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真空沉积掺杂制备parylene功能薄膜研究

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真空 2011年第1期48卷 18-20页

作者：何庆刘景全杨春生李以贵芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文介绍了高分子材料parylene的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在parylene真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的parylene高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。

关键词： parylene 真空沉积干法掺杂纳米粉体

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parylene高频电路防护工艺研究进展

电子工艺技术 2011年第5期32卷 272-276页

作者：仝晓刚中国电子科技集团公司第十研究所四川成都610036

从前处理、升华温度、裂解温度、沉积压力、基体温度和膜层厚度等方面讨论了parylene处理技术在国内外高频电路防护方面的应用概况。重点介绍了这些工艺要素与parylene膜层性能的相关性,并指出了膜层厚度及均匀度是影响高频电路防护的... 详细信息

从前处理、升华温度、裂解温度、沉积压力、基体温度和膜层厚度等方面讨论了parylene处理技术在国内外高频电路防护方面的应用概况。重点介绍了这些工艺要素与parylene膜层性能的相关性,并指出了膜层厚度及均匀度是影响高频电路防护的关键因素,膜层厚度需要通过试验进行确定,简要论述了parylene膜层的沉积机理与parylene处理技术在毫米波电路防护上应用的工艺流程。同时指出了parylene处理技术在高频电路防护应用中存在的不足之处,为以后的研究指明了方向。

关键词： parylene 电路防护化学气象沉积沉积压力

parylene纳米镀膜技术在半导体照明中的应用

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照明工程学报 2019年第5期30卷 126-132,156页

作者：李江龙黄兰佛山市国星光电股份有限公司广东佛山528000 广东环境工程职业学院环境工程系广东佛山528216

半导体照明产品易受环境中的潮气、粉尘、酸雨、日照等不利因素影响,严重影响使用寿命。使用parylene技术在产品表面镀膜,可显著改善其特性,实现防尘防水的使用效果。但根据用户反馈,在使用数千小时后,LED产品出现了表面发黑,严重光衰,... 详细信息

半导体照明产品易受环境中的潮气、粉尘、酸雨、日照等不利因素影响,严重影响使用寿命。使用parylene技术在产品表面镀膜,可显著改善其特性,实现防尘防水的使用效果。但根据用户反馈,在使用数千小时后,LED产品出现了表面发黑,严重光衰,颜色漂移的问题。本文通过扫描电镜、红外图谱分析和能谱分析等手段系统分析失效产品,寻找失效原因;通过构建理论模拟,寻找改进材料;并通过对比试验来验证新旧材料性能差异。研究发现:C型和N型薄膜由于玻璃化温度低,在较高工作温度下,会由于应力作用而开裂,并在接触面与封装硅胶形成深灰色的结合物;改进型F材料满足半导体照明产品的使用要求,并通过了严格耐候性验证测试。

关键词：半导体照明纳米镀膜 parylene 涂覆材料可靠性

parylene薄膜对传感器硅橡胶组件的封装防护

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科技与创新 2023年第5期 98-99,102页

作者：袁莓婷何燕春曲亮航空工业西安航空计算技术研究所陕西西安710065

石油烃类清洗剂会使清洗设备中传感器的硅橡胶组件发生溶胀,造成传感器失效,采用化学气相沉积法(CVD)制备聚对二甲苯(parylene)薄膜材料,对传感器的硅橡胶组件进行封装防护。比较了封装前后硅橡胶组件在清洗液和溶剂中体积溶胀的改变。... 详细信息

石油烃类清洗剂会使清洗设备中传感器的硅橡胶组件发生溶胀,造成传感器失效,采用化学气相沉积法(CVD)制备聚对二甲苯(parylene)薄膜材料,对传感器的硅橡胶组件进行封装防护。比较了封装前后硅橡胶组件在清洗液和溶剂中体积溶胀的改变。试验结果表明,parylene薄膜材料可明显改善硅橡胶的耐溶剂性能,使清洗设备传感器使用寿命提高50倍以上。

