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Effect of source temperature on phase and metal–insulator transition temperature of vanadium oxide films grown by atomic layer deposition
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Chinese Physics B 2020年 第10期29卷 433-437页
作者： Bingheng Meng Dengkui Wang Deshuang Guo Juncheng Liu Xuan Fang Jilong Tang Fengyuan Lin Xinwei Wang Dan Fang Zhipeng Wei State Key Laboratory o f High Power Semiconductor Laser Changchun University o f Science and TechnologyChangchun 130022China
Vanadium oxide films were grown by atomic layer deposition using the tetrakis[ethylmethylamino] vanadium as the vanadium precursor and H2O as the oxide source. The effect of the source temperature on the quality of va... 详细信息
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