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Monolithically Integrated photonic Structures for Stable On-Chip Solar Blind Communications

ZTE Communications 2024年第4期22卷 3-8页

作者： HE Rui HU Qiang RAN Junxue WANG Junxi WEI Tongbo Research and Development Center for Wide Bandgap Semiconduc-tors Institute of SemiconductorsChinese Academy of SciencesBei-jing 100083China Center of Materials Science and Optoelectronics Engineering Uni-versity of Chinese Academy of SciencesBeijing 100049China

A solar-blind multi-quantum well(MQW)structure wafer based on AlGaN materials is epitaxial growth by metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD).The monolithically integrated photonic chips including light-emitting diodes(LEDs),waveguides,and photodetec-tors(PDs)are *** results of the finite-difference time-domain(FDTD)simulation confirm the strong light constraint of the wave-guide designed with the triangular structure in the optical coupling ***,in virtue of predominant ultraviolet transverse mag-netic(TM)modes,the solar blind optical signal is more conducive to lateral transmission along the waveguide inside the integrated *** integrated PDs demonstrate sufficient photosensitivity to the optical signal from the integrated *** the LEDs are operated at 100 mA current,the photo-to-dark current ratio(PDCR)of the integrated PD is about seven orders of *** responsivity,specific detectivity,and external quantum efficiency of the integrated self-driven PD are 74.89 A/W,4.22×1013 Jones,and 3.38×104%,*** stable on-chip optical information transmission capability of the monolithically integrated photonic chips confirms the great potential for application in large-scale on-chip optical communication in the future.

关键词： monolithically integration photonic chips UVC solar-blind communication

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