关键词：化学气相沉积 parylene 传感器硅橡胶

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parylene一种最优质的三防材料

舰船电子工程 2008年第2期28卷 156-158,168页

作者：杨兵论武汉数字工程研究所武汉430074

介绍三防技术在国防工业中的重要性,分析parylene涂层的真空沉积机理。

关键词： parylene 三防工艺真空沉积

parylene涂覆在高压组件防护上的应用

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电子工艺技术 2020年第1期41卷 29-31,36页

作者：尹晓丽陈昶文成钢兰州空间技术物理研究所甘肃兰州730000

针对使用TO-254AA封装高压二极管的高压电路采用真空绝缘设计的表面防护问题,开展了parylene涂覆的防护应用研究。研究表明,parylene C涂覆层可以有效地对高压二极管绝缘子位置进行防护,提高二极管引脚与管壳之间的耐低气压性能,并随着... 详细信息

针对使用TO-254AA封装高压二极管的高压电路采用真空绝缘设计的表面防护问题,开展了parylene涂覆的防护应用研究。研究表明,parylene C涂覆层可以有效地对高压二极管绝缘子位置进行防护,提高二极管引脚与管壳之间的耐低气压性能,并随着涂覆厚度的增加,其耐低气压性能提高。厚度为23μm的parylene C涂覆层防护后的高压电路通过1000 h热真空试验后工作正常,说明采用parylene C用于真空绝缘设计的高压电路表面防护是有效可行的。

关键词： parylene 涂覆防护高压组件耐低气压

parylene C在压电喷头中的应用研究

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机电技术 2015年第4期38卷 117-120,126页

作者：鲁伯林智利莎柳永丽邹赫麟大连理工大学机械工程学院辽宁大连116024

为了对压电喷头进行有效防护,采用parylene C作为保护层,对parylene C的沉积厚度、图形化和与基底结合强度进行了实验研究。当parylene C保护层的沉积厚度在450 nm至1μm时,能够满足parylene C的耐压要求,且对压电单元振动位移的影响较... 详细信息

为了对压电喷头进行有效防护,采用parylene C作为保护层,对parylene C的沉积厚度、图形化和与基底结合强度进行了实验研究。当parylene C保护层的沉积厚度在450 nm至1μm时,能够满足parylene C的耐压要求,且对压电单元振动位移的影响较小。采用氧等离子体刻蚀的方法对parylene C进行图形化刻蚀,得到其刻蚀速率与刻蚀功率的变化关系。采用硅烷偶联剂预处理基底表面后,parylene C与基底具有较强的结合强度。

关键词： parylene C 图形化刻蚀压电喷头结合强度

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parylene敷形涂层

电子机械工程 2004年第6期20卷 51-53,61页

作者：吴礼群南京电子技术研究所江苏南京210013

parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了parylene涂层的性能,对parylene涂层的沉积过程、沉积设备和parylene涂层的应用领域进行了论述,并对parylene涂层的... 详细信息

parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了parylene涂层的性能,对parylene涂层的沉积过程、沉积设备和parylene涂层的应用领域进行了论述,并对parylene涂层的性能与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层的性能进行了比较。

关键词： parylene 气相沉积敷形涂层

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刍议parylene涂覆材料及其应用

冶金与材料 2020年第6期40卷 159-160页

作者：贾宝栋齐齐哈尔工程学院黑龙江齐齐哈尔161000

parylene的中文名字是聚对二甲基苯类,它是一种防护性能优越的高分子材料。而parylene涂覆材料在物理机械、耐溶性、绝缘性等方面都展现出了明显的优势,因此在活性材料防护、电子集成电路、文物保护等多个领域当中实现了广泛应用。这与P... 详细信息

parylene的中文名字是聚对二甲基苯类,它是一种防护性能优越的高分子材料。而parylene涂覆材料在物理机械、耐溶性、绝缘性等方面都展现出了明显的优势,因此在活性材料防护、电子集成电路、文物保护等多个领域当中实现了广泛应用。这与parylene材料特殊的结构有关,研究人员在该结构的分子式当中引入不同的基团和侧链就可以得到不同结构的系列膜,从而使材料具有多种不同的特征。基于此,文章对parylene涂覆材料的性能及其应用等问题进行了分析与研究。

关键词： parylene 涂覆材料特殊性能实际应用