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New Method for 2D Image Edge-detection in Layer-layer 3D Testing System

Semiconductor Photonics and Technology 2003年第4期9卷 256-259页

作者： YANG Yu xiao, XIONG Kai li, ZHOU Jian, ZHAO Ming tao, TAN Yu shan (Institute of Laser and Infrar.Appl.,Xian Jiaotong University,Xian 710049,CHN) Institute of Laser and Infrar. Appl. Xi'an Jiaotong University Xi'an 710049

A new method based on the material removal and cross-section optical scanning is *** advantage of this method is that the internal and external information of the specimen can be obtained at same precision. In order to eliminate the pulse and Gaussian noise, the multi-scale dyadic wavelet methods are presented and discussed. The experimental results show that the multi-scale dyadic wavelet methods can successfully extract the features from noise *** accuracy of 2D edge detection is 5.4 μm with the resolution of 2.7 μm.

关键词： reverse engineering recursive median filter wavelet transform filter

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