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Modeling of pulsed direct-current glow discharge

Plasma Science and Technology 2010年第4期12卷 447-451页

作者：杜木郑亚茹范宇佳张楠刘成森王德真 College of Physics and Electronic Technology Liaoning Normal University State Key Laboratory for Materials Modification by Laser Ion and Electron Beams School of Physics and Optoelectronic Technology Dalian University of Technology

A self-consistent model was adopted to study the time evolution of low-voltage pulsed DC glow discharge. The distributions of electric field, ion density and electron density in nitrogen were investigated in our simulation, and the temporal shape of the discharge current was also obtained. Our results show that the dynamic behaviors of the discharge depends strongly on the applied pulse voltage, and the use of higher pulse voltages results in a significantly increase of discharge current and a decrease of discharge delay time. The current-voltage characteristic cMculated by adjusting secondary electron emission coefficient for different applied pulse voltage under the gas pressure of 1 Torr is found in a reasonable agreement with the experimental results.

关键词： pulsed direct-current glow discharge plasma processing plasma simulation

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