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Hybrid device for acoustic noise reduction and energy harvesting based on a silicon micro-perforated panel structure

引用

Chinese Physics B 2014年第4期23卷 351-357页

作者：吴少华杜利东孔德义平皓月方震赵湛 State Key Laboratory of Transducer Technology Institute of Electronics Chinese Academy of Sciences State Key Laboratory of Transducer Technology Institute of Intelligent Machines Chinese Academy of Sciences University of Chinese Academy of Sciences

A kind of hybrid device for acoustic noise reduction and vibration energy harvesting based on the silicon micro- perforated panel （MPP） resonant structure is investigated in the article. The critical parts of the device include MPP and energy harvesting membranes. They are all fabricated by means of silicon micro-electro-mechanical systems （MEMS） tech- nology. The silicon MPP has dense and accurate micro-holes. This noise reduction structure has the advantages of wide band and higher absorption coefficients. The vibration energy harvesting part is formed by square piezoelectric membranes arranged in rows. ZnO material is used as it has a good compatibility with the fabrication process. The MPP, piezo- electric membranes, and metal bracket are assembled into a hybrid device with multifunctions. The device exhibits good performances of acoustic noise absorption and acoustic-electric conversion. Its maximum open circuit voltage achieves 69.41 mV.

关键词： hybrid device noise energy harvesting acoustic noise reduction silicon micro-perforated panel

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