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Design and study of a long-wavelength monolithic high-contrast grating resonant-cavity-enhanced photodetector

Optoelectronics Letters 2019年第4期15卷 250-254页

作者： ZENG Kun DUAN Xiao-feng HUANG Yong-qing LIU Kai REN Xiao-min State Key Laboratory of Information Photonics and Optical Communications Beijing University of Posts and Telecommunications

Novel construction of a resonant-cavity-enhanced photodetector(RCE-PD) with monolithic high-contrast grating(HCG)is proposed to overcome the difficulty of fabricating a high reflective mirror of RCE-PD at 1 550 nm. In this structure,HCG serves as the top mirror of the RCE-PD, whereas InGaAs serves as a sacrificial layer to achieve monolithic *** the bandwidth optimization, the ratio of the thickness of the total intrinsic region and the absorption layer is introduced to realize the simultaneous optimization of the thickness of spacing layers and absorption layer. After structural optimization, the quantum efficiency of the device with diameter of 20 μm is 82% at 1 550 nm, and the 3-dB bandwidth is 34 GHz at a bias of 3 V.

关键词： Novel construction resonant-cavity-enhanced photodetector(RCE-PD) high-contrast grating(HCG)

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