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Review of reflective fiber optic sensors for surface topography measurement

Journal of Measurement Science and Instrumentation 2018年第1期9卷 59-67页

作者： YANG Rui-feng HU Chen-hao GUO Chen-xia GAI Ting LANG Guo-wei School of Instrument and Electronics North University of ChinaTaiyuan 030051China Automatic Test Equipment and System Engineering Research Center of Shanxi Taiyuan 030051China

Different from the traditional contact surface topography measurement,reflective intensity-modulated fiber optic sensor(RIM-FOS)has the unique advantages of non-contact nondestructive *** paper briefly introduces the principle and performance of RIM-FOS for surface topography measurement and compares with several other methods of topography *** on the review of its development process,this paper summarizes and analyses the hot issues of RIM-FOS in the surface topography measurement,then predicts the future trend for a guidance of the further study.

关键词： reflective intensity-modulated fiber optic sensor(RIM-FOS) topography measurement probe structure interference compensation

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