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quantized structuring of transparent films with femtosecond laser interference

Light(Science & Applications) 2014年第1期3卷 291-297页

作者： Kitty Kumar Kenneth KC Lee Jianzhao Li Jun Nogami Nazir P Kherani Peter R Herman Department of Materials Science and Engineering University of TorontoTorontoCanada Department of Electrical and Computer Engineering University of TorontoTorontoCanada

The confinement of laser interactions inside transparent materials assisted by tight optical focusing and short-pulsed nonlinear interactions has driven many high-resolution patterning and probing applications in science and *** thin transparent films,laser interactions confined to the film/substrate interface have underpinned blistering and ejection processes for nanofluidic channel fabrication,film patterning and cell ***,we harness femtosecond lasers to drive nonlinear interactions within Fabry–Perot interference fringes to define narrow nanolength scale zones for highly resolved internal structuring of a film of refractive index,nfilm,at fringe maxima separated by l/*** novel interaction internally cleaves the film to open subwavelength internal cavities and form thin membranes at single or multiple depths from which follow significant opportunities for writing multilevel nanofluidic channels inside the film,as well as ejecting nanodisks at quantized film depths for coloring and three-dimensional surface patterning that promise new compact types of lab-in-film devices.

关键词： blistering dielectrics laser processing quantized etching subwavelength processing thin filmsblistering dielectrics laser processing quantized etching subwavelength processing thin films

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