Machining Huaqiao UniversityXiamen361021China

Semi-transparent perovskite solar cells(ST-PSCs)are promising in building-integrated photovoltaics(BIPVs)and tandem solar cells(TSCs).One of the keys to fabricate high-performance ST-PSCs is depositing efficient transparent *** tin oxide(ITO)is an excellent transparent conductive oxide with good light transmittance and high ***,the high sheet resistance of ITO sputtered at room temperature leads to the low fill factor(FF)and poor power conversion efficiency(PCE)of the ***,we study the effect of the sputtering temperature on the properties of ITO and the performance of *** find that when the sputtering temperature increases from the room temperature to 70℃,the crystallinity of the sputtered ITO gradually ***,the sheet resistance decreases and the corresponding device performance ***,once the sputtering temperature further increases over 70℃,the underlying hole transport layer will be damaged,leading to poor device ***,the optimized mild heating temperature of 70℃is applied and we obtain ST-PSCs with a champion PCE of 15.21%.We believe this mild heating assisted sputtering method is applicable in fabricating BIPVs and TSCs.

关键词： Indium tin oxide sputtering temperatures semi-transparent perovskite solar cells

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