检索结果-南通市图书馆

Study of wafer pre-aligning approaches

High Technology Letters 2007年第3期13卷 267-272页

作者：李世昌 Zhao Yannan Song Yixu Yang Zehong Wang Jiaxin State Key Laboratory of Intelligent Technology and System Tsinghua University Beijing 100084 P.R. China

Wafer pre-aligning system is an important component in IC manufacturing industry.A wafer pre-aligning platform with a CCD sensor is presented in this *** centering and notch detecting approaches are extended based on this platform. Least square circle fitting approach is adopted to calculate the center and radius of the wafer, and a formula for calculating the fitting error is derived. An approach called edge variation rate is also proposed to detect the range of wafer notch, and the fiducial is calculated by curve fitting approach. These approaches can improve the accuracy effectively as indicated by experiments.

关键词： IC wafer prealign least square circle notch fitting

来源：

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：